 |
| Russian | English |
| комплект эталонных контрольных фотошаблонов | master mask set (набор фотошаблонов всех топологических слоёв ИС или ПП, совмещающихся в определённом порядке друг с другом и предназначенных для выполнения операций фотолитографии при изготовлении ИС или ПП) |
| хромированный эталонный фотошаблон | chrome master |
| эталонный фотошаблон | artwork master |