Terms for subject Thermal Energy containing fase

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deposição física em fase vapor	physical vapour deposition process
deposição química em fase vapor	chemical vapour deposition
tratamento de deposição física em fase vapor	physical vapour deposition treatment
tratamento de deposição física em fase vapor assistido por plasma	plasma assisted physical vapour deposition treatment
tratamento de deposição química em fase vapor assistido por plasma	plasma assisted chemical vapour deposition treatment