Terms for subject Microelectronics containing beam

English	German
adjust resistance values by a laser beam	Widerstandswerte mit einem Laserstrahl abstimmen
adjust the beam position during the writing of subsequent stripes	die Strahlposition während des Schreibens der folgenden Streifen justieren
advent of electron-beam microfabrication	Einführung der ES-Mikrostrukturherstellung
align the beam automatically	den Strahl automatisch justieren
apply a potential to electrostatic beam blanking plates	ein Potential an das elektrostatische Strahlaustastsystem legen
arc-shaped beam	sichelförmiger Strahl
area scanned by the beam	vom Strahl abgerasterte Fläche
argon ion beam	Argonionenstrahl
arsenic ion beam	Arsenionenstrahl
bare copper beam	blanke Kupferanschlußbrücke
beam acceleration voltage	Strahlbeschleunigungsspannung
beam-addressed	mit Elektronenstrahl adressiert (z. B. MOS-Speicher)
beam adjustment	Strahljustierung
beam angular divergence	Strahlstreuung
beam angular divergence	Strahldivergenz
beam astigmatism	Strahlastigmatismus
beam blank control	Strahlaustaststeuerung
beam blanker	Strahlaustastsystem
beam blanker amplifier	Strahlaustastverstärker
beam blanking	Strahlaustastung
beam blanking amplifier	Strahlaustastverstärker
beam blanking circuit	Strahlaustastschaltkreis
beam blanking unit	Strahlaustasteinheit
beam broadening	Strahlverbreiterung
beam control	Strahlsteuerung
beam control electronics	Strahlsteuerelektronik
beam current at the crossover	Strahlstrom im Crossover
beam current fluctuation	Strahlstromschwankung
beam deflection correction	Strahlablenkungskorrektur
beam deflector	Strahldeflektor
beam divergence	Strahlstreuung
beam divergence parameter	Strahldivergenzparameter
beam drift	Strahldrift
beam drift	Strahlabweichung
beam drive	Strahlsteuerung
beam edge width	Böschungsbreite
beam energy	Strahlenergie
beam excursion area	Strahlablenkfläche
beam flyback	Strahlrücklauf
beam focussing lens	Strahlfokussierungslinse
beam half-angle	halber Öffnungswinkel des Strahls
beam incidence angle	Strahleinfallswinkel
beam lead	Balkenleiter (Verdrahtungstechnik: chipfeste Anschlußfahne)
beam lead	Streifenanschluß
beam lead	Trägerleitung
beam-lead assembly	Stegmontage
beam-lead assembly	Balkenleitermontage
beam-lead technique	Stegbefestigungsmethode
beam-lead technique	Beam-Lead-Verfahren
beam-lead transistor	Transistor mit seitlichen Anschlußfähnchen
beam-like lead	bandförmiges Anschlußelement (am Chip)
beam limiting aperture	Strahlbegrenzungsblende
beam location	Strahlort
beam misplacement	fehlerhafte Strahlpositionierung
beam on-off control	Hell-Dunkel-Steuerung des Strahls
beam placement error	Strahlplazierungsfehler
beam position error	Strahlplazierungsfehler
beam positioning accuracy	Strahlpositionierungsgenauigkeit
beam positioning accuracy	Strahlpositioniergenauigkeit
beam processing technology	Strahlbearbeitungstechnik
beam scan	Strahlabtastung
beam scanning direction	Strahlabtastrichtung
beam shape	Strahlformat
beam sizing aperture	Strahldimensionierungsblende
beam spacing	Abstand der Punktstrahlen
beam splitter	Teilungsplatte
beam splitter	Teilungswürfel
beam splitting prism	Strahlenteilungsprisma
beam spot diameter	Strahlsondendurchmesser
beam spot size	Strahlsondengröße
beam spread	Strahldivergenz
beam stopping aperture	Strahlverschlußblende
beam tape	Zwischenträgerfolienband
beam tape assembly	Filmträgermontage
beam tape assembly	Zwischenträgermontage
beam tape bonded chip	foliengebondetes Chip
beam tape bonding equipment	Folienbondeinrichtung
beam tape carrier	Zwischenträgerfilm
beam tape carrier technology for automated bonding of semiconductor chips	Zwischenträgertechnik für automatisches Bonden von Halbleiterchips
beam tape construction	Zwischenträgerfilmstruktur
beam tape device	Chip auf Zwischenträgerfilm
beam voltage	Strahlspannung
beam writing rate	Strahlschreibgeschwindigkeit
beam writing speed	Strahlschreibgeschwindigkeit
blank off the beam	den Strahl austasten
block the beam	den Strahl sperren (blockieren)
boron ion beam	Borionenstrahl
