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| German | English |
| das Volumen unter dem Wafer evakuieren | evacuate the volume beneath the wafer |
| Volumen des Wafers | bulk of the wafer (im Gegensatz zur Oberflächenschicht) |
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| das Volumen unter dem Wafer evakuieren | evacuate the volume beneath the wafer |
| Volumen des Wafers | bulk of the wafer (im Gegensatz zur Oberflächenschicht) |