Terms for subject Metrology containing defect

English	Russian
defect accumulation	скопление группа, цепочка дефектов
defect rate	частота отказов
defect resolution	разрешающая способность при обнаружении дефектов
equivalent defect	эквивалентный дефект
multiple defects	цепочка дефектов
open defect	поверхностный дефект
relative mass defect	относительный дефект массы