Terms for subject Microelectronics containing DAS

German	English
Annäherung an das Logikdiagramm	logic diagram approach
auf das 1,3fache des Nennwertes abgleichen	trim to 1.3x the nominal value
auf das Substrat gebondetes Chip	chip bonded to the substrate
Aufwand für das Layout	layout effort
aus dem Hauptspeicher in das Register übertragen	copy from main memory into the register (kopieren)
Ausdehnung der isolierenden Sperrschicht in das Substrat	extension of the insulating depletion layer into the substrate
automatische Justierung durch das Objektiv	automatic alignment through the lens
Beobachtung der Wafermarke durch das Retikel	through-focal-the-reticle wafer-mark viewing
Bonden des Chips auf das Substrat	chip-to-substrate bonding
chemische Beschichtung aus der Gasphase	chemical vapour deposition (CVD)
das absolute Höchstmaß an Genauigkeit gewähren	provide the absolute ultimate in accuracy
das Ausgabeformat vorwählen	preset the output format
das Bauelement entkappen	decap the device
das belichtete Fotoresist entfernen	remove the light-exposed photoresist
das belichtete Oxid wegätzen	etch away the exposed oxide
das Belichtungsfeld versetzen	offset the exposure field
das Belichtungsmuster in eine Reihe von Elementarfiguren zerlegen	decompose the pattern into a number of elements
das Bild auf den Wafer übertragen	reproduce the image on the wafer (kopieren)
das Bild der einen Maske mit dem anderen überdecken	superimpose the image of one mask on the other
das Bild der ersten Blende auf eine zweite Blende projizieren	project the image of the first aperture on a second aperture
das Bild der Schablone im Verhältnis 1:1 auf den Wafer projizieren	project the image of the mask at one to one magnification on to the wafer
das Bild einer veränderlichen Blende verkleinern	minify the image of a variable aperture
das Bild für jedes Chip neu fokussieren	refocus the image for each chip
das Bild im Abstandsverfahren belichten	make the print in proximity
das Bild von der Maske auf den Fotolack projizieren	project the image from a mask onto a photosensitive resist
das Bild von der Maske auf die Scheibe übertragen	transfer the image from the mask to the slice
das Bild zur Struktur auf der Maske geometrisch in Beziehung setzen	relate the image to pattern on the mask
das Blockende anzeigen	indicate the end of a block
das Chip auf dem Filmband vor der Endverkappung prüfen	test the chip on tape prior to final packaging
das Chip auf den Montagesockel bonden	bond the chip to the header
das Chip auf eine andere Größe mit Computer neu skalieren	rescale the chip to a different size by computer
das Chip direkt mit der Montageplatte verbinden	interconnect the chip directly to the board
das Chip mit Bondhügeln versehen	add bumps to the chip
das Chip vom Substrat abheben	lift the die off the substrate
das Chip weich einbet ten	cushion the chip
das Chipbild mit 10 facher Vergrößerung erzeugen	form the chip image at 10x scale
das darunterliegende Material unter Beachtung der Abmessungen ätzen	etch the underlying material with dimensional control
das Eindringen von Feuchtigkeit in eine Steckverbindung verhindern	prevent moisture from entering into a connector
das Eingangssignal dämpfen	attenuate the input signal
das Eingangssignal einmal in jedem Taktzyklus abtasten	sample the input signal once every clock cycle
das Eingangssignal verstärken	boost the input signal
das Elektronenstrahlbündel rasterförmig über die Feinjustiermarken führen	scan the electron beam over registration marks
das Elementverhalten bestimmen	govern device behaviour
das Endgerät abschalten	deactivate the terminal
das entsprechende Mikroprogramm aufrufen	call up the appropriate microprogram
das Ergebnis aus dem Umsetzer auslesen	read the result from the converter
das Ergebnis ausgeben	output the result
das Ergebnis einer Booleschen Verknüpfung negieren	negate the result of a Boolean operation
das Ergebnis in den Akkumulator zurückbringen	place the result back into the accumulator
das Ergebnis in den Speicher zurückbringen	return the result to memory
das erneute Auftreten eines Problems absichtlich hervorrufen	provoke deliberately the reappearance of a problem
das fehlerhafte Bit durch eine entsprechende binäre 1 kennzeichnen	identify the erroneous bit by a corresponding binary 1
das fertige Chip umgekehrt in den Keramikträger einsetzen	invert the completed chip into the ceramic carrier
