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Microelectronics
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German
adapt
to a
computer interface
einem Computerinterface anpassen
add a digit to the next higher digit position
eine Ziffer zur nächsthöheren Stelle addieren
allocate the time of a central processor
to a
specific job
die Zeit eines Zentralprozessors einem bestimmten Job zuweisen
analogue-to-digital and D-A converter
A-D-D-A-Wandler
apply a layer of photoresist uniformly to the oxidized silicon
eine Fotoresistschicht gleichmäßig auf das oxydierte Silizium aufbringen
apply a potential to electrostatic beam blanking plates
ein Potential an das elektrostatische Strahlaustastsystem legen
apply a thick layer of a resist to the wafer
eine dicke Resistschicht auf dem Wafer aufbringen
attach the tape-mounted chip directly
to a
substrate
das foliengebondete Chip direkt auf einem Substrat befestigen
bond directly
to a
substrate
direkt auf ein Substrat bonden
bond the outer leads
to a
lead frame
die äußeren Enden des Zwischenträgers auf den Anschlußkamm bonden
come
to a
halt
stoppen
command a jump to program memory address 33
einen Sprung zur Programmspeicheradresse 33 befehlen
connect a number of terminals
to a
central processor
eine Reihe von Datensichtgeräten mit dem Zentralprozessor verbinden
connect
to a
common system bus
an einen gemeinsamen Systembus anschließen
contact printing from a mask
to a
wafer
Kontaktbelichtung von einer Maske auf einen Wafer
copy a file from one medium to another
eine Datei von einem Speichermedium auf ein anderes übertragen
copy the contents of a memory area
to a
backing store
den Inhalt eines Speicherbereichs auf einen Hilfsspeicher übertragen
cut the mask generation time down by a factor of two to three
die Maskenherstellungszeit um das Zwei- bis Dreifache verringern
(reduzieren)
d.c.-
to-a
.c. power converter
Wechselrichter
delegate communications management
to a
separate device
die Durchführung der Datenübertragung einem getrennten Gerät übertragen
deliver performance equal
to a
conventional minicomputer
die Leistung eines herkömmlichen Kleinrechners erbringen
demagnify the electron beam
to a
usable size for microfabrication
den Elektronenstrahl auf eine nutzbare Größe für die Mikrostrukturherstellung verkleinern
demagnify
to a
probe of 10 Ä
auf einen Sondendurchmesser von 10 Ä verkleinern
determine exact stage position to tolerances ranging from 1/8 to 1/48 wavelength of a HeNe laser
die genaue Tischposition mit einer Toleranz von 1/8 bis 1/48 Wellenlänge eines Helium-Neon-Lasers bestimmen
distribute
to a
large number of gates
an eine große Zahl von Gattern verteilen
drive the wafer stage relative to the mask stage in a precise and controlled fashion
den Wafertisch in bezug auf den Maskentisch in einer genau kontrollierten Weise antreiben
(ansteuern)
dump the contents
to a
backing store
den Inhalt im Hilfsspeicher Zwischenspeichern
entry
to a
routine
Einsprung in eine Routine
expose the photoresist on the surface of a wafer to the patterns on a reticle
das Fotoresist auf der Oberfläche eines Wafers mit den Strukturen eines Retikels belichten
extend
to a
distance less than a wavelength of light away from the mask
sich auf weniger als eine Lichtwellenlänge von der Maske erstrecken
fabricate device structures down to the 100 Ä range
Bauelementstrukturen bis in den 100-Ä-Bereich herstellen
feed the program via an I-O port
to a
computer for storage in magnetic tape
das Programm über einen Eingabe-Ausgabe-Kanal in einen Computer zur Speicherung auf Magnetband eingeben
flat to within a few microns
plan bis auf einige Mikrometer
focus the beam just to the side of a knifeedge
den Strahl genau neben eine Schneide fokussieren
generate a frequency proportional to the input voltage
eine Frequenz proportional zur Eingangsspannung erzeugen
house a larger chip in a smaller package/ to
ein größeres Chip in einem kleineren Gehäuse unterbringen
insure exposure in a precise spatial relationship to the mark
die Belichtung in einer genauen räumlichen Beziehung zur Marke gewährleisten
intelligible
to a
processor
lesbar für einen Prozessor
isolate the problem
to a
circuit card
das Problem auf eine Schaltungskarte einkreisen
(eingrenzen)
issue a busy signal to the microcomputer
ein Belegtsignal an den Mikrocomputer geben
join a microcircuit to an external circuit
einen Mikroschaltkreis mit einer äußeren Schaltung verbinden
keep downtime
to a
minimum
die Ausfallzeit minimal klein halten
lay out the circuit according
to a
set of design rules
das Schaltkreislayout unter Berücksichtigung der Entwurfsregeln ausführen
layer-to-layer overlay on a wafer
Überdekkung der Schichten auf einem Wafer
link directly
to a
single bus
mit einem Einzelbus direkt verbinden
link the customer to the system via a telephone line
den Kunden über eine Telefonleitung mit der Anlage verbinden
link
to a
central controller
an ein Zentralsteuergerät anschließen
make a vertical transition from the level of the IC to the level of the substrate
einen vertikalen Übergang von der IC-Ebene zur Substratebene herstellen
make up a block
to a
fixed size
einen Informationsblock auf eine bestimmte Länge auffüllen
minimum dimension down to 700 A
