master mask set(набор фотошаблонов всех топологических слоёв ИС или ПП, совмещающихся в определённом порядке друг с другом и предназначенных для выполнения операций фотолитографии при изготовлении ИС или ПП)
kitchip(матрица нескоммутированных между собой элементов, из которых при помощи одного слоя заказных межсоединений можно реализовать несложную цифровую или линейную схему)