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Microelectronics
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English
German
apply the resist evenly by spinning the wafer at high speed
das Resist gleichmäßig auf den Wafer mit hoher Geschwindigkeit aufschleudern
approximate
by the
expression
näherungsweise durch den Ausdruck darstellen
area scanned
by the
beam
vom Strahl abgerasterte Fläche
attach the chip carrier to the ceramic board by means of solder reflow
den Chipträger auf dem Keramiksubstrat durch Aufschmelzlöten befestigen
boule grown
by the
Czochralski process
nach dem Czochralski-Verfahren gezogener Einkristallkörper
cause the requests to be executed by peripherals
die Bearbeitung der Anforderungen durch die Peripherie veranlassen
control exposure time
by the
scan speed
die Belichtungszeit durch die Scanninggeschwindigkeit steuern
control the radiation source directly by stored data
die Strahlungsquelle durch gespeicherte Daten direkt steuern
crossing of the junction by individual carriers
Durchqueren des pn-Übergangs durch einzelne Ladungsträger
cut the line's delay by 6 ns
die Leitungsverzögerung um 6 ns verkürzen
cut the mask generation time down by a factor of two to three
die Maskenherstellungszeit um das Zwei- bis Dreifache verringern
(reduzieren)
design the circuit by calculation
die Schaltung berechnen
design the circuit by calculation
die Schaltung auf mathematischer Grundlage entwerfen
design the Circuit by trial and error
die Schaltung rein empirisch entwerfen
direct exposure of wafers
by the
electronbeam system
Direktbelichtung von Wafern durch die Elektronenstrahlanlage
fill in the rectangle
by the
writing beam
das Rechteck mit dem Schreibstrahl ausfüllen
fill the slit
by the
lamp image
den Spalt durch das Lampenbild ausfüllen
generate the pattern by exposing a resist coating
die Struktur durch Belichtung einer Resistschicht erzeugen
hang caused
by the
program looping continuously
Stopp durch Dauerschleife
hang caused
by the
program looping continuously
Programmstopp durch Dauerschleife
identify the erroneous bit by a corresponding binary 1
das fehlerhafte Bit durch eine entsprechende binäre 1 kennzeichnen
increase the chip's 0.5 W power dissipation by only 3 %
die Chipverlustleistung von 0,5 W nur um 3 % erhöhen
interrogate
by the
microcomputer
durch den Mikrocomputer abfragen
isolate the p-regions from the substrate material by a depletion layer
die p-Zonen vom Substratmaterial durch eine Verarmungsrandschicht trennen
limitation of resolution imposed
by the
wavelength of light
durch die Lichtwellenlänge bedingte Begrenzung der Auflösung
partitioning of the wafer image by step-and-repeat projection
Aufteilung des Waferbildes durch schrittweise Projektionsübertragung
partitioning of the wafer image by step-and-repeat projection
Unterteilung des Waferbildes durch schrittweise Projektionsübertragung
percentage area of coverage
by the
pattern
Bedeckungsgrad
(Anteil der zu belichtenden Strukturfläche an der Gesamtfläche)
raster-scan the beam over a 128-by-128 pixel area
den Strahl rasterartig über eine quadratische Fläche von 128² Bildelementen führen
reduce IC costs by increasing the functional capabilities
die Kosten der integrierten Schaltungen durch Vergrößerung der Funktionsmöglichkeiten verringern
removal of the more-soluble material
by the
developer
Entfernung des löslicheren Materials durch den Entwickler
remove the exposed circuit features
by the
developer
die belichteten Schaltkreisstrukturen durch den Entwickler entfernen
rescale the chip to a different size by computer
das Chip auf eine andere Größe mit Computer neu skalieren
scan each subfield
by the
electron beam in a raster
jedes Unterfeld mit dem Elektronenstrahl abrastern
(rasterförmig abtasten)
separate the individual chips by sawing the wafer
die Chips durch Zersägen des Wafers vereinzeln
sort the chips by test results
die Chips nach Testergebnissen sortieren
step the electron beam by 0.5 μm in the x-direction
den Elektronenstrahl schrittweise um 0,5 μm in x-Richtung führen
vary by as much as 10 % from the centre to the edge of the substrate
sich um bis zu 10 % von der Mitte zum Rand des Substrats ändern
verify the design on a cell-by-cell basis
den Entwurf zeilenweise prüfen
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