kleinste Abmessung bis zu 700 Ä
model A to model B retrofit
nachträgliche Aufrüstung des Modells A zum Modell B
monitoring accuracy down to several hundredths of a micron
Kontrollgenauigkeit bis zu einigen Hundertsteln eines Mikrometers
move from row to row in a serpentine pattern
sich von Zeile zu Zeile serpentinenartig bewegen
move the X-Y stage
to a
given position
eine bestimmte Position mit dem Koordinatentisch anfahren
move to the location of a fiducial mark den
Ort einer Justiermarke anfahren
object to image distance at a 10:1 image reduction
Objektabstand bei zehnfacher Bildverkleinerung
operate over a 1-to-5 megahertz range
im 1- bis 5-MHz-Bereich arbeiten
package up to eight chips within a 1 in. square module
bis zu acht Chips in einem Baustein von 1 Quadratzoll kapseln
parallel transfer of a mask pattern
to a
substrate
Parallelübertragung einer Maskenstruktur auf ein Substrat
place two masks back-to-back on a carrier
zwei Masken mit ihren Rückseiten zueinander auf einen Träger einsetzen
positioning of a mask with respect
to a
sample
Positionierung einer Maske in bezug auf eine Probe
predesignate for a particular mask level/ to
für eine bestimmte Maskenebene vorbestimmen
provide in response
to a
demand
auf eine Anforderung bereitstellen
pull the wafer on
to a
flat substrate with a vacuum den
Wafer durch Vakuum auf eine plane Unterlage ansaugen
reduce data
to a
useful form
die Daten zu einer brauchbaren Form reduzieren
(verdichten)
reduce the fault
to a
single error
den Fehlerzustand auf einen einzigen Fehler zurückführen
register a pattern to underlying ones
eine Struktur mit darunterliegenden zur Überdekkung bringen
reproduce pattern details
to a
greater or lesser degree of accuracy
Strukturdetails mit einem mehr oder weniger hohen Genauigkeitsgrad abbilden
rescale the chip
to a
different size by computer
das Chip auf eine andere Größe mit Computer neu skalieren
reset the output
to a
logic 0
den Ausgang auf logisch Null zurücksetzen
respond immediately
to a
read signal
auf ein Lesesignal sofort antworten
(reagieren)
restrict all processing of a slice
to a
single machine
die gesamte Bearbeitung einer Scheibe auf ein einziges Gerät beschränken
rise
to a
logic 1
auf logisch Eins schalten
rotate the wafer back
to a
horizontal plane
den Wafer wieder in eine Horizontalebene drehen
serve as the input to an A-D converter
als Eingang zu einem A-D-Wandler dienen
set the output
to a
logic 1
den Ausgang auf logisch Eins setzen
shrink gate lengths from 1 μm
to a
few tenths of a micrometre
die Gatelängen von 1 μm auf einige zehntel Mikrometer reduzieren
steer a bubble from one path to another
eine Blase von einem Weg auf einen anderen steuern
(Blasenspeicher)
step mechanically
to a
new site for another exposure
mechanisch zur nächsten Belichtungsposition fahren
(Wafertisch)
stitch together subfields
to a
large chip
Teilfelder zu einem großen Chip zusammenfügen
store large volumes of data on-line
to a
central processor
große Datenmengen im On-line-Betrieb in einem Zentralprozessor speichern
subject the wafers
to a
high-temperature operation
die Wafer einem Hochtemperaturprozeß unterwerfen
superposition on a substrate of patterns from several masks
to a
precision of 0.1 μm
Überdeckung von Strukturen verschiedener Masken auf einem Substrat mit einer Genauigkeit von 0,1 μm
supply information
to a
bus
die Daten in einen Bus eingeben
switch to battery prior
to a
power failure
vor einem Stromausfall auf Batterie umschalten
tailor a quantity to suit the user's need
eine Größe auf das Anwenderbedürfnis abstimmen
tailor the dynamic performance
to a
given process step
die dynamische Leistung einem bestimmten Prozeßschritt anpassen
thin gate oxides to 400 Ä
die Gate-Oxiddikken auf 400 Ä reduzieren
transfer a carry digit to the next higher digit position
eine Übertragsziffer zur nächsthöheren Stelle übertragen
transfer control from one part of a program to another part
aus einem Programmteil in einen anderen springen
transfer control
to a
monitor routine
die Kontrolle einer Überwachungsroutine übertragen
transfer of a process from laboratory to production
Überleitung eines Verfahrens aus dem Forschungsstadium in die Produktion
translate the data into a format acceptable to the host
die Daten in ein für den Verarbeitungsrechner lesbares Format übersetzen
turn-around for a mask set from an engineering design
to a
working device
Gesamtherstellungszeit für einen Maskensatz vom technischen Entwurf bis zum arbeitsfähigen Bauelement
turn-around for a mask set from an engineering design
to a
working device
Durchlaufzeit für einen Maskensatz vom technischen Entwurf bis zum arbeitsfähigen Bauelement
use a beam spot much smaller than the feature to be written
eine weitaus kleinere Strahlsonde als das zu schreibende Strukturelement verwenden
warp
to a
dish shape
sich schalenförmig wölben
work over a -50 to +80 °C range
in einem Temperaturbereich von -50 bis +80 °C arbeiten
write amendment data
to a
magnetic tape
file Änderungsdaten in eine Banddatei schreiben
write data
to a
tape
ein Magnetband beschreiben
write
to a
file
in eine Datei schreiben
write
to a
magnetic memory medium
auf ein Magnetspeichermedium schreiben
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