Terms for subject Electronics containing коротковолновая область спектра

Russian	English
наиболее коротковолновая часть ультрафиолетовой области спектра	extreme ultraviolet
фотолитография с использованием наиболее коротковолновой части ультрафиолетовой области спектра	extreme ultraviolet lithography
фотолитография с использованием наиболее коротковолновой части ультрафиолетовой области спектра	EUV lithography