Terms for subject Electronics containing air isolation

English	Russian
air isolation	воздушная изоляция (электрическая изоляция элементов ИС воздушными зазорами)
air isolation	изоляция воздушными промежутками
air-isolation monolithic	монолитная структура с воздушной изоляцией
air-isolation monolithic ic	ИС с воздушной изоляцией
air-isolation monolithic structure	монолитная структура с воздушной изоляцией
air-isolation process	технология ИС с воздушной изоляцией
air-oxide isolation	окисная изоляция элементов ИС с "воздушными" электроосаждёнными мостиками из
fully-enclosed air isolation	полная воздушная изоляция