broaden the effective size of a focussed beam	den effektiven Durchmesser eines fokussierten Strahls vergrößern
circular beam system	Punktstrahlsystem
coarse beam position measurement	Grobmessung der Strahlposition
compensating deflection of the beam	Kompensationsablenkung des Strahls
computer control of electron beams for maskless fabrication	Computersteuerung von Elektronenstrahlen für maskenlose Strukturherstellung
computer-driven scanned electron beam	computergesteuerter Rasterelektronenstrahl
constant intensity across most of the beam diameter	konstante Intensität über den größten Teil des Strahldurchmessers
copper beam	Kupferzwischenträgerbrücke
copper beam	Kupferanschlußbrücke
copper-polyimide beam tape	Kupfer-Polyimid-Zwischenträgerfilm
cross through the ion beam	den Ionenstrahl durchqueren
deflect the beam electromagnetically	den Strahl elektromagnetisch ablenken
deflect the electron beam along the y axis den	Elektronenstrahl in y-Richtung ablenken
deflect the electron beam in a raster mode along one axis	den Elektronenstrahl rasterartig in einer Richtung ablenken
deflect the electron beam in a raster over a 64μm square field	den Elektronenstrahl rasterförmig über ein Feld von 64 μm × 64 μm ablenken
deflect the focussed ion beam across the resist-coated wafer	den fokussierten Ionenstrahl über den lackbeschichteten Wafer ablenken
demagnify the electron beam to a usable size for microfabrication	den Elektronenstrahl auf eine nutzbare Größe für die Mikrostrukturherstellung verkleinern
determine substrate position relative to the beam axis	die Substratlage in bezug auf die Strahlachse bestimmen
determine the position of the mark to an accuracy at least equal to the beam diameter	die Markenposition mit einer mindestens dem Strahldurchmesser entsprechenden Genauigkeit bestimmen
direct E-beam slice writing technique	Direktschreibverfahren mittels Elektronenstrahlen
direct 1×E-beam writing on the wafer	Elektronenstrahldirektschreiben auf Wafer
direct 1×E-beam writing on the wafer	Direktschreiben der Struktur auf Wafer mit Elektronenstrahl
direct electron-beam exposure	direkte Elektronenstrahlbelichtung (von Wafern)
direct the beam sequentially to the elements of the chip pattern to be exposed	den Strahl sequentiell zu den zu belichtenden Elementen der Chipstruktur führen
direct wafer exposure by E-beams	direkte Waferbelichtung durch Elektronenstrahlen
direct wafer exposure with electron beams	direkte Waferbelichtung mit Elektronenstrahlen
direct wafer patterning with an electron beam	direkte Waferstrukturierung mit einem Elektronenstrahl
direct wafer processing by with electron beam	direkte Waferbearbeitung mit Elektronenstrahl
direct wafer writing with an electron beam	ES-Direktschreiben
direct wafer writing with an electron beam	Direktschreiben mit einem Elektronenstrahl
direct writing of the device pattern with a scanning electron beam	Direktschreiben der Bauelementstruktur mit einem Rasterelektronenstrahl
direct writing with an electron beam	ES-Direktschreiben
direct writing with an electron beam	Direktschreiben mit einem Elektronenstrahl
direction of the beam scan	Strahlabtastrichtung
direct-write electron beam	direktschreibender Elektronenstrahl
direct-write electron-beam lithography	Elektronenstrahllithografie für direkte Waferbelichtung
direct-write-on-wafer electron-beam machine	Elektronenstrahldirektschreiber
direct-writing electron-beam system	Elektronenstrahldirektschreiber
direct-writing electron-beam technology	Elektronenstrahldirektschreibertechnik
double beam alignment procedure	Doppelstrahljustierverfahren
dual-beam approach	Doppelstrahlmethode
dual- beam flying-spot scanner	Doppelstrahl-Lichtpunktabtastgerät
dwell time of an electron beam	Verweilzeit eines Elektronenstrahls
dynamic beam shaping	variable Formstrahlerzeugung
E-beam	Elektronenstrahl (Zusammensetzungen s.a. unter electron beam)
E-beam current	Elektronenstrahlstrom
E-beam direct-write-on-wafer	Direktschreiben mit Elektronenstrahlen
E-beam direct-write-on-wafer	ES-Direktschreiben auf Wafer
E-beam exposure	Elektronenstrahlbelichtung
