Terms for subject Microelectronics containing 5

English	Russian
3-5 alloy	сплав элементов 3 и 5 группы
group 5 impurity	примесь пятой группы
scaled poly 5 process	технология масштабированных ионно-легированных n-моп ИС
5x stepper	установка проекционной литографии с 5-кратным уменьшением изображения