Terms for subject Microelectronics containing V-grooving

English	Russian
v groove	и-образная канавка
v-groove device	МОП-транзистор с и-образными канавками
v-groove etch	вытравливание и-образной канавки
v-groove gate	логический элемент на ИМОП-транзисторах
v-groove isolation	изоляция и-образными канавками
v-groove isolation polycrystal backfill	заполнение и-образных изолирующих канавок поликристаллическим кремнием
v-groove region	участок с и-образной канавкой
v-groove structure	структура с и-образной канавкой
v-groove technology	технология МОП ИС с и-образными канавками
v-groove technology	технология ИМОП ИС
v-shaped groove	и-образная канавка