Terms for subject Microelectronics containing angling

English	Russian
acceptance angle	угол ввода
angle evaporation	наклонное напыление
groove angle	угол наклона штриха
sidewall angle	угол наклона боковой стенки
sidewall angle	клин травления
sidewall angle	клин проявления
small-angle boundaries	границы под малым углом
small-angle boundaries	малоугловые границы
tilt-angle implantation	наклонная ионная имплантация