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Microelectronics
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zur
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German
English
an der beheizten Oberfläche
zur
Reaktion gelangen
react at the heated surface
Anweisung
zur
Datenformatierung
data formatting statement
ausgewählte Daten für den Bediener
zur
Sichtkontrolle ausgeben
output selected data to the operator for visual inspection
automatische Anlage
zur
Herstellung großer Vorlagen
automated large-scale artwork system
Befehl
zur
Verfolgung
trace command
(Ablaufverfolgung)
Befehl
zur
Verfolgung von Befehlen
instruction-trace command
bis
zur
Quelle durchreichen
reach through to the source
bis
zur
vollen Leistung aktivieren
power up
das Bild
zur
Struktur auf der Maske geometrisch in Beziehung setzen
relate the image to pattern on the mask
das Programm über einen Eingabe-Ausgabe-Kanal in einen Computer
zur
Speicherung auf Magnetband eingeben
feed the program via an I-O port to a computer for storage in magnetic tape
das Teilprodukt
zur
nächsten Stufe weiterleiten
feed forward the partial product to the next level
Dateien
zur
Verwendung in einem anderen System freigeben
release data files for use in another system
Daten
zur
Verarbeitung entpacken
unpack data for processing
Daten
zur
Verarbeitung wiedergeben
replay data for processing
(lesen)
Datenelement
zur
Beschreibung eines Satzes
element of data descriptive of a record
den Befehl an das Mikrosteuergerät
zur
Auswahl des entsprechenden Substrats geben
command the microcontroller to select the appropriate substrate
den Datenfluß vom Bus
zur
Empfangsstation selektiv durchsteuern
gate selectively the flow of information from the bus to the acceptor
den Inhalt
zur
späteren Verwendung zurückgewinnen
recover the contents for later use
den Strahl rechtwinklig
zur
Tischverschiebung auslenken
scan the beam at right angles to the stage motion
den Strahl
zur
Justiermarke zurückführen
return the beam to the fiducial mark
den Wafer
zur
optischen Achse justieren
reference the wafer to the optical axis
Diagnoseprogramme
zur
Fehlersuche
diagnostics
die Belichtung in einer genauen räumlichen Beziehung
zur
Marke gewährleisten
insure exposure in a precise spatial relationship to the mark
die darunterliegende Fläche
zur
weiteren Bearbeitung freilegen
bare the surface beneath for further processing
die Daten in Seiten einteilen
zur
Erleichterung des Zugriffs
partition the data into pages for ease of access
die Retikelmarke
zur
Tischmarke justieren
align the reticle mark to the stage mark
die Zwischenträgerbrücke genau
zur
Bondinsel ausrichten
align the lead accurately with the bonding pad
Dienstprogramme
zur
Unterstützung von Anwenderprogrammen
application support Utilities
eine Frequenz proportional
zur
Eingangsspannung erzeugen
generate a frequency proportional to the input voltage
eine Kurzschlußverbindung
zur
Leiterbahn herstellen
short to the conductor track
eine Struktur mit darunterliegenden
zur
Überdekkung bringen
register a pattern to underlying ones
eine Ziffer
zur
nächsthöheren Stelle addieren
add a digit to the next higher digit position
eine Übertragsziffer
zur
nächsthöheren Stelle übertragen
transfer a carry digit to the next higher digit position
einen Sprung
zur
Programmspeicheradresse 33 befehlen
command a jump to program memory address 33
einen vertikalen Übergang von der IC-Ebene
zur
Substratebene herstellen
make a vertical transition from the level of the IC to the level of the substrate
Einheit
zur
Erzeugung von Bussteuersignalen
bus controller
elektronenoptische Anlage
zur
Sondenerzeugung
probe-forming electron optical system
Elektronenstrahlbelichtung
zur
Strukturierung
electron-beam exposure for patterning
elektrooptisches Abtasten der Waferkanten
zur
Vorjustierung
electrooptical sensing of the wafer edges for prealignment
erweiterte Prozedur
zur
Steuerung von Datenübertragungen
advanced data communication control procedure
für externe Datenübertragung nicht
zur
Verfügung stehend
unavailable for external data transfer
Geschwindigkeit senkrecht
zur
velocity perpendicular to magnetic field direction
gleichmäßig vom Rand
zur
Mitte des Wafers
uniform from the edge to the middle of the wafer
Handschalter
zur
Informationseingabe in ein Computerprogramm
alteration switch
Hardware für den Übergang von einer Aufgabe
zur
anderen
task-switching hardware
Impuls
zur
Auslesung der augenblicklichen Adressen
address data strobe
in x-Richtung von einer Zeile
zur
nächsten fortschreiten
step in x-direction from one row to the next
Ionenprojektionsanlage
zur
