Terms for subject Microelectronics containing Linienbreite

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auflösbare Linienbreite von 1 μm	resolvable feature size of 1 μm
eine konstante Linienbreite im Resist einhalten	maintain a constant resist feature size
Einhaltung der Linienbreite	line size control
Einhaltung der Linienbreite	line width control
Einhaltung der Linienbreite	control of line width
Einhaltungstoleranz von 10 % der kleinsten Linienbreite	control tolerance of 10 % of the minimum line width
erreichbare Linienbreiten auf 0,5 μm reduzieren	advance attainable line widths to 0.5 micron
gleiche Größe der Linienbreiten über das gesamte Bildfeld einhalten	control line sizes uniformly across the projection field
gleichmäßige Linienbreite	uniform line size
Gleichmäßigkeit der Linienbreite	line width uniformity (Strukturbreite)
Gleichmäßigkeit fder Linienbreite	line uniformity
in Polymerresist geschriebene Struktur mit kleinsten Linienbreiten	narrowest structure written in polymer resist
kleinere Linienbreiten ermöglichen	allow smaller design rules
kleinste auflösbare Linienbreite	minimum resolvable feature size (Strukturgröße)
Konstanz der Linienbreite	uniformity of line size
kontaktlose Herstellung von Bauelementen mit Linienbreiten von 3 μm	non-contact production of three micron design rule devices
Kontrolle der Linienbreite	line width control
Kontrolle der Linienbreite	line size control
kopierte Linienbreite	printed line width
Linienbreite von annähernd einem Mikrometer	NDRO-micrometre line width
Linientest mit zunehmend kleineren Linienbreiten und -abständen	test chart of lines of progressively decreasing line width and separation
nutzbare Linienbreite firn 1- bis 2-μm-Bereich	usable feature size in the 1.0-2.0 micrometre range
partielle Veränderung fder Linienbreite	fractional change in line width
Reproduktion der Linienbreite	reproduction of line width
Schaltkreisstruktur mit Linienbreiten von etwa 3 pm	circuit pattern of about 3.0 micrometres
Schwankung der Linienbreite	line size variation
Schwankung fder Linienbreite	variation in line width
Schwankung fder Linienbreite	line width variation
Sicherung fder gleichmäßigen Linienbreite	line width control
strenge Einhaltung der Linienbreite	tight line width control
Struktur mit Linienbreiten von 1 μm	1-μm pattern
Struktur mit Linienbreiten von 20 nm	pattern of 20 nm wide lines
Ungleichmäßigkeit der Linienbreiten auf unebenen Substraten	non-uniformity of line widths on non-flat substrates
Verhältnis von Linienbreite zu Abstandsbreite	line-to-space ratio
Verkleinerung der Linienbreite	feature size shrinkage
zulässige Schwankung der Linienbreite	line width tolerance
Änderung der Linienbreite	line size variation
Änderung fder Linienbreite	line width variation