Terms for subject Microelectronics containing Room

English	Russian
class 100 clean room	чистое производственное помещение класса 100 class fiber bundle стекловолоконный жгут
clean dry room	чистое производственное помещение с осушённой атмосферой
clean room	чистое производственное помещение
clean-room apparel	одежда для чистых производственных помещений
clean-room footprint	сетка для планировки чистых помещений
clean-room garment	одежда для чистых производственных помещений
contaminant-free room	чистое производственное помещение
contaminant-free room	чистая комната
laminar-flow ultra-clean room	сверхчистое производственное помещение с ламинарным потоком очищенного
white room	чистое производственное помещение
white room	чистая комната
white-room facilities	оборудование для чистых производственных помещений
yellow room	жёлтая комната
yellow room equipment	литографическое оборудование
yellow room equipment	оборудование для жёлтых комнат
yellow room's step	фотолитографическая операция
yellow room's step	операция, проводимая в жёлтой комнате