Terms for subject Microelectronics containing in

German	English
Abrasterbewegung in einer Richtung	scanning motion in a single direction
Abstand in der Struktur	gap in the pattern
Abtastbewegung in einer Richtung	scanning motion in a single direction
Abtastung in Inkrementalschritten	stepped scan
elektronische Abtastung in Zeitintervallen	sampling
als eine weitere Variable eingehen in	enter as another variable in
als erste Anwärter für die Auslagerung in den Großspeicher kennzeichnen	flag as prime candidates for swapping back to mass storage
Angabe in einem Informationssatz	item in a set of information
Anordnung der Daten in einem Satz	arrangement of data in a record
Anweisung in der Auftragssprache	job-control Statement
Anwendung in der Produktion	production floor application
Atome in die Matrix eindiffundieren	diffuse atoms into the matrix
aufeinanderfolgende Chips in dem Ablenkbereich positionieren	place successive chips in the range of deflection
Auflösung von Resiststrukturen bis in den Submikrometerbereich	definition of resist patterns down to submicron dimensions
aus dem Hauptspeicher in das Register übertragen	copy from main memory into the register (kopieren)
aus der Entwicklung schnell in die Produktion übergeleitet werden	rush from test bench to production line
aus der Entwicklungsphase in den Produktionsbetrieb überführen	take from laboratory to production line operation
Ausbrenn-Programmierbarkeit in einem Logikfeld	programmability by fused links in an array
Ausdehnung der isolierenden Sperrschicht in das Substrat	extension of the insulating depletion layer into the substrate
Ausdehnung der VLSI-Technik in den Submikrometerbereich	extension of VLSI technology into submicrometre geometries
Ausgabeformat in Maschinensprache	object code output format
auslagern in	swap back out to
Auswertung praktischer Methoden in vielen Labors	multilaboratory evaluation of field methods
Bauelementstrukturen bis in den 100-Ä-Bereich herstellen	fabricate device structures down to the 100 Ä range
Befehl in Assemblersprache	assembly language instruction
Befehl in Maschinensprache	machine code instruction
Befehl in Maschinensprache	computer instruction
Befehle in der halben Zeit ausführen	execute instructions in half the time
Befehle in Symbolform umsetzen	convert instructions into symbolic form
Begrenzerschaltung in einem logischen Schaltungsaufbau eines Rechners	clamp in a computer logic circuit
Belastungstest in Stufen	step-stress test
Belichtung des gesamten Wafers in weniger als einer Minute	subminute exposure of the entire wafer
Belichtung in neun Schritten	nine-step exposure
Belichtung in vier Schritten	four-step exposure
bester Ausgleich von sieben Punkten auf dem Wafer in bezug auf die ideale Fokusebene	r.m.s. best fitting of seven points on the wafer to the ideal focal plane
Betriebsweise in Abhängigkeit vom Mikroprozessor	slave mode
Binärziffern in Vierergruppen anordnen	arrange binary digits in groups of four
bis zu acht Chips in einem Baustein von 1 Quadratzoll kapseln	package up to eight chips within a 1 in. square module
Bitfolge in einem Datenübertragungsblock	bit sequence in a frame
Bitspeicherung in jedem Block	bit storage in each block
Bor tief in die aktive Basiszone implantieren	implant boron deep into the active base region
Chips in TO-Gehäusen einsetzen	mount chips in TO cans
Darstellung von Befehlen in Symbolform	representation of instructions in symbolic form
das Belichtungsmuster in eine Reihe von Elementarfiguren zerlegen	decompose the pattern into a number of elements
das Bild zur Struktur auf der Maske geometrisch in Beziehung setzen	relate the image to pattern on the mask
das Eindringen von Feuchtigkeit in eine Steckverbindung verhindern	prevent moisture from entering into a connector
das Eingangssignal einmal in jedem Taktzyklus abtasten	sample the input signal once every clock cycle
das Ergebnis in den Akkumulator zurückbringen	place the result back into the accumulator
das Ergebnis in den Speicher zurückbringen	return the result to memory
das fertige Chip umgekehrt in den Keramikträger einsetzen	invert the completed chip into the ceramic carrier
das Fotoresist nur in den nichtbelichteten Flächen stehenlassen	leave photoresist only in those areas not exposed
das Layout für den Computer in Form seiner Strukturanordnung beschreiben	describe the layout to the computer in terms of its geometry
das Originalretikel in die richtige Winkellage drehen	rotate the master reticle to the proper angle
das Programm in den Programmspeicher über den Fernschreiber laden	load the program into the program memory via the teletype
das Programm in den Rechner einsetzen	insert the program into the calculator
das Programm über einen Eingabe-Ausgabe-Kanal in einen Computer zur Speicherung auf Magnetband eingeben	feed the program via an I-O port to a computer for storage in magnetic tape
das Resist in direkten Kontakt mit der Maske bringen	bring the resist into direct contact with the mask
das Resist in einem Abstand von wenigen Mikrometern von der Maske positionieren	position the resist within a few micrometres of the mask
das Retikel in den Retikeltisch einlegen	insert the reticle into the reticle stage
