Terms for subject Microelectronics containing Licht

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Abstandsjustier- und Belichtungsanlage für UV-Licht	UV proximity exposure tool
Betriebsart mit kohärentem Licht	operation in a coherent light regime
Beugung des Lichts an den Kanten der Strukturelemente	diffraction of light at the edges of features in the patterns
das Licht leiten	route the light
das schwache Licht in elektrische Signale umwandeln	convert the weak light into electrical signals
durch kurzwelliges UV-Licht löschen	erase by exposure to shortwave ultraviolet light
durch UV-Licht löschbar	ultraviolet-light-erasable
durch UV-Licht löschbar	ultraviolet-erasable
Fotolithografie mit extrem kurzwelligem UV-Licht	deep UV photolithography
inkohärentes Licht	incoherent illumination
kohärentes Licht	coherent illumination
Licht-Fotolithografie	optical lithography
lichtete Grenzzone zwischen den Chips	light-exposed border between the chips be-
lichtete Randzone zwischen den Chips	light-exposed border between the chips be-
Positivresist für extrem kurzwelliges UV-Licht	positive working resist for deep UV
Projektionsbelichtung mit UV-Licht	UV projection printing
rückseitige Bestrahlung mit UV-Licht	backside-bonded UV illumination
undurchlässig für Licht	optically opaque