 |
| English | Russian |
| anisotropic etch property | свойство анизотропного травителя |
| anisotropic etching | ориентационное травление (травление, скорость протекания которого зависит от кристаллографического направления обрабатываемого материала) |
| vertical anisotropic etch | планарная технология с вертикальным травлением |