E-beam lithography	Elektronenstrahllithografie
E-beam microfabricator	Elektronenstrahlbearbeitungsanlage für Mikroschaltkreise
E-beam processing	Elektronenstrahlbearbeitung
E-beam resist	elektronenstrahlempfindliches Resist
E-beam reticle generator	Elektronenstrahlretikelgenerator
E-beam system	Elektronenstrahlanlage
E-beam technology	Elektronenstrahltechnik
E-beam wafer-exposure system	Elektronenstrahldirektschreiber
edge profile of the beam	Flankenprofil des Strahls
edge slope of the beam profile	Flanke des Strahlprofils
electron-beam addressable memory	elektronenstrahladressierbarer Speicher
electron-beam alignment technique	Elektronenstrahljustierverfahren
electron-beam delineation machine	Elektronenstrahlschreiber
electron-beam delineation of submicron geometry devices	Elektronenstrahlschreiben von Bauelementstrukturen im Submikrometerbereich
electron-beam delineation system	Elektronenstrahlschreiber
electron beam delineator	Elektronenstrahlschreiber
electron-beam direct processing on wafers	Direktbelichtung der Wafer durch Elektronenstrahlen
electron-beam direct processing on wafers	Direktbearbeitung der Wafer durch Elektronenstrahlen
electron beam direct slice writing	Elektronenstrahldirektschreiben auf Wafer
electron-beam direct-write machine	Elektronenstrahlbelichtungsanlage für direkte Waferstrukturierung
electron-beam direct-write machine	Elektronenstrahlschreiber
electron-beam direct-write-on-the-wafer	ES-Direkt schreiben auf Wafer
electron-beam direct-write-on-the-wafer	Elektronenstrahldirektschreiben auf Wafer
electron beam direct-writing lithographic system	lithografische Elektronenstrahlanlage für direkte Scheibenbelichtung
electron-beam direct-writing on the wafer	ES-Direktschreiben den Wafer
electron-beam direct-writing on the wafer	ES-Direktschreiben auf Wafer
electron-beam direct-writing wafer exposure equipment	Elektronenstrahl-Direktschreiberanlage
electron-beam drawing area	Elektronenstrahlschreibfläche
electron beam-exposed	elektronenstrahlbelichtet
electron-beam exposure for patterning	Elektronenstrahlbelichtung zur Strukturierung
electron beam exposure system	Elektronenstrahlbelichtungsanlage
electron beam exposure unit	Elektronenstrahlbelichtungsanlage
electron-beam illumination projection	Projektion durch Elektronenbestrahlung
electron-beam imaging	Bilderzeugung durch Elektronenstrahl
electron-beam imaging	Abbildung durch Elektronenstrahl
electron-beam lithography	Elektronenstrahllithografie
electron-beam lithography machine	lithografische Elektronenstrahlbearbeitungsanlage
electron-beam lithography system	Elektronenstrahlschreiber
electron-beam lithography system	lithografische Elektronenstrahlanlage
electron beam machine for direct wafer processing	Elektronenstrahlanlage für direkte Waferbelichtung
electron beam mask drawing	elektronenlithografische Maskenstrukturierung
electron beam mask drawing	Elektronenstrahl-schreiben der Maskenstruktur
electron-beam mask generator	Elektronenstrahlmaskenschreiber
electron-beam mask making capacity	Maskenherstellungskapazität der Elektronenstrahlanlage
electron-beam mask making machine	Elektronenstrahlmaskenschreiber
electron-beam mask making system	Elektronenstrahlmaskenschreiber
electron beam mask writing system	Elektronenstrahlmaskenschreiber
electron-beam memory	Elektronenstrahlspeicher
electron-beam microfabrication	elektronenstrahllithografische Mikrostrukturierung
electron-beam microfabrication	Mikrostrukturherstellung durch Elektronenstrahlen
electron-beam microfabrication equipment	Elektronenstrahlanlage für die Herstellung von Mikrostrukturen
electron beam microfabricator	Elektronenstrahlbearbeitungsanlage für Mikroschaltkreise
electron-beam microlithography machine	Elektronenstrahlschreiber
electron beam of Gaussian shape	Punktstrahl
electron beam pattern generator	Elektronenstrahlbildgenerator
electron-beam patterning	Elektronenstrahlstrukturierung
electron beam patterning at final size	Elektronenstrahlstrukturierung in endgültiger Größe
electron-beam projector	Elektronenstrahlbildprojektor
electron-beam pulse	Elektronenstrahlimpuls
