Subject | English | Ukrainian |
microel. | across-wafer variation | зміна властивостей матеріалу по діаметру напівпровідникової пластини |
microel. | air-track wafer transport system | система транспортування напівпровідникових пластин на повітряній подушці |
microel. | bipolar wafer | напівпровідникова пластина з біполярними інтегральними структурами |
microel. | building-block wafer | напівпровідникова пластина з сформованими конструктивними блоками |
microel. | bumped wafer | напівпровідникова пластина з інтегральними структурами, що мають стовпчикові виводи |
microel. | cassette-to-cassette wafer transport | подача напівпровідникових пластин з касети в касету |
microel. | cassette-to-cassette wafer transport | транспортування напівпровідникових пластин з касети в касету |
microel. | chem-mesh polished wafer | пластина, піддана хіміко-механічному поліруванні |
microel. | composite wafer | напівпровідникова пластина з декількома епітаксійними шарами |
microel. | composite wafer | багатошарова напівпровідникова пластина |
microel. | computerized wafer routing | розподіл напівпровідникових пластин по технологічних операціях з використанням ЕОМ |
IT | crystal wafer | пластина кристала |
microel. | customed wafer | напівпровідникова пластина з базовими матричними кристалами |
microel. | device wafer | напівпровідникова пластина з сформованими приладами |
microel. | direct step-on-wafer | пряме послідовне крокове експонування (без застосування шаблонів) |
microel. | direct step-on-wafer system | устаткування прямої проекційної літографії з послідовним кроковим експонуванням |
microel. | direct step-onto-wafer aligner | установка прямого послідовного крокового експонування (без застосування шаблонів) |
microel. | direct wafer exposure | безпосереднє електронно-променеве експонування напівпровідникової пластини (з шаром резиста) |
microel. | direct-wafer-stepping equipment | устаткування для безпосереднього крокового експонування |
microel. | discrete wafer form | безкорпусне виконання |
microel. | electrostatic wafer chuck | електростатичний утримувач напівпровідникових пластин |
tech. | end wafer | торцева плата |
microel. | enhanced gettered wafer | напівпровідникова пластина з посиленим гетеруванням |
microel. | epitaxial wafer | напівпровідникова пластина з епітаксійним шаром |
microel. | etch-separated wafer | напівпровідникова пластина, що розділяється на кристали методом травлення |
microel. | flat wafer | пластина з плоскопаралельними поверхнями |
microel. | foundry wafer | замовлена напівпровідникова пластина |
microel. | frame-mounted semiconductor wafer | напівпровідникова пластина, закріплена в рамці |
microel. | full-wafer alignment | суміщення по всьому полю напівпровідникової пластини |
microel. | full-wafer chip | ІС на цілій напівпровідниковій пластині |
microel. | full-wafer exposure | експонування на всьому полі напівпровідникової пластини |
microel. | full-wafer lithography | літографія по всьому полю пластини |
microel. | full wafer memory | пам'ять на цілій напівпровідниковій пластині |
microel. | global wafer alignment | суміщення по всьому полю напівпровідникової пластини |
microel. | grown-junction wafer | напівпровідникова пластина з вирощеним р-n-переходом |
microel. | heavily strained wafer | пластина з сильними механічними напругами |
microel. | high-stepping wafer stepper | високопродуктивне обладнання послідовного крокового експонування |
microel. | IC wafer | напівпровідникова пластина з інтегральними структурами |
microel. | imperfect wafer | напівпровідникова пластина з дефектами |
microel. | in-process wafer | оброблювана напівпровідникова пластина |
microel. | laser wafer trimming | лазерна корекція резисторів на напівпровідниковій пластині |
microel. | lost wafer process | процес травлення підкладки (Технологія, яка використовує селективне травлення для видалення більшої частини підкладки і частини дифузійного шару, що залишилася) |
microel. | low yielding wafer | напівпровідникова пластина з низьким виходом годних кристалів |
microel. | LSI wafer | напівпровідникова пластина з ВІС |
microel. | mask-to-wafer alignment | суміщення фотошаблону з напівпровідниковою пластиною |
microel. | mask-to-wafer gap | щілина між фотошаблоном і напівпровідниковою пластиною |
microel. | master-slice wafer | напівпровідникова пластина з базовими матричними кристалами |
microel. | mixed crystal wafer | напівпровідникова пластина із змішаного твердого розчину |
microel. | modular track wafer scrubber | устаткування відмивання і очищення напівпровідникових пластин з модульним навантажувально-розвантажувальним пристроєм |
microel. | MOS wafer | напівпровідникова пластина з МОН-структурами |
microel. | multichip wafer | напівпровідникова пластина з кристалами ІС різних типів |
microel. | multi-product wafer | напівпровідникова пластина з кристалами ІС різних типів |
microel. | on-wafer chip testing | перевірка кристалів ІС на напівпровідниковій пластині |
microel. | on-wafer test | перевірка кристалів на функціонування на пластині |
microel. | optical wafer stepper | устаткування фотолітографії з послідовним кроковим експонуванням |
microel. | optically flat wafer | оптично плоска пластина |
