Terms for subject Mass media containing direct steps

English	Russian
direct step-on-wafer lithography	фотолитография с непосредственной пошаговой проекцией рисунка на пластину
direct step-on-wafer system	установка проекционного пошагового репродуцирования уменьшенных изображений схем непосредственно на полупроводниковой пластине (без матричного фотошаблона)
direct writing step-and-repeat electronbeam exposure	бесшаблонное электронно-лучевое экспонирование с мультипликацией