das schwache Licht in elektrische Signale umwandeln	convert the weak light into electrical signals
das Strukturelement in rasterartiger Bewegung ausfüllen	fill in the feature in a raster-like motion (auspinseln)
das Substrat in drei Teile aufspalten	split the substrate into three sections
das System in Untergruppen unterteilen partitionieren	partition the system into modules (Schaltungsentwurf)
Dateien zur Verwendung in einem anderen System freigeben	release data files for use in another system
Daten in den Speicher einlesen	read data into memory
Daten in den Stapelspeicher eingeben	push data into the stack
Daten in maschinenlesbare Form umwandeln	convert data to machine-readable form
Daten von einem verschlüsselten Format in ein anderes umwandeln	alter data from one coded format to another
Daten über den Eingangsbus in den Mikroprozessor senden	send information to the microprocessor via the input bus
Daten über einen Eingangskanal in die Anlage eingeben	take information into the system via an input port
Datenpunkt in der Matrix	data point in the array
D-A-Wandler in Hybridtechnik bauen	build D-A converters in hybrid form
Defekt in der Anlage	malfunction in the equipment
defektbehaftete Einzelbilder in den Verband einfügen	insert defective dice into the array
Defekte absichtlich in Masken erzeugen	fabricate intentionally defects into masks (für Defektkontrollzwecke)
Defekte in maximal 10 verschiedene Klassen einteilen	classify defects into up to 10 different categories
Defektretikel im Step-und-Repeat-Verfahren in willkürlich ausgewählte Plätze auf der Maske abbilden	step defect reticles into randomly selected locations on the mask
den Anschlußkammstreifen unter dem Bondwerkzeug in x- und y-Richtung positionieren	locate the lead frame pattern under the bonding tool in the x and y directions
den Befehl in das Befehlsregister eingeben	load the instruction into the instruction register
den Detektorausgang in periodischen Zeitabständen abtasten	sample periodically the sensor output
den Einsprung in das Maschinenprogramm bei Programmende erzwingen	force entry to the end-of-run routine
den Elektronenstrahl in einem beliebigen Punkt hell- oder dunkeltasten	switch the electron beam on or off at any point
den Elektronenstrahl rasterartig in einer Richtung ablenken	deflect the electron beam in a raster mode along one axis
den Elektronenstrahl schrittweise um 0,5 μm in x-Richtung führen	step the electron beam by 0.5 μm in the x-direction
den Entwurf in fortschreitend kleinere Funktionsblöcke unterteilen	decompose the design into successively smaller blocks
den genauen Chipabstand in bezug auf das Perforationsloch einhalten	retain the accurate chip spacing with respect to the sprocket hole
den hermetisch abgedichteten Chipträger aus dem Entwicklungsstadium in die Produktion überführen	bring the hermetic chip carrier from the development stage to production
den Inhalt der Adresse in den Eingangsbus senden	send out the contents of the address onto the input bus
den Kanal in seiner gesamten Länge einschnüren	narrow the channel over its entire length
den Mikroprozessor in mehrere Bereiche aufteilen	split the MPU into several sections
den normalen Betrieb in der Unterbrechungsstelle wiederaufnehmen	resume ordinary operation from the point of the interrupt
den Operateur im Waferhandhabungsprozeß in größtmöglichem Maße ausschalten	eliminate the operator in the wafer handling process to the greatest extent possible
den Prozessor in kleinere Bauelemente aufteilen	break down the processor into smaller elements
den Radixpunkt in einer bestimmten vorgewählten Stelle setzen	locate the radix point at a fixed predetermined position
den sicheren Sitz der Leiterplatte in der Steckverbindung gewährleisten	keep the board securely seated in the connector
den Speicherbefehl in drei Acht-Bit-Bytes aufteilen	split up the store instruction into three 8-bit bytes
den Strahl in der Mitte eines Feldes positionieren	position the beam at the centre of a field
den Strahl in einem X-Y-Raster ablenken	spread the beam in an X-Y raster
den Tisch in X und Y richtig positionieren	position the stage to the proper x-y coordinates
den Träger mit dem Chip nach unten in den Sockel einsetzen	mount the carrier chip down into the socket
den V-förmigen Graben in das Silizium ätzen	etch the V notch out of the silicon
den Wafer in Chlorbenzol tränken	soak the wafer in chlorobenzene
den Wafer in die richtige Position kippen	tip the wafer into the correct position
den Wafer.in einem X-Y-Raster bewegen	move the wafer in an X-Y raster
den Wafer wieder in eine Horizontalebene drehen	rotate the wafer back to a horizontal plane
den Wafertisch in bezug auf den Maskentisch in einer genau kontrollierten Weise antreiben	drive the wafer stage relative to the mask stage in a precise and controlled fashion (ansteuern)
den Wert in der kürzestmöglichen Zeit zurückführen	return the value in the shortest possible time
den Wert in einen bestimmten Datenspeicherplatz eingeben	enter the value into a particular location in the data memory
den Zähler in regelmäßigen Abständen inkrementieren	increment the counter at regular intervals
die Adresse eines falschen Wortes in einem Latch erfassen	latch the address of an incorrect word (auffangen, speichern)
