Terms for subject Microelectronics containing x- position

English	German
keep track of the X-Y stage position	die Koordinatentischposition verfolgen
move the X-Y stage to a given position	eine bestimmte Position mit dem Koordinatentisch anfahren
position the stage to the proper x-y coordinates	den Tisch in X und Y richtig positionieren
position the X-Y stage with an accuracy of 0.01 μm	den Koordinatentisch mit einer Genauigkeit von 0,01 μm positionieren (einstellen)
X-Y position of the stage	Koordinatenstellung des Tisches
Z position of the X-Y table	Höhenposition des Koordinatentisches