Terms for subject Microelectronics containing x

English	German
absorbing to X-rays	röntgenstrahlenabsorbierend
achieve the null in the X-ray detectors	in den Röntgenstrahlendetektoren Nullanzeige erreichen
actual X-Y location of each element in the array	tatsächlicher Koordinatenort jedes Elements in der Matrix
adjust automatically X, Y, and Ф to targets on the wafer for each field	X, Y und Ф in bezug auf Wafermarken für jedes Einzelfeld automatisch einstellen
advance continually in the x direction	sich kontinuierlich in x-Richtung bewegen
align on the X, Y and Ф axis	in x, y und φ justieren
align parallel to the X-axis motion of the stage	parallel zur x-Richtung der Tischverschiebung justieren
angle of incidence of the X-rays	Einfallswinkel der Röntgenstrahlen
block out all the X-rays	alle Röntgenstrahlen sperren (absorbieren)
conduct X-ray exposures	Röntgenbelichtungen durchführen
continuous motion of the X-Y table	kontinuierliche Verschiebung des Koordinatentisches
detect a null in the X-ray detectors	in den Röntgenstrahlendetektoren eine Null anzeigen
detection of the transmitted X-rays	Nachweis der durchgelassenen Röntgenstrahlen
distance from wafer to X-ray source	Abstand von Wafer zu Röntgenquelle
drive the X-Y stage	den Koordinatentisch ansteuern
drive the X-Y stage	den Koordinatentisch steuern
electron bombardment X-ray source	Röntgenquelle für Elektronenbeschuß
expose 5 mm x 5 mm fields in step-and-repeat raster-scan fashion	5 mm x 5 mm-Felder rasterförmig im Step-und-Repeat-Verfahren belichten
exposing X-ray	Belichtungsröntgenstrahl
finite extent size of the X-ray source	endliche Ausdehnung der Röntgenquelle
form the chip image at 10x scale	das Chipbild mit 10 facher Vergrößerung erzeugen
full-wafer X-ray system	Ganzscheibenröntgenanlage
grid-plate X-Y stage metering	Koordinatentischwegmessung mit Gitterplatte
high-power X-ray generator	Hochleistungsröntgengenerator
high-precision X,Y motion system	X-Y-Präzisionsbewegungssystem
high-resolution X-ray printing	Strukturübertragung durch Röntgenstrahlen mit hoher Auflösung
high-resolution X-ray resist	hochauflösendes Röntgenresist
image field of the 10x reduction lens	Bildfeld des 10:1-Verkleinerungsobjektivs
increase almost linearly with x	fast linear mit x anwachsen
inspect an X-ray mask for defects	eine Röntgenmaske auf Fehler kontrollieren
issue corrections in X and Y	Korrekturwerte für X und Y ausgeben
joystick for X- and Y-axis alignment	Hebel für X-Y-Justierung
keep track of the X-Y stage position	die Koordinatentischposition verfolgen
locate the lead frame pattern under the bonding tool in the x and y directions	den Anschlußkammstreifen unter dem Bondwerkzeug in x- und y-Richtung positionieren
magnitude of an X-ray signal	Größe eines Röntgensignals
monitor the rotation of the X-Y stage	die Drehung des Koordinatentischs überwachen
move the wafer in an X-Y raster	den Wafer.in einem X-Y-Raster bewegen
move the X-Y stage to a given position	eine bestimmte Position mit dem Koordinatentisch anfahren
moving X-Y stage	beweglicher Koordinatentisch
nullify the sensed X-Y table error	den ermittelten Koordinatentischfehler aufheben
opaque to X-rays	röntgenstrahlenundurchlässig
pitch angle of the X-Y stage	Längsneigungswinkel des Koordinatentisches
plasma X-ray source	Plasmaröntgenquelle
position the stage to the proper x-y coordinates	den Tisch in X und Y richtig positionieren
