Terms for subject Microelectronics containing Stage

English	Russian
continuous stage motion e-beam system	установка электронно-лучевой литографии с последовательным экспонированием
double-ended stage	симметричный каскад
hardware stage	стадия построения
implant-masking stage	этап маскирования перед имплантацией
layout stage	этап разработки топологии
multiple-stage deposition	многоступенчатое осаждение
photoetching stage	этап фотолитографии
single-ended stage	несимметричный каскад
stage controller	контроллер координатного стола
stage delay	время задержки распространения сигнала на каскад
stage working area	рабочее поле координатного стола
step-and-repeat stage	координатный стол с шаговым перемещением
x-y stage	координатный стол
x-y-0 stage	трёхкоординатный стол
x-y workpiece stage	координатный стол
x-y-z stage	трёхкоординатный стол