das fokussierte Bild über die zweite Blende verschieben	displace the focussed image across the second aperture
das foliengebondete Chip direkt auf einem Substrat befestigen	attach the tape-mounted chip directly to a substrate
das Fotoresist auf der Oberfläche eines Wafers mit den Strukturen eines Retikels belichten	expose the photoresist on the surface of a wafer to the patterns on a reticle
das Fotoresist nur in den nichtbelichteten Flächen stehenlassen	leave photoresist only in those areas not exposed
das führende Bit auslassen	drop the leading bit
das Gate als Maske verwenden	use the gate as a mask (selbstjustierende Technik)
das Gehäuse umgekehrt auf die Leiterplatte montieren	mount the package upside down on the p.c. board
das Gehäuse öffnen	delid the package
das gesamte Belichtungsfeld abrastern	scan the entire exposure field
das gesamte Belichtungsfeld überstreichen	cover the entire exposure field (erfassen)
das gesamte Bildfeld für die tatsächliche Brennebene einstellen	adjust the entire image field for actual focal plane
das gesamte Chip abrastern	scan the whole chip
das gesamte Chip aus zunehmend größeren Funktionsblöcken aufbauen	build up the entire chip out of progressively larger blocks
das gesamte Retikel auf Verunreinigungen kontrollieren	inspect the entire reticle for foreign particles
das Gleichgewicht wiederherstellen	re-establish equilibrium
das Hochleistungsobjektiv unter echten Produktionsbedingungen voll ausnutzen	make the high performance lens fully operative in the real production world
das Interpretierprogramm in Assemblersprache schreiben	write the interpreter in assembly language
das kleine Bildfeld im Step-und-Repeat-Verfahren auf dem Wafer reproduzieren	step the small image field over the wafer
das 64-K-Speicherchip mit zusätzlichen Puffern bestücken	place additional buffers on the 64-K memory chip
das Labormodell aufrüsten	upgrade the lab model (z. B. zum Produktionsgerät)
das Layout entsprechend den Grundregeln zusammensetzen	synthesize the layout in accordance with the ground rules
das Layout für den Computer in Form seiner Strukturanordnung beschreiben	describe the layout to the computer in terms of its geometry
das Layout für große komplexe integrierte Schaltkreise erstellen	lay out large complex integrated circuits (anfertigen)
das Licht leiten	route the light
das Magazin aus dem Substrathandhabungssystem herausnehmen	remove the magazine from the substrate handling system
das Maskenbild auf das Substrat fokussieren	focus the mask image onto the substrate
das Maskenbild auf den resistbeschichteten Wafer projizieren	irradiate a mask onto the resist-coated wafer
das Maskenbild auf den Wafer abbilden	image the mask onto the wafer
das Maskenbild auf die Waferoberfläche projizieren	project the mask image down onto the wafer surface
das Mikrocomputerunterbrechungssystem steuern	drive the microcomputer interrupt system
das nächste Bit am Ende einsetzen	insert the next bit at the end
das nächste zu schreibende Feld anfahren	move to the next field to be written
das Originalretikel in die richtige Winkellage drehen	rotate the master reticle to the proper angle
das Problem auf eine Schaltungskarte einkreisen	isolate the problem to a circuit card (eingrenzen)
das Programm anhalten	suspend the program
das Programm auf dem Sichtgerät anzeigen	display the program on the CRT terminal
das Programm im letzten Speicherauszugspunkt wiederanlaufen lassen	restart the program from the last dump point
das Programm in den Programmspeicher über den Fernschreiber laden	load the program into the program memory via the teletype
das Programm in den Rechner einsetzen	insert the program into the calculator
das Programm über die Tastatur verändern	change the program from the keyboard
das Programm über einen Eingabe-Ausgabe-Kanal in einen Computer zur Speicherung auf Magnetband eingeben	feed the program via an I-O port to a computer for storage in magnetic tape
das Rechteck mit dem Schreibstrahl ausfüllen	fill in the rectangle by the writing beam
das Register löschen	clear the register
das Relais zum Anziehen bringen	energize the relay
das Resist gleichmäßig auf den Wafer mit hoher Geschwindigkeit aufschleudern	apply the resist evenly by spinning the wafer at high speed
