Terms for subject Microelectronics containing E

English	German
direct E-beam slice writing technique	Direktschreibverfahren mittels Elektronenstrahlen
direct 1×E-beam writing on the wafer	Elektronenstrahldirektschreiben auf Wafer
direct 1×E-beam writing on the wafer	Direktschreiben der Struktur auf Wafer mit Elektronenstrahl
direct wafer exposure by E-beams	direkte Waferbelichtung durch Elektronenstrahlen
E-beam	Elektronenstrahl (Zusammensetzungen s.a. unter electron beam)
E-beam current	Elektronenstrahlstrom
E-beam direct-write-on-wafer	Direktschreiben mit Elektronenstrahlen
E-beam direct-write-on-wafer	ES-Direktschreiben auf Wafer
E-beam exposure	Elektronenstrahlbelichtung
E-beam lithography	Elektronenstrahllithografie
E-beam microfabricator	Elektronenstrahlbearbeitungsanlage für Mikroschaltkreise
E-beam processing	Elektronenstrahlbearbeitung
E-beam resist	elektronenstrahlempfindliches Resist
E-beam reticle generator	Elektronenstrahlretikelgenerator
E-beam system	Elektronenstrahlanlage
E-beam technology	Elektronenstrahltechnik
E-beam wafer-exposure system	Elektronenstrahldirektschreiber
extendability of E-beam technology to smaller feature sizes	Erweiterungsfähigkeit der Elektronenstrahltechnik auf kleinere Strukturgrößen
full-time operator attendance at the E-beam machine	Bedienung der Elektronenstrahlanlage durch einen Vollbeschäftigten
full-time operator attendance at the E-beam machine	Beaufsichtigung der Elektronenstrahlanlage durch einen Vollbeschäftigten
generation of patterns by E-beam	Bilderzeugung durch Elektronenstrahl
generation of patterns by E-beam	Strukturerzeugung durch Elektronenstrahl
optical E-beam hybrid approach	kombiniertes Verfahren mit Lichtoptik und Elektronenstrahlen
scan a focussed E-beam across an area on the wafer	eine Elektronensonde über eine Fläche auf dem Wafer ablenken
technology of E-beam mask making	Technik des Elektronenstrahlmaskenschreibens
thermal e.m.f.	Thermo-EMK
thermal e.m.f.	Thermokraft
thermal e.m.f.	thermoelektromotorische Kraft
variable shaped spot E-beam lithographic tool	lithografisches Elektronenstrahlgerät mit variabler Flächenstrahlsonde
variable shaped spot E-beam lithographic tool	elektronenlithografisches Formstrahlgerät