position the X-Y stage with an accuracy of 0.01 μm	den Koordinatentisch mit einer Genauigkeit von 0,01 μm positionieren (einstellen)
precision X-Y table	Präzisionskoordinatentisch
print field sizes up to 6 mm x 6 mm	Feldgrößen bis zu 6 mm x 6 mm belichten
project the shadow of the X-ray absorber onto	the polymer film den Schatten des Röntgenstrahlabsorbers auf die Polymerschicht projizieren
pulsed X-ray lithography	Impulsröntgenlithografie
rapid-scan X-Y worktable of a bonder	Koordinatentisch eines Bonders für schnelles Abfahren in x- und y-Richtung
roll angle of the X-Y stage	Querneigungswinkel des Koordinatentisches
rugged X-ray mask	stabile Röntgenmaske
sensitive to X-rays	röntgenstrahlenempfindlich (Resist)
shadow image of soft X-rays	Schattenbild weicher Röntgenstrahlen
short-wavelength X-rays	kurzwellige Röntgenstrahlen
socket X-ray region	Bereich weicher Röntgenstrahlen
socket X-ray source	Quelle für weiche Röntgenstrahlen
socket X-rays	weiche Röntgenstrahlen
spread the beam in an X-Y raster	den Strahl in einem X-Y-Raster ablenken
square with the x-y axes	senkrecht zu den Koordinatenachsen
stable X-ray mask	stabile Röntgenmaske
step in x-direction from one row to the next	in x-Richtung von einer Zeile zur nächsten fortschreiten
step the electron beam by 0.5 μm in the x-direction	den Elektronenstrahl schrittweise um 0,5 μm in x-Richtung führen
step the reticle with 10x reduction camera	das Retikel mit einer Step-und-Repeat-Kamera 10fach verkleinert abbilden (zur Herstellung der Originalschablone)
step-and-repeat X-ray aligner	Röntgenüberdeckungsrepeater
step-and-repeat X-ray machine	Röntgenrepeateranlage
straightness of travel along both x and y axes	Geradlinigkeit der Bewegung in der x- und y-Achse
substrate X-Y-0 alignment stage	Substratjustiertisch
synchrotron X-ray source	Synchrotronröntgenstrahlenquelle
titanium X-ray mask	Titanröntgenschablone
translate the table in the x and y directions	den Tisch in x- und y-Richtung verschieben
transmission of the material for X-ray wavelengths	Durchlässigkeit des Materials für Röntgenwellenlängen
transmission of the membrane to X-rays	Durchlässigkeit der Membran für Röntgenstrahlen
transmit X-rays through the absorber marks	Röntgenstrahlen durch die Absorbermarken hindurchlassen
transmit X-rays through the absorber marks	Röntgenstrahlen durch die Absorbermarken durchlassen
transparent to soft X-rays	durchlässig für weiche Röntgenstrahlen
transparent to X-rays	röntgenstrahlendurchlässig
trim to 1.3x the nominal value	auf das 1,3fache des Nennwertes abgleichen
ultrafragile X-ray mask	äußerst zerbrechliche Röntgenmaske
vertical movement of the X-Y table during travel	z-Bewegung des Koordinatentisches während der Verschiebung
X-address decoder	X-Dekoder
X-address decoder	X-Adressen-Dekoder
X alignment error	Justierfehler in x-Richtung
X deflection	x-Ablenkung
X-displacement	Verschiebung in x-Richtung
10x optical reduction	zehnfache optische Verkleinerung
10x optical step-and-repeat camera	Fotorepeater mit 10facher Bildverkleinerung
X-ray absorber	Röntgenstrahlenabsorber
X-ray absorber material	Röntgenstrahlenabsorbermaterial
X-ray align and exposure equipment	Röntgenjustier- und Belichtungsanlage
X-ray aligner	Röntgenjustier- und Belichtungsanlage
X-ray contact printing	Röntgenkontaktbelichtung
X-ray exposure	Belichtung mit Röntgenstrahlen
X-ray exposure	Röntgenbelichtung
X-ray exposure machine	Röntgenbelichtungsanlage
X-ray exposure system	Röntgenbelichtungsanlage
