Russian | English |
установка шагового экспонирования пластины | wafer stepper (установка проекционного шагового репродуцирования уменьшенных изображений схем непосредственно на полупроводниковой пластине без использования матричного фотошаблона) |
установка шагового экспонирования пластины | stepping-projection aligner |
установка экспонирования | screen exposure unit |
установка электронолитографии с пошаговым экспонированием | electron stepper |