das Resist in direkten Kontakt mit der Maske bringen	bring the resist into direct contact with the mask
das Resist in einem Abstand von wenigen Mikrometern von der Maske positionieren	position the resist within a few micrometres of the mask
das Retikel auf einem Fotorepeater verkleinern	reduce the reticle on step-and-repeat equipment
das Retikel direkt zum Wafer justieren	align the reticle directly to with the wafer
das Retikel in den Retikeltisch einlegen	insert the reticle into the reticle stage
das Retikel mit einer Step-und-Repeat-Kamera 10fach verkleinert abbilden	step the reticle with 10x reduction camera (zur Herstellung der Originalschablone)
das Retikelbild durch ein Verkleinerungsobjektiv projizieren	project the reticle image down through a reduction lens
das richtige Retikel einlegen	load the correct reticle
das Sauerstoffatom auf einen Siliziumzwischengitterplatz setzen	place the oxygen atom between the silicon lattice
das Schablonenbild genau auf dem Wafer abbilden	reproduce exactly the photomask image onto the wafer
das Schaltkreislayout unter Berücksichtigung der Entwurfsregeln ausführen	lay out the circuit according to a set of design rules
das schwache Licht in elektrische Signale umwandeln	convert the weak light into electrical signals
das Seitenverhältnis des Belichtungsfeldes verändern	vary the aspect ratio of the exposure field
das selbsttätige Prüfprogramm einleiten	trigger the self-test routine (auslösen)
das Sieb abheben	lift the screen away
das Signal formen	condition the signal
das Signal zwischen den Abtastwerten mitteln	average the signal between samples
das Strukturelement in rasterartiger Bewegung ausfüllen	fill in the feature in a raster-like motion (auspinseln)
das Strukturelement mit großen Belichtungsstempeln ausfüllen	fill the feature with large blocks
das Substrat gegen den Strahl neigen	tilt the substrate to the beam
das Substrat genaue Wegstrecken unter dem Strahl verschieben	move the substrate precise distances under the beam
das Substrat im Ionenstrahl drehen	rotate the substrate in the ion beam
das Substrat in drei Teile aufspalten	split the substrate into three sections
das Substrat vom Tisch entfernen	unload the substrate from the stage
das Substrat wieder magazinieren	return the substrate to the cassette
das Substrat während des Ionenstrahlätzens kühl halten	keep the substrate cool during ion milling
das Substrat zum Strahl kippen	tilt the substrate to the beam
das System in Untergruppen unterteilen partitionieren	partition the system into modules (Schaltungsentwurf)
das System unterbrechen	issue an interrupt to the system
das Teilprodukt zur nächsten Stufe weiterleiten	feed forward the partial product to the next level
das verkleinerte Retikelbild schrittweise im Step-und-Repeat-Verfahren übertragen	step the reduced reticle image
das vierte Bild auslassen	skip the fourth image (überspringen)
das Volumen unter dem Wafer evakuieren	evacuate the volume beneath the wafer
das Wort als ganzes übertragen	transfer the word en bloc
das zerstäubte Material auf dem Substrat abscheiden	deposit the ejected sputtered material on the substrate
den Befehl an das Mikrosteuergerät zur Auswahl des entsprechenden Substrats geben	command the microcontroller to select the appropriate substrate
den Befehl in das Befehlsregister eingeben	load the instruction into the instruction register
den Einsprung in das Maschinenprogramm bei Programmende erzwingen	force entry to the end-of-run routine
den genauen Chipabstand in bezug auf das Perforationsloch einhalten	retain the accurate chip spacing with respect to the sprocket hole
den Prozessor über einen Anschlußadapter an das Fernsprechnetz anschließen	connect the processor through an adapter to the telephone network
den Spalt durch das Lampenbild ausfüllen	fill the slit by the lamp image
den Strahl rasterartig über das Substrat führen	scan the beam across the substrate
den Strahl schrittweise über das Schreibfeld führen	step the beam across the writing field
den V-förmigen Graben in das Silizium ätzen	etch the V notch out of the silicon
die Abarbeitung um das Fünffache verlangsamen	slow execution by a factor of five
die Ablaufsteuerung an das Hauptprogramm zurückgeben	return control to the main routine (an der Stelle, an der es in das Unterprogramm sprang)
die Komplexität des Chips fast um das Fünffache erhöhen	increase the complexity of the chip almost fivefold