X-ray flux	Röntgenfluß
X-ray generation by electron bombardment	Röntgenstrahlenerzeugung durch Elektronenbeschuß
X-ray illumination source	Röntgenstrahlenquelle
X-ray lithography	Röntgenstrahllithografie
X-ray lithography	Röntgenlithografie
X-ray lithography alignment station	röntgenlithografische Justier- und Belichtungsanlage
X-ray lithography alignment station	röntgenlithografische Justieranlage für Waferstrukturierung
X-ray lithography exposure machine system	röntgenlithografische Belichtungsanlage
X-ray lithography machine	röntgenlithografisches Gerät
X-ray lithography mask	Schattenmaske
X-ray lithography mask	Röntgenmaske
X-ray lithography system	röntgenlithografische Anlage
X-ray mask	Schattenmaske
X-ray mask	Röntgenmaske
X-ray mask alignment	Röntgenmaskenjustierung
X-ray mask substrate	Röntgenmaskensubstrat
X-ray microlithography	Röntgenmikrolithografie
X-ray output power on the order of 100 microwatts per square centimetre	Röntgenausgangsleistung in der Größenordnung von 100 mW/cm² (Röntgenlithografie)
X-ray power	Röntgenleistung
X-ray power source	Röntgenquelle
X-ray printer	Röntgenbelichtungsgerät
X-ray printing	Röntgenstrahlenbelichtung
X-ray printing technology	Röntgenstrahlenbelichtungstechnik
X-ray projection printer	Röntgenprojektionsbelichtungsanlage
X-ray proximity exposure	Abstandsbelichtung mit Röntgenstrahlen
X-ray proximity exposure tool	Röntgenabstandsbelichtungsanlage
X-ray proximity printing	Abstandsbelichtung mit Röntgenstrahlen
X-ray resist	Röntgenresist
X-ray resist	röntgenstrahlenempfindliches Resist
X-ray resist material	Röntgenresistmaterial
X-ray source-to-object distance	Röntgenquelle-Objekt-Abstand
X-ray step-and-repeat machine	Röntgenrepeateranlage
X-ray step-and-repeat printer	Röntgenbelichtungsanlage mit Repeateinrichtung
X-ray stepper	Röntgenstepper (röntgenlithografischer Scheibenrepeater)
X-ray stepper	Röntgenbelichtungsanlage mit Repeateinrichtung
x-ray technology	Durchleuchtungstechnik
X-ray topography	Röntgentopografie
X-ray wafer exposure machine	Röntgenwaferbelichtungsanlage
X-ray-absorbing	röntgenstrahlenabsorbierend
X-ray-exposed	röntgenstrahlenexponiert
X-ray-exposed	röntgenstrahlenbelichtet
X-ray-lithographic	röntgenlithografisch
X-rays' slant	Divergenz der Röntgenstrahlen
10x reduction projection mask aligner	Belichtungsanlage mit 10fach verkleinerter Projektionsübertragung
10x reticle	Retikel mit 10fach vergrößerter Schaltkreisstruktur
10x reticle	Retikel für Abbildungsmaßstab 10:1
X-row	X-Zeile
X-select line	X-Ansteuerleitung
X-side signal acquisition	X-seitige Signalerfassung
10x stepper	Scheibenrepeater mit zehnfacher Verkleinerung
10x wafer stepper	Wafer-Stepper mit zehnfacher Verkleinerung
X-Y display	X-Y-Anzeige
X-Y-θ plate	XYφ-Platte (für zwei Koordinatenbewegungen und Drehung)
X-Y position of the stage	Koordinatenstellung des Tisches
X-Y-θ positioning servo system	Positionierungsservosystem für X, Y und φ
X-Y raster	X-Y-Raster
X-Y scaling factor	X-Y-Skalierungsfaktor
X-Y scan	X-Y-Rasterbewegung
X-Y scan table	X-Y-Rastertisch
X-Y stage	Koordinatentisch
X-Y stage movement between fields	Koordinatentischverschiebung zwischen den Feldern
X-Y table	Koordinatentisch
X-Y table control	Koordinatentischsteuerung
X-Y table movement	Koordinatentischverschiebung
yaw angle of the X-Y stage	Seitenabweichungswinkel des Koordinatentisches
Z position of the X-Y table	Höhenposition des Koordinatentisches