 |
| Russian | English |
| технология МОП ИС с поликремниевыми затворами | silicon-gate MOS process |
| технология изготовления ИС с самосовмещёнными поликремниевыми затворами | polysilicon self-aligned process (PSA) |
|
| Russian | English |
| технология МОП ИС с поликремниевыми затворами | silicon-gate MOS process |
| технология изготовления ИС с самосовмещёнными поликремниевыми затворами | polysilicon self-aligned process (PSA) |