microel. | parameter wafer map | діаграма розподілу параметра по діаметру напівпровідникової пластини |
microel. | photoexposed wafer identification | ідентифікація напівпровідникових пластин після експонування |
microel. | planar wafer | пластина з плоскопаралельними поверхнями |
microel. | p-n wafer | напівпровідникова пластина з р-n-переходами |
microel. | prediffused wafer | напівпровідникова пластина з базовими матричними кристалами |
microel. | prediffused wafer | напівпровідникова пластина з виготовленими дифузійними структурами |
microel. | process development wafer | тестова пластина, яка застосовується при розробці технологічного процесу |
microel. | process validation wafer | пластина, піддана технологічній обробці |
microel. | processed wafer | тестова пластина для перевірки якості технологічного процесу |
microel. | production wafer | напівпровідникова пластина для промислового виробництва ІС |
microel. | programmed-interconnection wafer-scale integration | ВІС на цілій напівпровідниковій пластині, виготовлена методом програмованого з'єднання годних кристалів |
microel. | raw wafer необроблена пластина | напівпровідникова пластина з шаром резисту |
tech. | raw wafer | необроблена пластина |
microel. | resist-coated wafer | напівпровідникова пластина з шаром резисту |
microel. | sample wafer | тестова пластина |
microel. | sample wafer | напівпровідникова пластина для вибіркових випробувань |
microel. | sapphire wafer | сапфірова пластина |
microel. | saw-scribed wafer | пластина, що розділяється на кристали методом розпилювання |
microel. | scribed wafer | скрайбована пластина |
microel. | silicon wafer technology | технологія обробки кремнієвих пластин |
microel. | single-wafer semiconductor processing | послідовна обробка напівпровідникової пластини |
microel. | SOS wafer | пластина з сапфіра з шаром кремнію |
microel. | spin-dry wafer | пластина після сушіння на центрифузі |
microel. | step-on-wafer | послідовне крокове експонування |
microel. | step-on-wafer equipment | устаткування проекційної літографії з послідовним кроковим експонуванням |
microel. | step-on-wafer lithography | літографія з послідовним кроковим експонуванням |
microel. | step-on-wafer projection system | устаткування проекційної літографії з послідовним кроковим експонуванням |
microel. | substrate wafer | напівпровідникова пластина як підкладка (напр. для вирощування епітаксійного шару) |
microel. | uncommitted wafer | напівпровідникова пластина з базовими матричними кристалами |
microel. | vapor-phase epitaxial wafer | напівпровідникова пластина з епітаксійним шаром, вирощеним з газової фази |
tech. | virgin wafer | необроблена пластина |
microel. | wafer abrasion | абразивна обробка напівпровідникових пластин |
microel. | wafer acceptance test structure | тестова структура, що визначає якість напівпровідникової пластини |
microel. | wafer aligner | установка літографії по всій поверхні пластини |
microel. | wafer basket | касета для напівпровідникових пластин |
microel. | wafer bumping | виготовлення стовпчикових виводів на напівпровідниковій пластині |
microel. | wafer bumping technology | технологія формування стовпчикових виводів на напівпровідниковій пластині |
microel. | wafer-by-wafer processing | послідовна технологічна обробка напівпровідникових пластин |
microel. | wafer capacitor | безкорпусний конденсатор |
microel. | wafer capacity | розмір партії напівпровідникових пластин, яка завантажується в установку (напр. у вакуумну камеру) |
microel. | wafer capacity | кількість кристалів на напівпровідниковій пластині |
microel. | wafer carrier | касета для напівпровідникових пластин |
microel. | wafer cassette | касета для напівпровідникових пластин |
microel. | wafer complexity | складність напівпровідникової пластини (визначається кількістю сформованих на пластині структур ІС) |
microel. | wafer cooled cathode | водоохолоджуваний катод (в плазмовому реакторі) |
microel. | wafer cutting | розрізання монокристалічного злитка на напівпровідникові пластини |
microel. | wafer developer | установка для проявлення фоторезиста на напівпровідникових пластинах |
microel. | wafer distortion | деформація напівпровідникової пластини |
microel. | wafer engraving | створення мікрорельєфу на напівпровідниковій пластині |
gen. | wafer-filling | водоналивний |
microel. | wafer flatness | площинна напівпровідникової пластини |
microel. | wafer fracture | розламування ламання напівпровідникової пластини |
microel. | wafer fracture | розтріскування напівпровідникової пластини |
microel. | wafer fracturer | установка для розділення напівпровідникових пластин на кристали розламуванням |
microel. | wafer gaging system | устаткування для контролю і сортування напівпровідникових пластин (вимірюються товщина, плоскопаралельність і питомий опір) |
microel. | wafer gradient | неоднорідність кристалів, розташованих по периферії і в центральній частині напівпровідникової пластини |
microel. | wafer handling | транспортування напівпровідникових пластин |
microel. | wafer handling | подача напівпровідникових пластин |
microel. | wafer handling | обробка напівпровідникових пластин |