electron beam recorder	Elektronenstrahlaufzeichner
electron-beam recording	Elektronenstrahlaufzeichnung
electron beam resist	elektronenempfindliches Resist
electron beam reticle generator	Elektronenstrahlretikelgenerator
electron beam-sensitive	elektronenstrahlempfindlich (Resist)
electron-beam spot size	Punktstrahldurchmesser des Elektronenstrahls
electron beam system for mask making	Elektronenstrahlmaskenschreiber
electron beam system for mask making	Elektronenstrahlanlage für Maskenschreiben
electron-beam technology	Elektronenstrahltechnik
electron-beam writing directly on chip	Direktstrukturierung des Chips durch Elektronenstrahlen
electron beam writing instrument	Elektronenstrahldirektschreiber
electron beam writing instrument	Elektronenstrahlschreiber
electron beam writing machine	Elektronenstrahldirektschreiber
electron beam writing machine	Elektronenstrahlschreiber
electron-beam writing technique	Elektronenstrahlbelichtungsverfahren
electron-beam-written pattern	elektronenstrahlbelichtete Struktur
electron-optical principle of forming shaped square electron beams	elektronenoptisches Prinzip der Erzeugung von Flächenstrahlen
exposed rectangle of round beam system	belichtetes Rechteck einer Punktstrahlanlage
extendability of E-beam technology to smaller feature sizes	Erweiterungsfähigkeit der Elektronenstrahltechnik auf kleinere Strukturgrößen
feed on-off data to the beam	den Strahl durch Daten für Hell- und Dunkeltastung steuern
fill in the rectangle by the writing beam	das Rechteck mit dem Schreibstrahl ausfüllen
fine beam position measurement	Feinmessung der Strahlposition
finely focussed spot beam	Strahl mit kleinem Bündelquerschnitt
finely focussed 2000 Ä diameter electron beam	feinfokussierter Elektronenstrahl von 2000 Ä Durchmesser
fixed square beam	Strahl mit festem quadratischem Querschnitt
fixed-shape beam	Strahl mit nichtvariablem Querschnitt
focus the beam just to the side of a knifeedge	den Strahl genau neben eine Schneide fokussieren
focussed beam application	Sondenanwendung
formed beam	Formstrahl
full-time operator attendance at the E-beam machine	Bedienung der Elektronenstrahlanlage durch einen Vollbeschäftigten
full-time operator attendance at the E-beam machine	Beaufsichtigung der Elektronenstrahlanlage durch einen Vollbeschäftigten
Gaussian beam	Punktstrahl
Gaussian beam current profile	Gaußsche Stromdichteverteilung (im kreisförmigen Querschnitt der Elektronensonde)
Gaussian beam raster scan system	nach dem Rasterscan-Verfahren arbeitende Punktstrahlbelichtungsanlage
Gaussian beam raster scan system	Punktstrahlrasterscan-Anlage
Gaussian beam system	Punktstrahlanlage
Gaussian beam vector scan system	nach dem Vektorscan-Verfahren arbeitende Punktstrahlbelichtungsanlage
Gaussian beam vector scan system	Punktstrahlvektorscan-Anlage
Gaussian round beam	Punktstrahl
Gaussian round beam approach	Punktstrahlverfahren
Gaussian round beam principle	Punktstrahlprinzip
generation of patterns by E-beam	Bilderzeugung durch Elektronenstrahl
generation of patterns by E-beam	Strukturerzeugung durch Elektronenstrahl
half-angle beam divergence	halber Öffnungswinkel des Strahls
half-micrometre-diameter electron beam	Elektronenstrahl mit 0,5 μm Durchmesser
high-resolution beam	Strahl mit hoher Auflösung
high-resolution electron-beam lithography	hochauflösende Elektronenstrahllithografie
imaging by electron beam	Bilderzeugung durch Elektronenstrahl
imaging by electron beam	Abbildung durch Elektronenstrahl
interaction of a focussed electron beam with a polymer film	Wechselwirkung eines fokussierten Elektronenstrahls mit einer Polymerschicht
ion-beam coating	Ionenstrahlbeschichtung
ion-beam-compatible	ionenstrahlkompatibel
ion-beam composition	Ionenstrahlzusammensetzung
ion-beam current density	Ionenstrahlstromdichte
ion-beam etching	Ionenstrahlätzen (Zusammensetzungen s.a. unter ion milling)
ion-beam etching technique	Ionenstrahlätzverfahren
ion-beam exposure	Ionenstrahlbelichtung
ion-beam exposure method	Ionenstrahlbelichtungsverfahren
ion-beam lithography	Ionenstrahllithografie
