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Terms
for subject
Microelectronics
containing
Belichten
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all forms
German
English
aneinandergrenzende Streifen
belichten
expose adjacent strips
das Bild im Abstandsverfahren
belichten
make the print in proximity
das Fotoresist auf der Oberfläche eines Wafers mit den Strukturen eines Retikels
belichten
expose the photoresist on the surface of a wafer to the patterns on a reticle
den Fotolack auf der Scheibe
belichten
expose the photoresist on the wafer
den ganzen Wafer auf einmal
belichten
flood expose the entire wafer
den Wafer direkt schrittweise
belichten
step directly on the wafer
die ganze Chipstruktur auf einmal
belichten
expose the full chip pattern at once
die Markenmatrix nach dem Step-und-Repeat-Verfahren
belichten
step and expose the matrix of marks
die Schaltkreisstruktur direkt auf den resistbeschichteten Wafer
belichten
expose the circuit pattern directly on the resist-covered wafer
die untere Resistschicht durch die obere Schicht
belichten
expose the bottom resist layer through the top layer
eine Polymerschicht direkt
belichten
expose directly a polymer film
eine Struktur in einer Kontaktbelichtungsanlage durch eine Chromschablone
belichten
expose a pattern in a contact printer through a chrome mask
einen Wafer im Step-und-Repeat-Verfahren
belichten
expose a wafer in step-repeat fashion
Feldgrößen bis zu 6 mm x 6 mm
belichten
print field sizes up to 6 mm x 6 mm
im Projektionsverfahren
belichten
project-print
im Step-und-Repeat-Verfahren
belichten
step-and-repeat-print
(kopieren)
im Step-und-Repeat-Verfahren
belichten
expose in a step-and-repeat fashion
jeweils nur ein einzelnes Chip
belichten
expose only a die at a time
mit einer Schattenmaske
belichten
shadow-print
(Röntgenlithografie)
5 mm x 5 mm-Felder rasterförmig im Step-und-Repeat-Verfahren
belichten
expose 5 mm x 5 mm fields in step-and-repeat raster-scan fashion
Rechtecke mit einem Belichtungsstempel
belichten
expose rectangles in a single shot
resistbeschichtete Halbleiterscheiben direkt
belichten
write directly on resist-coated wafers
Strukturen durch "Auspinseln"
belichten
expose geometries by "painting them in"
(Rasterelektronenstrahllithografie)
Wafer nach dem Step-and-Repeat-Verfahren
belichten
step wafers
Waferebenen mit optischen Belichtungsgeräten
belichten
print wafer levels with optical printers
zunehmend kleinere Schaltkreiselemente
belichten
print increasingly smaller circuit features
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