 |
| Russian | English |
| глубинное распределение | depth distribution (semfromshire) |
| глубинное реактивное ионное травление | DRIE (чаще "глубокое" – Deep Reactive Ion Etching: DRIE (deep reactive ion etching (DRIE) — глубинное реактивное ионное травление или глубинное реактивное ионно-плазменное травление;  sernia.ru Annette22) |