die Antworten in einem Ergebnisspeicher registrieren	record the responses in a result memory
die Bauelemente aus dem Versuchsstadium in neue Anwendungsgebiete überleiten	push the devices out of the lab door and into new areas
die Belichtung in einer genauen räumlichen Beziehung zur Marke gewährleisten	insure exposure in a precise spatial relationship to the mark
die Chips in Massenproduktion herstellen	mass-produce the chips
die Chipstruktur in Unterfelder teilen	divide the chip pattern into subfields
die Daten im Multiplexbetrieb in den Bus speisen	multiplex the information onto the bus (eingeben)
die Daten in dem entsprechenden Speicherplatz abspeichern	store the data in the appropriate location
die Daten in den Bus bringen	place the data on the bus
die Daten in den Speicher einlesen	load the information into the memory
die Daten in einen Bus eingeben	supply information to a bus
die Daten in Seiten einteilen zur Erleichterung des Zugriffs	partition the data into pages for ease of access
die Daten wieder in den Speicher einschreiben	rewrite the data into memory
die differentielle Ausgangsspannung in zwei Punkten abtasten	sample the differential output voltage at two points
die Eingabe eines Programms in einen Computer einleiten	initiate the loading of a program into a computer
die einzelnen Chips schrittartig in die Bondstellung weiterschalten	index the individual chips into bonding position
die Entwicklung der Strukturen bis in den 1-μm-Bereich vorantreiben	push geometries down to 1 μm area
die Entwurfsaufgabe in mehrere kleinere Unteraufgaben unterteilen	divide the design task into several smaller subtasks
die Entwurfstopografie in eine Primärstruktur umsetzen	convert the designer's topography into a primary pattern
die Fehlerinformationen in den Hilfsprozessor eingeben	load the error information into the support processor
die gesamte A-D-Funktion in einem DIP-Gehäuse mit 18 Anschlüssen unterbringen	accommodate the complete A-D function into an 18-pin dual-in-line package
die gesamte Zentraleinheit in ein Einzelchip packen	compress the entire CPU into a single chip
die Impulse in einen Zähler eingeben	feed the pulses into a counter
die Informationen in den Ausgangskanal takten	clock the information into the output port
die Informationen in Speicherflipflops bringen	place the information in latches
die integrierten Schaltkreise durch Testchips in ausgewählten Plätzen auf den Wafern ersetzen	substitute the test chips at selected sites for integrated circuits on wafers
die Leiterplatten in das Chassis stecken	plug the boards in the backplane
die Logik in Funktionseinheiten unterteilen	partition logic into functional units
die logischen Operationen in Beziehung setzen	relate the logical operations
die Maske in der endgültigen Größe herstellen	fabricate the mask at final size
die Maske in einem Bearbeitungsschritt nach den magnetbandgespeicherten Daten herstellen	make the mask in one step from the magnetic tape data
die Maske in einen kleinen Abstand zum Wafer bringen	put the mask in near proximity to the wafer
die Maske in PMMA abbilden	replicate the mask into polymethyl methacrylate
die Operation in der Zeit des anliegenden Belegtsignals aussetzen	suspend operation until the busy signal disappears
die Prozessorzeit in Anspruch nehmen	tax the processor's time
die Rechnerlogik in Fehlerbereiche einteilen	divide the computer logic into error domains
die Schablone in das Resist kopieren	print the mask into the resist
die Scheibe in die Haltevorrichtung mit der vorderen Oberfläche nach oben einsetzen	load the slice in the fixture with the front surface up
die Scheibe um ihren Mittelpunkt in der Scheibenebene drehen	rotate the slice about its centre in the slice plane
die Schicht in Wasser lösen	dissolve the layer in water
die Siliziumnutzfläche topografisch in kleinen Rechtecken darstellen	map the silicon real estate into small rectangular areas
die Struktur in Elementarfiguren zerlegen	divide the pattern into basic elements
die Substratlage in bezug auf die Strahlachse bestimmen	determine substrate position relative to the beam axis
die Verarbeitung fließbandartig in drei Stufen durchführen	pipeline the execution in three stages
die vollständige Struktur für alle Chips in natürlicher Größe der endgültigen Strukturelemente enthalten	contain the complete pattern for all dice at the actual size of the final features (1 ×)
Diffusion von der Vorderseite des Wafers in die Schicht	diffusion from front side of wafer into film
Diffusionsvermögen von Elektronen und Defektelektronen in der Basis	diffusivity of electrons and holes in the base
Direkteingabe in den Fotorepeater	direct insertion into the step-and-repeat camera
Dotierungssubstanzen in Silizium einbauen	incorporate dopants into silicon
Dual-in-line-Gehäuse aus Keramik	cerdip (dual-in-line package)
Dual-in-line-Gehäuse aus Keramik	ceramic DIP (dual-in-line package)
Dual-in-line-Gehäuse mit 2,5 mm Stiftabstand	jelly bean (Schaltkreisgehäuse mit zwei Reihen von Anschlußstiften)
Dual-in-line-Gehäuse mit 2,5 mm Stiftabstand	dual-in-line package (Schaltkreisgehäuse mit zwei Reihen von Anschlußstiften)
Dual-in-line-Metallgehäuse	dual-in-line metal case
durch Steuerimpulse die Spaltenadreßbits in den RAM übernehmen	strobe the column address bits into the RAM
