Terms for subject Microelectronics containing электронно-лучевой метод

Russian	English
метод электронно-лучевого экспонирования	electron-beam exposure technology
метод электронно-лучевой литографии	electron-lithography method
оксид, сформированный методом электронно-лучевого напыления	electron-beam evaporated oxide
формирование изображений методом электронно-лучевой литографии	electron-beam imaging
шаблон, полученный электронно-лучевым методом	electron-beam generated mask (key2russia)
электронно-лучевой метод непосредственного формирования рисунка на пластине	electron-beam direct-slice-write (key2russia)