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Terms for subject Microelectronics containing Belichten | all forms
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aneinandergrenzende Streifen belichtenexpose adjacent strips
das Bild im Abstandsverfahren belichtenmake the print in proximity
das Fotoresist auf der Oberfläche eines Wafers mit den Strukturen eines Retikels belichtenexpose the photoresist on the surface of a wafer to the patterns on a reticle
den Fotolack auf der Scheibe belichtenexpose the photoresist on the wafer
den ganzen Wafer auf einmal belichtenflood expose the entire wafer
den Wafer direkt schrittweise belichtenstep directly on the wafer
die ganze Chipstruktur auf einmal belichtenexpose the full chip pattern at once
die Markenmatrix nach dem Step-und-Repeat-Verfahren belichtenstep and expose the matrix of marks
die Schaltkreisstruktur direkt auf den resistbeschichteten Wafer belichtenexpose the circuit pattern directly on the resist-covered wafer
die untere Resistschicht durch die obere Schicht belichtenexpose the bottom resist layer through the top layer
eine Polymerschicht direkt belichtenexpose directly a polymer film
eine Struktur in einer Kontaktbelichtungsanlage durch eine Chromschablone belichtenexpose a pattern in a contact printer through a chrome mask
einen Wafer im Step-und-Repeat-Verfahren belichtenexpose a wafer in step-repeat fashion
Feldgrößen bis zu 6 mm x 6 mm belichtenprint field sizes up to 6 mm x 6 mm
im Projektionsverfahren belichtenproject-print
im Step-und-Repeat-Verfahren belichtenstep-and-repeat-print (kopieren)
im Step-und-Repeat-Verfahren belichtenexpose in a step-and-repeat fashion
jeweils nur ein einzelnes Chip belichtenexpose only a die at a time
mit einer Schattenmaske belichtenshadow-print (Röntgenlithografie)
5 mm x 5 mm-Felder rasterförmig im Step-und-Repeat-Verfahren belichtenexpose 5 mm x 5 mm fields in step-and-repeat raster-scan fashion
Rechtecke mit einem Belichtungsstempel belichtenexpose rectangles in a single shot
resistbeschichtete Halbleiterscheiben direkt belichtenwrite directly on resist-coated wafers
Strukturen durch "Auspinseln" belichtenexpose geometries by "painting them in" (Rasterelektronenstrahllithografie)
Wafer nach dem Step-and-Repeat-Verfahren belichtenstep wafers
Waferebenen mit optischen Belichtungsgeräten belichtenprint wafer levels with optical printers
zunehmend kleinere Schaltkreiselemente belichtenprint increasingly smaller circuit features