Herstellung von integrierten Schaltkreisen
ion projection system for production of ICs
jede Folgestruktur mit der vorhergehenden
zur
Überdekkung bringen
align each successive pattem with the pattem previously used
Justiermarken mit den Marken auf dem Wafer
zur
Deckung bringen
bring alignment targets into coincidence with targets on the wafer
Komma
zur
leichteren Ablesung
comma for easy reading
(zwischen Tausenderstellen)
Lithografie
zur
Herstellung integrierter Schaltkreise
integrated circuit lithography
Logikschaltung
zur
Anpassung
interface logic
Luftschleuse
zur
Entladekammer
air lock to the unload chamber
mechanisch
zur
nächsten Belichtungsposition fahren
step mechanically to a new site for another exposure
(Wafertisch)
Methode der Programmerstellung von der hierarchisch höchsten Programmkomponente schrittweise bis
zur
niedrigsten Ebene
top-down design
Methode der Programmerstellung von unten schrittweise bis
zur
höchsten Ebene
bottom-brazed-up design
Mikroprozessoranwendung
zur
Produktionssteuerung
production control microprocessor application
parallel
zur
x-Richtung der Tischverschiebung justieren
align parallel to the X-axis motion of the stage
Programm
zur
Erstellung und Änderung eines Textes
text editor
Programme von der hierarchisch höchsten Programmkomponente schrittweise bis
zur
niedrigsten Ebene erstellen
implement programs in a top-down manner
Prozessormodul
zur
Verarbeitung externer Vorgänge
external event processor module
Rohdaten
zur
späteren Schubverarbeitung speichern
store raw data for later batch processing
Rückkehr
zur
Grundmagnetisierung
return to bias
Schaltkreis
zur
Bestimmung der Signalübertragungsgeschwindigkeit
baud rate generator
Schaltkreis
zur
gleichzeitigen Erzeugung eines Bildes innerhalb eines Fernsehbildes
picture-in-a-picture circuitry
Schaltkreisentwurf von der höchsten hierarchischen Ebene bis
zur
niedrigsten
top-down design of the chip
senkrecht
zur
Chipfläche
perpendicular to the chip surface
senkrecht
zur
Rasterbewegung
normal to the scan
senkrecht
zur
Waferoberfläche
normal to the wafer surface
sich bausteinartig
zur
Zentraleinheit zusammenschalten
hook together in building-block fashion to the CPU
sich seitlich bis
zur
Chipträgeroberseite erstrecken
extend up the side to the chip carrier's top surface
sich von einer Potentialmulde
zur
nächsten fortbewegen
move from one potential well to the next
sich
zur
gewünschten Dicke aufbauen
build up to the desired thickness
(Schicht)
sich
zur
Produktionsreife entwickeln
evolve into production usefulness
sich
zur
produktionsreifen Serienfertigung entwickeln
evolve to production-ready continuous-run status
Signal
zur
zeitlichen Steuerung
timing signal
Spezialbetrieb
zur
Herstellung von kundenspezifischen integrierten Schaltkreisen auf Siliziumchips
silicon foundry
Spiegel
zur
Knickung des Strahlengangs
folding mirror
Spiegel
zur
Knickung des Strahlengangs
fold
Stempel schräg
zur
Abtastrichtung
slanted rectangle
Stempel senkrecht
zur
Abtastrichtung
rectangle orthogonal to the scanning direction
Steuersprache
zur
Computerbedienung
job-control language
Steuersystem
zur
Datenübertragung
data communications control unit
Steuerung
zur
Signalüberwachung
signals supervisory control
Steuerzeichen
zur
Abfrage
inquiry control character
Struktur mit darunterliegenden Strukturen
zur
Deckung bringen
overlay a pattern on lower-level patterns eine
Suche
zur
Wiederauffindung von Datensätzen
search to retrieve records
symmetrisch
zur
optischen Achse
symmetrical with respect to the optical axis
technisches Verfahren
zur
Herstellung komplexer Bauelemente
technical approach to making complex devices
Teststruktur
zur
Messung der Defektdichte
defect measurement test pattern
Universalrechner
zur
Datenauswertung
general-purpose computer for data reduction
Unterbrechungsregister
zur
Steuerung der Programmunterbrechung
control and interrupt register
Verfahren
zur
Herstellung von Wiederholstrukturen
step-and-repeat
Verfahrenszeit vom Erhalt der Strukturdaten bis
zur
Maskenauslieferung
turn-around time from the receipt of pattern data to the delivery of masks
Verhältnis von belichteter Fläche
zur
Gesamtfläche
ratio of exposed area to total area
(eines Chips)
Waferhandhabung vom Magazin
zur
Aufspannvorrichtung
wafer handling from magazine to chuck
Zeit von der Belichtung bis
zur
Entstückung
expose to unload time
Zeit von der Bestükkung bis
zur
Belichtung
load to expose time
zur
Deckung bringen
register
zur
Vermeidung von Kurzschlüssen genügend Abstand zur Chipkante halten
clear the chip edge sufficiently to prevent shorting
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