 |
| Subject | Russian | English |
| microel. | ионно-плазменное распыление | plasma-assisted ion sputtering (вовка) |
| el. | ионно-плазменное распыление | triode sputtering (в триодной системе со смещением по постоянному и переменному току) |
| microel. | ионно-плазменное распыление | ion-plasma sputtering (вовка) |
| media. | ионный источник на основе плазменного распыления мишени | plasma sputter ion source |
| nano | покрытие ионно-плазменным распылением | ionic-plasma deposited coating (по методу физического осаждения из газовой фазы) |