Durchbiegung in der Mitte	centre-point bow
Durchbruchspannung in Sperrichtung	reverse breakdown voltage
Dutzende von Logikelementen in einer einzigen integrierten Schaltung vereinigen	consolidate dozens of logic elements into a single IC
Ebene in der Höhe der Oberseite des Substrats	plane at the level of the topside of the substrate
Ebene in einer hierarchischen Struktur	hierarchical level
ein größeres Chip in einem kleineren Gehäuse unterbringen	house a larger chip in a smaller package/ to
ein kleines Bildfeld rasterförmig in zwei Koordinatenrichtungen über den Wafer führen	raster-scan a small image field over the wafer in two dimensions
ein 4 mm breites Bild des Spalts in der Maskenebene erzeugen	create a 4.0-mm wide image of the slit at the mask plane
ein Programm in einer bestimmten Adresse einlesen	load a program at a specified address
ein Wort direkt in den Speicher eingeben	enter a word directly into memory
Einbau in ein Einchipbauelement	inclusion in a single chip device
Eindringen in die Kanalbreite	encroachment into the channel width
eine Blende in die Ebene einer zweiten Blende abbilden	image an aperture in the plane of a second aperture
eine geringe Zahl von Störatomen in Silizium einbauen	incorporate a low quantity of impurity into silicon
eine größere Anzahl von Schaltungsfunktionen in einem einzelnen integrierten Schaltkreis ausführen	perform an increased number of circuit functions within a single IC
eine 1 in Bitposition 0 des Datenbusses ausgeben	output a 1 in bit position 0 of the data bus
eine neue Maske in das System einschleusen	load a new mask into the system
eine Spaltenadresse durch Strobe-Signal in die Speicherauswahllogik übergeben	strobe a column address into the memory selection logic
eine Struktur in einer Kontaktbelichtungsanlage durch eine Chromschablone belichten	expose a pattern in a contact printer through a chrome mask
eine Struktur in elektronenempfindlichem Resist schreiben	draw a pattern in an electron-sensitive resist
eine Struktur in Streifen zerlegen	dissect a pattern into stripes
eine zeitliche Verzögerung in den Datenübertragungsprozeß einführen	introduce a time lag into the process of transmitting data
einen Durchsatznachteil in Kauf nehmen	suffer a throughput penalty
einen Fehler in die laufende Operation übertragen	carry over an error to the current operation
einen Fehler in einem Programm diagnostizieren	diagnose an error in a program
einen gewaltigen Aufwand an Entwicklungsarbeit in das Projekt investieren	put a tremendous amount of thought and work into the project
einen Graben in einen Wafer ätzen	etch a wafer with a groove
einen Maschinenzustand in den Zentralprozessor abrufen	scan a machine state into the central processor (über Datenabfrageleitung)
Eingabe eines Programms in einen Rechner	loading of a program into a computer
Eingangsgrößen in Datensätzen verteilen	disperse input items among data sets
einlagern in	swap into
einlesen in	load into
Einsetzen der Kassetten in die Ladekammer	insertion of cassettes into the load chamber
Einspeichern von Daten in den Stapelspeicher	push
einspeisen in	route to
Einsprung in das Unterprogramm	entry to the subroutine
Einsprung in eine Routine	entry to a routine
Elektronenstrahl in y-Richtung ablenken	deflect the electron beam along the y axis den
Elektronenstrahlstrukturierung in endgültiger Größe	electron beam patterning at final size
Elektronenübergang in der Schale	electronic transition in the shell
Elementgröße in der Einzelbildstruktur	feature dimension in the die pattern
eng in Wechselwirkung Zusammenarbeiten mit	interact intimately with
enge Überdeckungstoleranz in einer großen Maskenfläche	tight registration tolerance over a large mask area
Entwicklungsungleichmäßigkeit in Wafermitte	development non-uniformity at the wafer centre
epitaxiales Silizium in einer Wasserstoffatmosphäre aus Silan aufwachsen lassen	grow epitaxial silicon in a hydrogen atmosphere from SiH₄
Fehler durch Störung in der Anlage	hang error
Fehler in der Anlage	malfunction in the equipment
Fehler in der Tischpositionierung kompensieren	compensate for errors in stage position
Fehler in der Überdeckung zwischen den Strukturen	pattern misregistration
Fehlerfreiheit in einem Datensatz	absence of error in a set of data
fehlerhafte Justierung zwischen lithografischen Prozessen in der Waferherstellung	misregistration between lithography processes in wafer fabrication
Fehlerort in der Bildebene	aberrated position in the image plane
Fehlersuche in Abschnitten	section debugging
Fehlersuche in Mikroprogrammen	microprogram debugging
Feinjustierbewegung in φ	fine control Ф movement
Fenster in der Metallmaske	opening in the metal mask
Feuchtigkeitsgehalt in Schaltkreisgehäusen	moisture content within circuit packages
Folgeschritte in einem Bondzyklus	sequential steps in a bond cycle
Formabweichung in Spaltrichtung	slit-direction runout
Formtreue in der Strukturübertragung	fidelity in pattern transfer
Fremdatome in den Wafer in einer bestimmten Struktur einbauen	introduce impurities into the wafer in a particular pattern
Fremdatome in genau definierte Zonen des Halbleiterwafers eindiffundieren	diffuse impurities into precisely defined regions of the semiconductor wafer
