 |
| Russian | German |
| вертикально-анизотропный метод травления | vertikal-anisotrope Ätztechnik (Schaltkreistechnologie) |
| вертикально-анизотропный метод травления | VATE |
| процесс травления | Ätzen (при изготовлении интегральных схем) |
| соединение, полученное методом травления | geätzte Verbindung |
| соединение, полученное методом травления | geätzte Verdrahtung |
| схема, изготовленная методом травления | geätzte Schaltung |