Terms for subject Microelectronics containing CVD

English	Russian
atmospheric pressure cvd	химическое осаждение из паровой фазы при атмосферном давлении
catalytic cvd	каталитическое химическое осаждение из паровой фазы
cryogenic cvd	химическое осаждение из паровой фазы на охлаждённую подложку
cvd boat	кассета для химического осаждения из паровой фазы
CVD process	химическое парофазное осаждение (MichaelBurov)
CVD process	ХПО (MichaelBurov)
cvd silicon	слой кремния, полученный методом химического осаждения
cvd technique	метод химического осаждения из паровой фазы
double-excitation photo cvd	фотохимическое осаждение из паровой фазы с двойным возбудителем
electron cyclotron resonance cvd	осаждение из парогазовой смеси в условиях циклотронного резонанса
epitaxial cvd	химическое осаждение эпитаксиального слоя из паровой фазы
excimer-laser-induced cvd	химическое осаждение из паровой фазы с эксимерным лазером
gradient field plasma cvd	плазмохимическое осаждение из паровой фазы с переменным градиентом
homogeneous cvd	гомогенное химическое осаждение из паровой фазы
laser-induced cvd	лазерно-стимулированное химическое осаждение из паровой фазы
liquefaction cvd	химическое осаждение из паровой фазы с образованием жидкой
low-pressure cvd	химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении
low-temperature cvd	низкотемпературное осаждение из паровой фазы
mo-cvd reactor	реактор для химического осаждения из паровой фазы
optical cvd	фотохимическое осаждение из паровой фазы
plasma-enhanced CVD	плазмохимическое осаждение из паровой фазы
pyrolytic cvd reaction	пиролитическая реакция при осаждении из паровой среды
thermal cvd	термохимическое осаждение из паровой фазы
ultrahigh vacuum cvd	химическое осаждение из паровой фазы в сверхвысоком вакууме
very low-pressure cvd	осаждение из паровой фазы при очень низком давлении