Geradlinigkeit der Bewegung in der x- und y-Achse	straightness of travel along both x and y axes
Gleichmäßigkeit der Belichtung in dem Feld von 1 cm²	exposure uniformity across the 1 cm² field
gleichzeitiges Eintreffen der Daten in einem Punkt	arrival of data at one point at the same time
große Datenmengen im On-line-Betrieb in einem Zentralprozessor speichern	store large volumes of data on-line to a central processor
große Datenmengen in relativ kurzen Zeiten speichern	store large quantities of data in relatively short time periods
Halbleiterbauelemente in einem Siliziumchip	semiconductor components in a silicon chip
Handschalter zur Informationseingabe in ein Computerprogramm	alteration switch
Herstellung einer integrierten Schaltung in Silizium	silicon integrated circuit fabrication
Herstellung kundenspezifischer Logikbausteine in kleinen Serien	low-volume custom logic chip fabrication
Herstellung von Retikeln als Zwischenschritt in der Maskenherstellung	generation of reticles as an intermediate step in producing masks
hoher Wiederholgrad in der Struktur	high degree of repetition in the pattern
Härtungszeit bei 75 °C in Luft	baking time at 75 °C in air
immer mehr aktive Elemente in immer weniger Raum packen	condense more and more active elements into less and less space
immer mehr Leistung in Halbleiterchips integrieren	pack ever more performance into semiconductor chips
immer mehr Schaltungselemente und Funktionen in einem monolithischen Siliziumsubstrat integrieren	pack more and more circuit elements and functions on a monolithic silicon substrate
in Abständen von 11,25 μm anordnen	accommodate on an 11.25-pm pitch
in alle Richtungen streuen	scatter in all directions (Proximity-Effekt)
in Anführungszeichen	quoted
in beiden Richtungen zählen	count in either direction
in Betrieb nehmen	commission (eine Rechenanlage)
in bezug auf das Objektivsystem unverändert bleiben	remain fixed with respect to the lens system
in bezug auf den Eingang invertieren	invert with respect to the input
in bezug auf die Retikelmarken zentriert	centred with respect to the reticle marks
in das entsprechende Binärwort kodieren	encode into the appropriate binary word
in das Gehäuse eindringen	seep into the package (z. B. Feuchtigkeit)
in das Hauptprogramm zurückspringen	return to the main-line program
in das Siliziumgitter auf Substitutionsplätze eindiffundieren	diffuse into the silicon lattice substitutionally
in das Siliziumgitter eindringen	enter the silicon lattice
in das Siliziumsubstrat anisotrop ätzen	etch anisotropically into the silicon substrate
in Datenleitungen im Eingabezustand	data bus
in dem übertragenen Bild als Defekte erscheinen	appear as defects in the printed image
in den anderen stabilen Zustand übergehen	change to the other stable state
in den Ausgangszustand Null umschalten	return to zero output state (springen)
in den Einszustand "1"-Zustand schalten	go to the ONE state
in den Einszustand "1"-Zustand schalten	go to the ONE condition
in den Kanal eindringen	penetrate into the channel
in den Mikroprozessor einlesen	read into the microprocessor (eingeben)
in den Nullzustand schalten	set to zero
in den Ruhezustand versetzen	idle
in den Röntgenstrahlendetektoren eine Null anzeigen	detect a null in the X-ray detectors
in den Röntgenstrahlendetektoren Nullanzeige erreichen	achieve the null in the X-ray detectors
in den Schaltkreis einbauen	incorporate into the circuit (integrieren)
in den Sperrzustand zurückschalten	switch back to the cutoff state
in der Basis gespeicherte Ladung	base-stored charge
in der Bibliothek gespeicherte Standardschaltkreiselemente aufrufen	call up standard circuit elements stored in the library
in der Logik der Zentraleinheit verteilt	scattered throughout the CPU logic
in der Reaktionskammer	reactor pressure
in Dialogverkehr mit der Außenwelt treten	interact with the outside world (stehen)
in Dialogverkehr stehen	interact (treten)
in Dialogverkehr treten mit	interact with
in Dialogverkehr treten mit	communicate with
in die angegebene Adresse zurückbringen	place back into the specified address
in die Anlage einsetzen	insert into the system
in die ursprüngliche Analogform zurückverwandeln	reconvert back to the original analogue form
in die ursprüngliche Analogform zurückverwandeln	reconvert back to the original analog form
in digitale Bildelemente zerlegen	dissect into digital pixels
in Digitalform umwandeln	convert into digital format (z. B. Analogeingangssignale)
in Durchlaßrichtung vorgespannt	forward biased (gepolt)
in Durchlaßrichtung vorgespannter Übergang	forward-biased junction
in Durchlaßrichtung vorspannen	forward-bias (z. B. den pn-Obergang)
in däs Hauptprogramm zurückspringen	return to the main routine
in ein Leiterplattenchassis passen	fit into a mother board
in ein Plateau übergehen	level off
in eine Fourier-Reihe entwickeln	expand into a Fourier series
in eine gekrümmte Bahn ablenken	deflect in a curved path
in eine logische Ablauffolge bringen	sequence
in eine Reihe von Streifen zerlegen	decompose into a number of stripes
in eine Resistschicht einkoppeln	couple into a film of resist
in eine Routine einspringen	enter a routine
in einem einzigen Block gruppieren	group into a single block