ion-beam microanalysis	Ionenstrahlmikroanalyse
ion-beam milling	Ionenstrahlätzen
ion-beam milling of the gold pattern	Ionenstrahlätzen der Goldstruktur
ion-beam milling system	Ionenstrahlätzanlage
ion-beam milling technique	Ionenstrahlätzverfahren
ion-beam printing	Ionenstrahlbelichtung
ion-beam sputtering	Ionenstrahlkatodenzerstäubung
keep the beam within 0.3 mm of its undeflected position	den unabgelenkten Strahl bis auf 0,3 mm genau positionieren
laser-annealed-beam induced heating mechanism	durch Laserstrahl ausgelöster Aufheizmechanismus
light-beam deflector	Lichtstrahlablenker
light-beam probe	Lichtstrahlsonde
manufacturing electron-beam exposure system	Elektronenstrahlbelichtungsanlage für Produktionszwecke
metallic beam tape	Metallfolienband
micron-sized electron-beam probe	Elektronenstrahlsonde mit einem Durchmesser im Mikrometerbereich
molecular-beam epitaxy	Molekularstrahlepitaxie
move the beam across the wafer in a raster scan fashion	den Strahl rasterförmig über den Wafer führen
move the substrate precise distances under the beam	das Substrat genaue Wegstrecken unter dem Strahl verschieben
multiple-beam version	Mehrfachstrahlausführung
multiple electron beams	mehrfache Elektronenstrahlen
offset from the beam axis	Versetzung von der Strahlachse
one-layer beam tape	einschichtiger Zwischenträgerfilm
optical E-beam hybrid approach	kombiniertes Verfahren mit Lichtoptik und Elektronenstrahlen
pattern by electron beam	durch Elektronenstrahl strukturieren
pattern by electron beam	elektronenlithografisch strukturieren
patterning beam	strukturerzeugender Strahl
placement of the beam	Positionierung des Strahls
placement of the beam	Plazierung des Strahls
position the beam at the centre of a field	den Strahl in der Mitte eines Feldes positionieren
position the beam to the exact location den	Strahl auf den genauen Ort plazieren
position the wafer underneath the electron beam	den Wafer unter dem Elektronenstrahl positionieren
primary electron beam	Primärelektronenstrahl
primary pattern generation with a serial electron beam	Primärstrukturerzeugung mit einem seriellen Elektronenstrahl
programmable-dimension rectangular beam	programmierbarer Formstrahl mit rechteckigem Querschnitt
project step-and-repeat electron-beam lithography machine	elektronenstrahllithografische Projektions-Step-und-Repeat-Anlage
pulsed electron beam	Impulselektronenstrahl
rastering electron beam	Rasterelektronenstrahl
rastering ion beam	Rasterionenstrahl
raster-scan the beam over a 128-by-128 pixel area	den Strahl rasterartig über eine quadratische Fläche von 128² Bildelementen führen
raster-scan the beam over the resist-coated surface	den Strahl rasterförmig über die resistbeschichtete Oberfläche führen
raster-scanned beam	Rasterstrahl
reactive ion-beam etching	reaktives Ionenstrahlätzen
rectangular beam of variable dimensions	rechteckförmiger Strahl mit veränderbaren Abmessungen
registration beam	Justierstrahl
return the beam to the fiducial mark	den Strahl zur Justiermarke zurückführen
rotate the substrate in the ion beam	das Substrat im Ionenstrahl drehen
round beam	Punktstrahl
round beam principle	Punktstrahlprinzip
round beam vector scan machine	Punktstrahlvektorscan-Gerät
scan a focussed E-beam across an area on the wafer	eine Elektronensonde über eine Fläche auf dem Wafer ablenken
scan an electron beam	einen Elektronenstrahl rasterartig führen (um eine Maskenstruktur zu schreiben)
scan each subfield by the electron beam in a raster	jedes Unterfeld mit dem Elektronenstrahl abrastern (rasterförmig abtasten)
scan every element in the pattern with a finely focussed spot beam	jedes Strukturelement mit einem feinfokussierten Strahl abrastern
scan the beam across the substrate	den Strahl rasterartig über das Substrat führen
scan the beam at right angles to the stage motion	den Strahl rechtwinklig zur Tischverschiebung auslenken
scan the beam over small distances	den Strahl rasterförmig über kleine Strecken ablenken
scan the beam over the target	die Marke mit dem Strahl abtasten
scan the electron beam over registration marks	das Elektronenstrahlbündel rasterförmig über die Feinjustiermarken führen