die Ladungspakete durch das Register schieben	shift the charge packets down the register
die Leiterplatten in das Chassis stecken	plug the boards in the backplane
die Maskenherstellungszeit um das Zwei- bis Dreifache verringern	cut the mask generation time down by a factor of two to three (reduzieren)
die quadratische Blende auf das Objekt scharf abbilden	focus the square shape of the aperture on the target
die Schablone in das Resist kopieren	print the mask into the resist
die Struktur schrittweise auf das Substrat übertragen	step the pattem onto the substrate
die Verstärkung bis auf das Zehnfache erhöhen	boost gain up to 10 times (steigern)
direkte Beobachtung durch das Objektiv	direct through-the-lens viewing
ein Potential an das elektrostatische Strahlaustastsystem legen	apply a potential to electrostatic beam blanking plates
eine π-Epitaxieschicht auf das Substrat aufwachsen lassen	grow a π epitaxial layer on the substrate
eine Fotoresistschicht gleichmäßig auf das oxydierte Silizium aufbringen	apply a layer of photoresist uniformly to the oxidized silicon
eine gewünschte Adresse über das Bedienungsfeld eingeben	enter a desired address from the control panel
eine Größe auf das Anwenderbedürfnis abstimmen	tailor a quantity to suit the user's need
eine kleine Grundladungsmenge durch das Bauelement durchschieben	propagate a small zero-level charge through the device
eine neue Maske in das System einschleusen	load a new mask into the system
eine weitaus kleinere Strahlsonde als das zu schreibende Strukturelement verwenden	use a beam spot much smaller than the feature to be written
einen gewaltigen Aufwand an Entwicklungsarbeit in das Projekt investieren	put a tremendous amount of thought and work into the project
Einsprung in das Unterprogramm	entry to the subroutine
genaue Fokussierung über das gesamte Bildfeld einhalten	maintain proper focussing over the full image field
gleiche Größe der Linienbreiten über das gesamte Bildfeld einhalten	control line sizes uniformly across the projection field
gleichmäßig durch das Oxid verteilt	uniformly distributed across the oxide
gleichzeitig alle äußeren Enden des Zwischenträgers auf das Substrat bonden	effect simultaneous bonds of all outer leads to the substrate
in bezug auf das Objektivsystem unverändert bleiben	remain fixed with respect to the lens system
in das entsprechende Binärwort kodieren	encode into the appropriate binary word
in das Gehäuse eindringen	seep into the package (z. B. Feuchtigkeit)
in das Hauptprogramm zurückspringen	return to the main-line program
in das Programm einschreiben	write into the program
in das Programm schreiben	write into the program
in das Siliziumgitter auf Substitutionsplätze eindiffundieren	diffuse into the silicon lattice substitutionally
in das Siliziumgitter eindringen	enter the silicon lattice
in das Siliziumsubstrat anisotrop ätzen	etch anisotropically into the silicon substrate
in däs Hauptprogramm zurückspringen	return to the main routine
Justierfehler für das Bildfeld	misalignment for the die
Justierung durch das Objektiv	through-focal-the-lens alignment
Kammer für das Einund Ausschleusen der Kassetten	shuttle chamber
kapazitive Kopplung durch das Substrat	capacitive coupling through the substrate
Kontaktkopieren der Struktur auf das Bauelementsubstrat	contact printing of the pattern onto the device substrate
Kontaktlöcher durch das Oxid zum Polysilizium öffnen	open contact holes through the oxide to the polysilicon
nur ein Rechteck auf das Objekt abbilden	image only a subrectangle on the target
Rücksprung in das Hauptprogramm	return to the main program
sich um das Vierfache vergrößern	increase by a factor of 4
Streuung von Sekundärelektronen in das Resist	straggling of secondary electrons into the resist
Teststrukturen in das Anordnungsfeld einfügen	substitute test patterns into the array
unter einem Winkel von 90° auf das Substrat treffen	strike the substrate at 90°
Vakuumteller für das Substrat	wafer chuck
von dem betrachteten Bild das Bild einer benachbarten Struktur subtrahieren	subtract from the image in view the image of one adjacent pattern
Zugriffsmethode für das Nachrichtenwesen	telecommunication access method
über das Eigenleitungsniveau heben	raise above the intrinsic level
Übertragung des Schablonenbildes auf das Fotoresist	transfer of mask image to photoresist