in einem Latch intern speichern	latch internally
in einem Spezialrahmen vorjustiert	prealigned in a special frame
in einem Winkel von 55° geneigt	inclined at an angle of 55 degrees
in einen bestimmten gewünschten Zustand bringen	condition
in einen hochohmigen Zustand setzen	place into a high-impedance state
in einen Sperrzustand übergehen	enter a non-conducting state
in einer Ausgabearbeitsdatei registrieren	record in an output job file
in einer Magnetplatteneinheit fortlaufend speichern	store consecutively on a magnetic disk unit
in einer regelmäßigen Anordnung von einheitlichen Bildern wiederholen	repeat into an array of unit images
in Einzelchips zersägen	dice
in Einzelchips zersägt	saw-damaged-diced
in einzelne Bauelemente trennen	dice into individual devices
in einzelne Chips zersägen	saw into separate individual dice
in Gleichung 1 eingehen	enter Eq. (1)
in hierarchischer Stufenfolge testen	test in hierarchical fashion
in hohem Maße für die verschiedensten Verwendungszwecke benutzen	employ extensively in a wide variety of applications
in Kaskade geschaltet	cascaded
in Kaskade zusammenschalten	cascade
in kleine Rechenblöcke zerlegen	break up into small computational blocks
in Luft gehärtet	baked in air
in Objekte zerlegen	break up into objects
in periodischen Zeitabständen gegen eine Meßmarke auf dem Tisch prüfen	check periodically against a fiducial mark on the stage
in Polymerresist geschriebene Struktur mit kleinsten Linienbreiten	narrowest structure written in polymer resist
in Reihe geschaltet	connected in series
in Reihe geschaltet	cascaded
in schon existierenden Anlagen nachrüstbar	retrofittable to systems in the field
in Serie gefertigt	off-the-shelf
in Serie gegeneinander geschaltet	back-to-back
in Serie gegeneinander geschaltete Dioden	back-to-back diodes
in Serie geschaltet	connected in series
in Serie schalten	connect in series
in Serienproduktion überführen	put into high-volume production
in sich geschlossene automatisierte Anlage	in-line system
in Silizium geätzte Struktur eines integrierten Schaltkreises	integrated circuit pattern etched in silicon
in Speichermoduln Platz sparen	save space in the memory modules
in Sperrichtung gepolte betriebene Diode	reverse biased diode
in Sperrichtung vorgespannt	reverse-biased (betrieben)
in Sperrichtung vorgespannt	backbiased
in Sperrichtung vorgespannter p-n-Übergang	reverse-biased p-n junction
in Sperrichtung vorgespannter Übergang	backbiased junction
in Stufen von 4 inkrementieren	increment in steps of 4
in Vorwärtsrichtung betrieben	forward biased
in Wechselwirkung stehen	interact (treten)
in x, y und φ justieren	align on the X, Y and Ф axis
in x-Richtung von einer Zeile zur nächsten fortschreiten	step in x-direction from one row to the next
in y-Richtung ablenken	deflect along the y axis
in Zeitabständen neu korrigieren	re-correct periodically
Informationen in genau festgelegter Weise austauschen	exchange information in a well-defined manner
Informationen über einen Eingangskanal in die Anlage eingeben	take information into the system via an input port
Inhalt in den Stapelspeicher eingeben	load contents onto stack
Inhalt in der angegebenen Adresse speichern	store contents at the specified address
Injektion von Löchern aus einer p⁺- in eine n-Zone	injection of holes from a p+ into an n-region
innere Spannung in der Resistschicht	internal stress in the resist film
innere Vorgänge in Halbleiterbauelementen	inner workings of semiconductor devices
Integration in einem Chip	on-chip integration
integrierte Schaltkreisfertigung in einem Halbleiter	semiconductor integrated circuit fabrication
integrierte Schaltung in Plastgehäuse	plastic-packaged integrated circuit
Interfacefunktionen in Software realisieren	realize interface functions in software
jedes Element einzeln zu dem entsprechenden Element in der vorher belichteten Struktur justieren	align each element individually to its corresponding element in the previously printed matrix
Justiermarken in jeder Maske oder Belichtungsschablone einfügen	incorporate alignment targets in each mask or reticle
Justierung in φ-Richtung	rotational alignment
Kanallänge in Stromflußrichtung	channel length in direction of current flow
Kennlinie der Durchbruchspannung in Sperrichtung	reverse breakdown characteristic
komplexe Strukturen in Teilrechtecke zerlegen	fracture complex geometries into component rectangles
Konstanten in Befehle einfügen	embed constants in instructions
Konstanten in den Datenweg einlesen	read constants into the data path
Kontaktloch in der Montageplatte	in-board via
Koordinatentisch eines Bonders für schnelles Abfahren in x- und y-Richtung	rapid-scan X-Y worktable of a bonder
kreisförmiger Spalt in der Objektebene	circular object plane slit
Kristallrohlinge in Scheiben schneiden	slice ingots into wafers
Laden des Substrats in eine Kassette	substrate loading into a cassette
Ladung in der Potentialmulde speichern	store charge in the potential well
Ladungsträger in einem Eigenhalbleiter	intrinsic carrier
Lage der Bondinseln in den Chipecken	location of the bond pads in the corners of a chip
lateraler Transistor in Basisschaltung	grounded-base lateral transistor
Lawinenwirkung in der Kollektorsperrschicht	avalanche action in the collector junction
