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Terms
for subject
Microelectronics
containing
genau
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all forms
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exact matches only
German
English
Abweichung vom
genauen
Fokus
departure from perfect focus
Bild des integrierten Schaltkreises mit
genauen
Dimensionen
accurately dimensioned picture of the integrated circuit chip
das Schablonenbild
genau
auf dem Wafer abbilden
reproduce exactly the photomask image onto the wafer
das Substrat
genaue
Wegstrecken unter dem Strahl verschieben
move the substrate precise distances under the beam
den
genauen
Chipabstand in bezug auf das Perforationsloch einhalten
retain the accurate chip spacing with respect to the sprocket hole
den Strahl
genau
neben eine Schneide fokussieren
focus the beam just to the side of a knifeedge
den unabgelenkten Strahl bis auf 0,3 mm
genau
positionieren
keep the beam within 0.3 mm of its undeflected position
den Wafertisch in bezug auf den Maskentisch in einer
genau
kontrollierten Weise antreiben
drive the wafer stage relative to the mask stage in a precise and controlled fashion
(ansteuern)
der ersten Maske eines Satzes
genau
entsprechen
match the first level mask
der Leiterstruktur
genau
entsprechen
match properly the conductor pattern
die Belichtung in einer
genauen
räumlichen Beziehung zur Marke gewährleisten
insure exposure in a precise spatial relationship to the mark
die
genaue
Tischposition mit einer Toleranz von 1/8 bis 1/48 Wellenlänge eines Helium-Neon-Lasers bestimmen
determine exact stage position to tolerances ranging from 1/8 to 1/48 wavelength of a HeNe laser
die Struktur auf der zweiten Maske eines Satzes
genau
wiederholen
repeat the pattern on a second level mask accurately
die Zwischenträgerbrücke
genau
zur Bondinsel ausrichten
align the lead accurately with the bonding pad
Feinjustiersystem für gleichbleibend
genaue
Justierung
fine alignment system for consistently accurate alignment
Felder genügend
genau
zusammensetzen
montieren
abut fields sufficiently accurately
(auf großen Chips mit mehreren Belichtungsfeldern)
Fotomaskenschutz durch
genau
dimensionierte Membranen
photomask protection by properly designed pellicles
Fremdatome in
genau
definierte Zonen des Halbleiterwafers eindiffundieren
diffuse impurities into precisely defined regions of the semiconductor wafer
genau
abstimmen mit
dovetail well with
genau
die vorausgehende Struktur überdecken
overlie precisely the preceding pattern
genau
entsprechend
accurately matched
genau
passen zu
dovetail well with
genaue
Fokussierung über das gesamte Bildfeld einhalten
maintain proper focussing over the full image field
genaue
Steuersignale liefern
provide accurate control signals
geometrisch
genau
abbilden
reproduce faithfully
geometrisch
genaue
Abbildung
faithful reproduction of the image
(Kopie des Bildes)
Informationen in
genau
festgelegter Weise austauschen
exchange information in a well-defined manner
maßstäblich
genaue
Darstellung der integrierten Schaltung
accurately scaled representation of the integrated circuit chip
sich
genau
überdecken
register accurately to each other
Strahl auf den
genauen
Ort plazieren
position the beam to the exact location den
Strukturen benachbarter Felder
genau
zusammensetzen
join patterns in adjacent fields properly
(aneinanderreihen)
äußerst
genau
ultra-precision
äußerst
genau
ultra-precise
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