Terms for subject Electronics containing метод осаждения плёнки

Russian	English
метод осаждения плёнок, заключающийся в ионизации путём электронной бомбардировки скопления атомов, формируемого адиабатическим расширением испаряемого материала в вакууме, и ускорения этих атомов в направлении подложки	cluster ion beam evaporation
метод осаждения тонких металлических плёнок путём термического разложения металлоорганических соединений	metallo-organic deposition