leere Nulloperationsteilschritte in den Befehlsablauf einfügen	insert dummy do-nothing sub-steps into the instruction cycle
Leistungsgrenze in der Projektionslithografie	performance limit in projection lithography
Leiterplatte für Einbau in Finalprodukte	OEM board
Leiterplatten in einen Kartenkäfig einschieben	slot circuit boards into a card cage
Leitung in Flußrichtung	forward conduction
Lichtimpulse in entsprechenden Intervallen auslösen	pulse the light source at proper intervals
Lichtquelle hoher In tensität	high-intensity source
linear in Sättigung betreiben	operate linearly in saturation
Lock-in-Verstärker	lock-in amplifier (der nur auf Signale seiner eigenen Frequenz anspricht)
logischer Fehler in der Programmierung	logical error in programming
μm Mikrolinienstrukturen in der Größenordnung von 1 pm	fine line geometries of the order of 1
μm mikrolithografische Versetzungen in Inkrementen von 0,1 μm	microlithographic displacements in increments of 0.1
μm Strukturbreiten in einem großen Variationsbereich von 1,5 μm bis 3,0 μm	features ranging from as small as 1.5 μm to as large as 3.0
Manipulieren in der Retikelebene	manipulation at the reticle plane
Maskenbewegung in der Kontaktstellung	mask movement in the contact position
mehr Elemente in weniger Raum packen	cram more items into less volume
mehr Funktionen in den einzelnen Schaltkreis packen	compress more functions into the individual circuit
mehrere wesentliche Konstruktionsbesonderheiten in der Anlage berücksichtigen	incorporate several features into the system
Messung opaker Linien und transparenter Zwischenräume in Durchlicht	measurement of opaque lines and clear spaces in transmitted illumination (z. B. auf Fotomasken mit integrierten Schaltkreisen)
Metallisierung in mehreren Ebenen	multilevel metallization
Mikroprozessoranwendung in Kraftfahrzeugen	automotive microprocessor application
Minoritätsträgerspeicherung in der Basiszone	minority carrier storage in the base region
mit der Struktur auf der Vorderseite in Deckung bringen	register to the front side pattern
mit einer Geschwindigkeit von 0,1 μm in jedem Bildfeld justieren	align to 0.1μm at each exposure field
modulares Programmieren in höheren Sprachen	modular programming in high-level languages
Montage durch Einstecken in Leiterplattenlöcher	mounting by plugging into holes in p.c. boards
Muttermaske in endgültiger Größe	master mask at final size
nach einer neuen Aufgabe in der Aufgabenbibliothek suchen	search for a new task in the task library
Nachtrocknen in einem Infrarotofen	postbaking in an infrared oven
nachträglich in schon vorhandene Anlagen einbauen	retrofit to systems already in the field
neue Daten in den Speicher leiten	gate new data into the memory
nicht in Überdeckung befindlich	misregistered (z. B. Strukturkanten)
nichtprogrammierter Stopp in einer Programmfolge	hang-up
noch in den Anfängen steckend	still-infant
Operationsverstärker in n-MOS-Technik	operational amplifier in n-channel MOS technology
Originalschablone in endgültiger Größe	master mask at final size
Originalvorlagen in zwanzigfacher Vergrößerung der endgültigen Bildgröße schneiden	cut artmasters at twenty times final image size
Plazierung der Bilder in Matrixform	placement of images in an array
Positionierung der Bilder in Matrixform	placement of images in an array
Positionierung einer Maske in bezug auf eine Probe	positioning of a mask with respect to a sample
Programmablauf in Makrobefehlsform	program run in macroinstruction form
Programmsegmente in den Speicher aufrufen	call segments into memory
Programmtestung unter Einbeziehung des sich noch in Entwicklung befindlichen Anwendersystems	in-circuit emulation
Prozessor in den Wartezustand setzen	put the processor in the wait mode den
Pufferspeicher für Datenumladung in den Hauptspeicher	swap buffer
reproduzierbare Abmessungen in jedem Maskierungsschritt	reproducible dimensions at every masking step
Reproduzierbarkeit von Gerät zu Gerät in verschiedenen Laboratorien	interlaboratory reproducibility
Reproduzierung von Strukturelementen bis in den Submikrometerbereich	replication of features down to the submicron size
Retikelausrichtung in φ	reticle rotation
Richtigkeit der Justierung zwischen Retikeln in einem Satz	correctness of alignment between reticles in a set
room in which the system is located die harten Klimaanforderungen an den Geräteaufstellungsraum verringern	reduce the environmental constraints on the
Rücksprung in das Hauptprogramm	return to the main program
Satz in einer geketteten Datei	chained record
Sauerstoffeinbau in eine aufgestäubte Schicht	oxygen incorporation into a sputtered film
Schaltkreis in n-Kanal-MOS-Technik	n-metal-oxide semiconductor circuit
Schaltkreis in PMOS-Technik	p-metal-oxide semiconductor circuit (p-Kanal-selbstsperrende MOS-Feldeffekttransistor-Technik)
Schaltkreis in Widerstands-Kondensator-Transistor-Logik	resistor-capacitor-transistor logic circuit
Schaltkreis in Widerstands-Kondensator-Transistor-Logik	RCTL circuit
Schaltungskonfiguration in zehnfacher Vergrößerung	circuit configuration at a 10 × scale factor
Scharfabbildung in der optischen Achse	on-axis in-focus image
scharfer Knick in der Kurve	abrupt break in the curve
