Terms for subject Microelectronics containing aligner

English	Russian
auto aligner	автоматизированная установка смещения и экспонирования
auto aligner	автоматизированная установка смещения
deep-uv projection aligner	установка проекционной фотолитографии дальним УФ-излучением
diffusion tube aligner	устройство для ориентации трубы диффузионной печи
direct step-onto-wafer aligner	установка прямого последовательного шагового экспонирования
flip-chip aligner bonder	установка совмещения и монтажа методом перевёрнутого кристалла
full-field aligner	установка совмещения по всей пластине
full-field mask aligner	установка совмещения и экспонирования по всей пластине
hard-contact aligner	установка литографии с плотным контактом
mask aligner	установка совмещения и экспонирования
mask aligner	установка литографии
projection aligner	установка проекционной литографии
proximity aligner	установка литографии с зазором
reduction projection aligner	установка проекционной литографии
shadow mask aligner	установка литографии с зазором
shadow projection mask aligner	установка литографии с микрозазором
site aligner	установка литографии с последовательным шаговым экспонированием
soft-contact aligner	установка литографии с мягким контактом
step-and-repeat aligner	установка литографии с последовательным шаговым экспонированием
step-by-step aligner	установка литографии с последовательным шаговым экспонированием
stepper aligner	установка литографии с последовательным шаговым экспонированием
submicron aligner	установка совмещения с субмикронной разрешающей способностью
submicron mask aligner	установка совмещения с субмикронной разрешающей способностью
wafer aligner	установка литографии по всей поверхности пластины
wafer-stepping aligner	установка литографии с последовательным шаговым экспонированием
x-ray aligner	установка рентгеновской литографии