microel. | wafer handling equipment | навантажувально-розвантажувальне і транспортне устаткування для напівпровідникових пластин |
microel. | wafer handling module | транспортний модуль для напівпровідникових пластин |
microel. | wafer handling station | пристрій для подачі напівпровідникових пластин |
microel. | wafer handling station | пристрій для міжопераційного транспортування напівпровідникових пластин |
microel. | wafer holder | касета для напівпровідникових пластин |
microel. | wafer identification | ідентифікація напівпровідникових пластин |
microel. | wafer identification | маркіровка напівпровідникової пластини |
microel. | wafer inspection microscope | мікроскоп для оптичного контролю структур на напівпровідниковій пластині |
microel. | wafer inspection station | устаткування контролю напівпровідникових пластин (переважно візуального) |
gen. | wafer-iron | вафельниця |
microel. | wafer label | маркування на напівпровідниковій пластині |
microel. | wafer level | ступінь інтеграції на цілій напівпровідниковій пластині |
microel. | wafer level packaging | корпусування на рівні пластини |
microel. | wafer lithography | літографія по всьому полю пластини |
microel. | wafer load | партія напівпровідникових пластин |
microel. | wafer loader | подаючий пристрій для напівпровідникових пластин |
microel. | wafer loading | подача напівпровідникових пластин |
microel. | wafer loading | завантаження напівпровідникових пластин |
microel. | wafer map | карта напівпровідникової пластини |
microel. | wafer map | діаграма розташування кристалів на напівпровідниковій пластині |
microel. | wafer mapping | складання карти придатності кристалів на напівпровідниковій пластині |
microel. | wafer-measuring equipment | контрольно-вимірювальна апаратура для напівпровідникових пластин |
astronaut. | wafer only purge | очистка двигуна прокачкою води |
microel. | wafer pattern | малюнок структур напівпровідникової пластини |
microel. | wafer-printing device | установка літографії |
microel. | wafer prober | зондове устаткування для перевірки напівпровідникових пластин (з інтегральними структурами) |
microel. | wafer-processing container | касета для напівпровідникових пластин |
microel. | wafer-processing container | тара для технологічної обробки напівпровідникових пластин |
microel. | wafer-processing equipment | устаткування для технологічної обробки напівпровідникових пластин |
microel. | wafer-reading tool | інструмент для зчитування маркування на напівпровідникових пластинах |
microel. | wafer routing system | устаткування для трасування з'єднань на напівпровідниковій пластині |
microel. | wafer-scale array | матрична ІС на цілій напівпровідниковій пластині |
microel. | wafer-scale array | матриця на цілій напівпровідниковій пластині |
microel. | wafer-scale integrated circuit | ІС на цілій напівпровідниковій пластині |
microel. | wafer-scale integration | ІС на цілій напівпровідниковій пластині |
microel. | wafer-scale integration | інтеграція на цілій напівпровідниковій пластині |
microel. | wafer-scale system | ІС на цілій напівпровідниковій пластині |
microel. | wafer-scale system | електронна система на цілій напівпровідниковій пластині |
microel. | wafer scanner | устаткування електронно-променевої літографії з скануванням для формування інтегральних структур на напівпровідниковій пластині |
microel. | wafer scriber | скрайбер для напівпровідникових пластин |
microel. | wafer shipping box | тара для транспортування напівпровідникових пластин |
microel. | wafer spacing | проміжок між напівпровідниковими пластинами (в касеті) |
microel. | wafer stepper | обладнання послідовного крокового мультиплікування |
microel. | wafer stepper | устаткування послідовного крокового експонування |
microel. | wafer-stepper lithography | літографія з послідовним кроковим експонуванням |
microel. | wafer-stepper projection system | устаткування проекційної літографії з послідовним кроковим експонуванням |
microel. | wafer-stepping aligner | установка літографії з послідовним кроковим експонуванням |
microel. | wafer-stepping equipment | устаткування проекційної літографії з послідовним кроковим експонуванням |
microel. | wafer topography | рельєф напівпровідникової пластини |
microel. | wafer-to-wafer repeatability | відтворюваність структур від пластини до пластини |
microel. | wafer-to-wafer reproducibility | відтворюваність структур від пластини до пластини |
microel. | wafer transfer | міжопераційна транспортування напівпровідникових пластин |
microel. | wafer-transfer unit | установка для міжопераційного транспортування напівпровідникових пластин |
microel. | wafer transport | подача напівпровідникових пластин |
microel. | wafer transport | транспортування напівпровідникових пластин |
microel. | wafer tray | касета для напівпровідникових пластин |
microel. | wafer typer | прилад для визначення типу електропровідності напівпровідникових пластин |
microel. | wafer typing | визначення типу електропровідності напівпровідникової пластини |
microel. | wafer yield | вихід годних кристалів на пластині |
microel. | wafer yield | вихід годних напівпровідникових пластин |
microel. | whole-wafer concept | принцип реалізації ВІС або НВІС на цілій напівпровідниковій пластині |