schnell Wärme in Oberflächenzonen von Siliziumwafern erzeugen	generate rapidly heat within surface regions of silicon wafers
schnelle Fortschritte in jede Richtung der IC Technik	rapid advances on all fronts of the integrated circuit technology
Schriftzeichen in elektrische Impulse umsetzen	convert printed characters into electrical pulses
sich der theoretischen Grenze in der optischen Achse nähern	approach the theoretical limit on axis
sich in Deckung befinden	to be in register with each other
sich in denselben Überlagerungsbereich teilen	share the same overlay area
sich in einem gemeinsamen Arbeitspunkt schneiden	cross at a common quiescent point
sich in Stufen von 15° drehen	rotate at 15° angle increments
sich in teure Peripheriegeräte teilen	share expensive peripherals
sich jährlich in Dichte Leistung verdoppeln	double in density performance every year
sich kontinuierlich in x-Richtung bewegen	advance continually in the x direction
sich weiter in die Basiszone hinein erstrecken	extend farther into the base region
Signale in periodischen Abständen erzeugen	generate signals at periodic intervals
Spannung in Flußrichtung	forward voltage
Sperrstrom in Rückwärtsrichtung	reverse blocking current
Sperrung in umgekehrter Richtung	reverse blocking
Spitzenspannung in Durchlaßrichtung	peak forward voltage
Sprung in ein Unterprogramm	subroutine jump
Sprungbefehl in höheren Programmiersprachen	go to
Stelle in einem Datenaufzeichnungsmedium	code position (z. B. die Stelle für ein gedrucktes Zeichen oder gestanztes Loch)
Streuung von Sekundärelektronen in das Resist	straggling of secondary electrons into the resist
Strom in Sperrrichtung	reverse current
Strukturen bis weit in den Submikrometerbereich reproduzieren	replicate patterns well into the submicron level
Strukturen tief in eine dicke Resistschicht hinein exponieren	expose patterns deep into a thick coating of resist
Störatome in eine Germaniumscheibe eindiffundieren	diffuse impurities into a slice of germanium
Störatome in Silizium einbauen	introduce atoms of an impurity into silicon
Störungslokalisierung in Rechnern auf Leiterplattenebene	board-level isolation of mainframe failures
Submikrometerauflösung in der Herstellung von höchstintegrierten Schaltkreisen	submicron resolution in the production of VLST circuits
Substrat mit Montage in Durchkontaktlöchern	through-focal-mounting substrate
taktmäßig eingeben in	strobe into
Tastatur für Eingabe in sedezimaler Darstellung	hex pad
tatsächlicher Koordinatenort jedes Elements in der Matrix	actual X-Y location of each element in the array
Technologie der Herstellung integrierter Schaltkreise in Silizium	silicon integrated circuit process technology
Testchips mit dem Repeater in Wafer einbelichten	step test chips into wafers
Teststrukturen in das Anordnungsfeld einfügen	substitute test patterns into the array
thermische Erzeugung in der Masse.	bulk thermal generation
Transistor in Emitterschaltung	common-emitter transistor
Trocknungszeit bei 75 °C in Luft	baking time at 75 °C in air
Trägerlebensdauer in einer Oberflächenschicht	surface lifetime
Umwandlung des Logikdiagramms in PL-Gatter	logic conversion to I²L gates
Unterbrechung in der Energieversorgung	power outage
Untersuchungen in Forschungs- und Entwicklungslabors	R & D investigations
Verbindung mit dem Bus in einer Richtung	directional link to the bus
Verbindungen in vorhandenen integrierten Schaltkreisen entfernen	delete interconnections in existing ICs
Vernetzung in den Polymeren bewirken	generate cross-linking in the polymers
Verstärkungswirkung in der Kollektorsperrschicht	multiplication action in the collector junction
viele Felder in schrittweiser Belichtung aneinanderreihen	step many fields
vom Versuchsstadium in die Produktion überführt werden	move from the laboratory to the production line
Vordringen in die Kanalbreite	encroachment into the channel width
Vorspannung in Durchlaßrichtung	forward biasing
Vorspannung in Sperrichtung	reverse bias voltage
Vorsprung in eine opake Fläche	protrusion into an opaque area
Wiederauffindung in späteren Verarbeitungsstadien	retrieval in subsequent stages of processing
Wölbung in der Mitte	centre-point bow
X, Y und Ф in bezug auf Wafermarken für jedes Einzelfeld automatisch einstellen	adjust automatically X, Y, and Ф to targets on the wafer for each field
Zehntausende elektronischer Funktionen in ein Einzelchip integrieren	pack tens of thousands of electronic functions into a single chip
zwei in Reihe zusammengeschaltete Komplementärtransistoren	complementary pair of transistors connected in series
Änderung in der Zusammensetzung	compositional change
Öffnung in der Maske	aperture in the mask
Öffnung in der Metallmaske	opening in the metal mask
über 100 000 Transistoren in einem Einzelchip integrieren	pack more than 100,000 transistors onto a single chip
Überdeckung aller entsprechenden Bilder in jeder Maske	alignment between all corresponding images in each mask
Überdeckungsfehler in den Strukturen	pattern misregistration
Überdeckungsgenauigkeit in der Größenordnung von 125 nm	overlay accuracy of the order of 125 nm
übernehmen in	strobe into
Überstrom in Durchlaßrichtung	overload forward current
Übertrag in eine Ziffernstelle	carry into a digit position