Terms for subject Microelectronics containing beam electrons

English	Russian
convergent beam-electron diffraction	дифракция сходящегося электронного пучка
demagnifying electron-beam projection	электронно-лучевая проекционная литография с уменьшенным изображением
direct-write electron-beam lithography	электронно-лучевая литография с непосредственным формированием рисунка
direct-write step-and-repeat electron-beam exposure	непосредственное электронно-лучевое экспонирование с мультипликацией (key2russia)
direct-writing step-and-repeat electron-beam exposure	непосредственное электронно-лучевое экспонирование с мультипликацией (key2russia)
electron-beam annealer	установка для электронно-лучевого отжига
electron-beam evaporated oxide	оксид, сформированный методом электронно-лучевого напыления
electron-beam expose	экспонировать электронным лучом
electron-beam exposure	электронное экспонирование
electron-beam exposure technology	метод электронного экспонирования
electron-beam exposure technology	метод электронно-лучевого экспонирования
electron-beam fabrication	изготовление ИС по электронно-лучевой технологии
electron-beam generated mask	шаблон, полученный электронно-лучевым методом (key2russia)
electron-beam imaging	формирование изображений методом электронно-лучевой литографии
electron-beam induced conductivity	удельная проводимость, индуцированная электронным лучом
electron-beam induced current	ток, наведённый электронным пучком
electron-beam induced etching	травление, стимулированное электронным лучом
electron-beam lithography	электронолитография
electron-beam master	оригинал, изготовленный электронно-лучевой технологией
electron-beam metal evaporation	распыление металла с помощью электронного луча (key2russia)
electron-beam pattern	конфигурация электронного луча
electron-beam prober	зондовая измерительная установка с электронно-лучевыми зондами
electron-beam projection system	установка электронно-лучевой проекционной литографии
electron-beam projector	электронная пушка
electron-beam projector	установка электронно-лучевой проекционной литографии
high-resolution electron-beam system	электронно-лучевая установка с высоким разрешением
raster-scan electron-beam lithography	электронно-лучевая литография с растровым сканированием
reducing electron-beam projection system	установка электронно-лучевой проекционной литографии с уменьшением изображения
scanning electron-beam lithography	сканирующая электронно-лучевая литография
variable-shaped electron-beam exposure system	установка электронно-лучевой литографии с изменяемым сечением электронного луча
vector scan electron beam lithography	электронно-лучевая литография с векторным сканированием (ssn)
vector scan electron beam photo lithography	электронно-лучевая фотолитография с векторным сканированием (ssn)
vector scan electron beam photo-lithography	электронно-лучевая фотолитография с векторным сканированием (ssn)
vector scan electron beam photolithography	электронно-лучевая фотолитография с векторным сканированием (ssn)
vector scan electron-beam lithography	электронно-лучевая литография с векторным сканированием (ssn)
vector scan electron-beam machine	электронно-лучевая установка с векторным сканированием (key2russia)
vector scan electron-beam photo lithography	электронно-лучевая фотолитография с векторным сканированием (ssn)
vector scan electron-beam photo-lithography	электронно-лучевая фотолитография с векторным сканированием (ssn)
vector scan electron-beam photolithography	электронно-лучевая фотолитография с векторным сканированием (ssn)
vector scanning electron beam lithography	электронно-лучевая литография с векторным сканированием (ssn)
vector scanning electron beam photo lithography	электронно-лучевая фотолитография с векторным сканированием (ssn)
vector scanning electron beam photo-lithography	электронно-лучевая фотолитография с векторным сканированием (ssn)
vector scanning electron beam photolithography	электронно-лучевая фотолитография с векторным сканированием (ssn)
vector scanning electron-beam lithography	электронно-лучевая литография с векторным сканированием (ssn)
vector scanning electron-beam photo-lithography	электронно-лучевая фотолитография с векторным сканированием (ssn)
vector scanning electron-beam photolithography	электронно-лучевая фотолитография с векторным сканированием (ssn)
vector-scan electron-beam machine	установка электронолитографии с векторным сканированием