Terms for subject Microelectronics containing apparatus

English	Russian
cluster ion-beam apparatus	установка осаждения из потока ионизированных молекул
float-zone apparatus	установка очистки методом плавающей зоны
readout apparatus	считывающее устройство
recording apparatus	регистрирующий прибор
vapor-growth apparatus	установка для выращивания плёнок из паровой фазы