scan the electron beam over several wafer alignment marks	mit dem Elektronenstrahl mehrere Waferjustiermarken abtasten
scan the electron beam through the vicinity of the mark	mit dem Elektronenstrahl die Umgebung der Marke abtasten
scanned round beam	Rasterpunktstrahl
scanning beam	Rasterstrahl
scanning electron beam	Rasterelektronenstrahl
scanning electron-beam exposure system	Rasterelektronenstrahlbelichtungsanlage
scanning electron-beam generator	Rasterelektronenstrahlbildgenerator
scanning electron-beam lithography	Rasterelektronenstrahllithografie
scanning electron-beam system	Rasterelektronenstrahlanlage
scanning of the incident electron beam across the specimen surface	Abrastern der Probenoberfläche mit dem einfallenden Elektronenstrahl
send signals to the beam blanking plates	die Strahlaustastplatten ansteuern
serial electron-beam lithography	serielle Elektronenstrahllithografie
serial electron-beam writing	serielles Schreiben mit Elektronenstrahl
shape the beam	den Strahl formen
shaped beam	Flächenstrahl
shaped beam	Formstrahl
shaped-beam method	Flächenstrahlmethode
shaped-beam method	Formstrahlmethode
shaped-beam system	Formstrahlsystem
single-beam scan technique	Einstrahlrasterverfahren
single-beam system	Punktstrahlsystem
spread the beam in an X-Y raster	den Strahl in einem X-Y-Raster ablenken
square electron beam	Elektronenstrahl mit quadratisch begrenztem Querschnitt
step the beam across the writing field	den Strahl schrittweise über das Schreibfeld führen
step the electron beam by 0.5 μm in the x-direction	den Elektronenstrahl schrittweise um 0,5 μm in x-Richtung führen
stop point of the writing beam	Endlage des Schreibstrahls
submicron focussed ion beam	Ionensonde im Submikrometerbereich
submicron focussed ion beam	Submikrometerionensonde
sweep the beam across an aperture	den Strahl über eine Blende ablenken
switch the beam	den Strahl umschalten
switch the electron beam on or off at any point	den Elektronenstrahl in einem beliebigen Punkt hell- oder dunkeltasten
technology of E-beam mask making	Technik des Elektronenstrahlmaskenschreibens
tilt the substrate to the beam	das Substrat gegen den Strahl neigen
tilt the substrate to the beam	das Substrat zum Strahl kippen
turn the beam on at various points in the scan	den Strahl in verschiedenen Stellen im Raster helltasten
turn the electron beam on and off along each raster line as required	in jedem Rasterstreifen den Elektronenstrahl nach Maßgabe hell- und dunkeltasten
use a beam spot much smaller than the feature to be written	eine weitaus kleinere Strahlsonde als das zu schreibende Strukturelement verwenden
variable beam machine	Formstrahlanlage
variable beam shape	variable Strahlform
variable beam shape	variables Strahlformat
variable rectangular beam	Strahl mit variablem rechteckförmigem Querschnitt
variable shaped beam	variabler Flächenstrahl
variable shaped beam	variabler Formstrahl
variable shaped beam concept	Prinzip des variablen Flächenstrahls
variable shaped beam concept	Formstrahlprinzip
variable shaped beam exposure	Belichtung mit variablem Flächenstrahl
variable shaped beam system	Flächenstrahlanlage
variable shaped beam technology	Formstrahltechnik
variable shaped electron beam	variabler Flächenstrahl
variable shaped spot E-beam lithographic tool	lithografisches Elektronenstrahlgerät mit variabler Flächenstrahlsonde
variable shaped spot E-beam lithographic tool	elektronenlithografisches Formstrahlgerät
variable size beam	variabler Formstrahl
variably shaped scanning electron beam	Formstrahl eines Rasterelektronenmikroskops
vary under computer control the dimensions of a shaped beam	die Abmessungen eines Flächenstrahls computergesteuert verändern
vector scan beam deflection principle	Vektorscan-Strahlablenksystem
vector scan electron-beam machine	Vektorscan-Elektronenstrahlanlage
writing beam	Schreibstrahl
writing with an electron beam	Bearbeiten mit Elektronenstrahl (ES-Lithografie)
writing with an electron beam	Schreiben mit Elektronenstrahl (ES-Lithografie)