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Terms for subject
Microelectronics
containing
Genauigkeit
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all forms
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exact matches only
German
English
arithmetische Operation mit mehrfacher
Genauigkeit
multi-access precision arithmetic
das absolute Höchstmaß an
Genauigkeit
gewähren
provide the absolute ultimate in accuracy
Daten höherer
Genauigkeit
liefern
supply data of increased accuracy
den Koordinatentisch mit einer
Genauigkeit
von 0,01 μm positionieren
position the X-Y stage with an accuracy of 0.01 μm
(einstellen)
die Lage der Festpunktmarke mit ausreichender
Genauigkeit
bestimmen
locate the benchmark with sufficient precision
die Markenposition mit einer mindestens dem Strahldurchmesser entsprechenden
Genauigkeit
bestimmen
determine the position of the mark to an accuracy at least equal to the beam diameter
die Meßmarke mit einer
Genauigkeit
von 1/32 μm auffinden
find the fiducial mark with an accuracy of 1/32 micron
die Strukturen bis zu einer
Genauigkeit
von etwa 0,2 Mikrometer positionieren
place geometries to an accuracy in the order of 0.2 micrometres
Genauigkeit
der Abmessungen der entwickelten Resiststruktur
dimensional accuracy of the developed resist pattern
Genauigkeit
der Neujustierung
realignment accuracy
Genauigkeit
der Zusammenfügung
joining accuracy
Meßnormal ausreichender
Genauigkeit
measurement standard of sufficient accuracy
Überdeckung von Strukturen verschiedener Masken auf einem Substrat mit einer
Genauigkeit
von 0,1 μm
superposition on a substrate of patterns from several masks to a precision of 0.1 μm
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