Terms for subject Microelectronics containing repeated

English	German
automatic request for repeat	automatische Wiederholungsanforderung
build up patterns by repeated generation of subfields	Strukturen durch wiederholte Herstellung von Teilfeldern zusammensetzen
die step-and-repeat distance	Einzelbildabstand im Step-und-Repeat-Feld
direct insertion into the step-and-repeat camera	Direkteingabe in den Fotorepeater
direct step-and-repeat system	Fotorepeater für direkte Waferbelichtung
direct step-and-repeat system	Scheibenrepeater
expose a wafer in step-repeat fashion	einen Wafer im Step-und-Repeat-Verfahren belichten
expose in a step-and-repeat fashion	im Step-und-Repeat-Verfahren belichten
expose 5 mm x 5 mm fields in step-and-repeat raster-scan fashion	5 mm x 5 mm-Felder rasterförmig im Step-und-Repeat-Verfahren belichten
first generation step-and-repeat exposure system	Fotorepeateranlage der ersten Generation (für Maskenherstellung)
imaging process of a step-and-repeat aligner	Abbildungsprozeß eines Scheibenrepeaters
ion-optical step-and-repeat system	ionenoptische Step-und-Repeat-Anlage
multibarrel step-and-repeat system	Mehrfachrepeater
non-repeated geometries	sich nicht wiederholende Strukturen (Formen)
one-to-one step and repeat system	Step-und-Repeat-Anlage mit 1:1-Abbildung
optical multiple image step-and-repeat reduction camera	Fotorepeater
optical multiple image step-and-repeat reduction camera	Fotorepeaterkamera
optical step-repeat machine	Fotorepeater
optical step-and-repeat camera	Fotorepeater
optical step-and-repeat imaging system	Fotorepeateranlage
partitioning of the wafer image by step-and-repeat projection	Aufteilung des Waferbildes durch schrittweise Projektionsübertragung
partitioning of the wafer image by step-and-repeat projection	Unterteilung des Waferbildes durch schrittweise Projektionsübertragung
photo step-and-repeat on wafer	Direktbelichtung des Wafers durch Fotorepeater
produce arrays of images by photoreduction with a step-and-repeat camera	regelmäßige Bildfelder durch Verkleinerung mit einem Fotorepeater herstellen
project step-and-repeat electron-beam lithography machine	elektronenstrahllithografische Projektions-Step-und-Repeat-Anlage
project step-and-repeat machine	Scheibenrepeater
project step-and-repeat machine	Projektionsscheibenrepeater
project step-and-repeat machine	Justier- und Belichtungsanlage mit Repeateinrichtung
project step-and-repeat machine	Projektions- und Überdeckungsrepeater
reduce the reticle on step-and-repeat equipment	das Retikel auf einem Fotorepeater verkleinern
reduction lens of a step-and-repeat aligner	Verkleinerungsobjektiv eines Projektions- und Überdeckungsrepeaters
reduction step-repeat system	Step-und-Repeat-Anlage mit verkleinerter schrittweiser Projektionsübertragung
repeat into an array of unit images	in einer regelmäßigen Anordnung von einheitlichen Bildern wiederholen
repeat the pattern on a second level mask accurately	die Struktur auf der zweiten Maske eines Satzes genau wiederholen
repeated and rapid turning on and off of the system	schnelles wiederholtes Einund Ausschalten der Anlage
second-generation step-and-repeat aligner	Scheibenrepeater der zweiten Generation
single-head step-and-repeat camera	Einfachrepeater
six-barrel step-and-repeat microreduction printer	Fotorepeater mit sechs Mikroprojektionssystemen
step and repeat	schachbrettartig vervielfältigen
step and repeat	im Step-und-Repeat-Verfahren übertragen
step and repeat across the wafer	im Step-und-Repeat-Verfahren auf dem Wafer mehrfach reproduzieren
step and repeat circuit patterns directly on wafers	Strukturen im Step-und-Repeat-Verfahren direkt auf Wafer übertragen
step and repeat circuit patterns directly on wafers	Schaltkreisstrukturen im Additionsverfahren direkt auf Wafer verkleinert abbilden
step and repeat images across on the wafer	Strukturbilder auf die Halbleiterscheibe im Step-und-Repeat-Verfahren übertragen
step and repeat on the wafer	im Step-und-Repeat-Verfahren auf dem Wafer schachbrettartig vervielfältigen
step and-repeat operation	Fotorepeattechnik
step and-repeat operation	Fotorepeatverfahren
step and-repeat projection aligner	Projektionsscheibenrepeater
step and-repeat projection aligner	Scheibenrepeater
step and-repeat projection aligner	Projektions- und Überdeckungsrepeater
step and-repeat reduction projection system	Großfeldstepper
step and-repeat reduction projection system	Projektions- und Überdekkungsrepeater (für direkte Waferbelichtung)
step and-repeat reduction projection system	Scheibenrepeater
step and-repeat reduction projection system	Wafer-Stepper
step-repeat exposure of smaller fields	Belichtung kleinerer Felder im Step-und-Repeat-Verfahren
step-repeat imaging of a transparent foil mask at 10:1	schrittweise Bildübertragung einer transparenten Folienmaske mit zehnfacher Verkleinerung
step repeat machine	Repeater
step repeat machine	Repeatanlage
step repeat machine	Step-und-Repeat-Anlage
step-and-repeat	Verfahren zur Herstellung von Wiederholstrukturen
step-and-repeat	Step-und-Repeat-Verfahren (Additionsverfahren: Verkleinern-Wiederholen)
2:1 step-and-repeat aligner	Überdeckungsrepeater mit einer Projektionsverkleinerung von 2:1
step-and-repeat aligner	Projektions- und Überdeckungsrepeater (alignment system)
step-and-repeat aligner	Scheibenrepeater (alignment system)
step-and-repeat array data	Positionierdaten für den Step-und-Repeat-Vorgang
step-and-repeat array distortion on the mask	Matrixverzerrung auf der vom Repeater hergestellten Maske
10:1 step-and-repeat camera	Repeater mit zehnfacher Verkleinerung
10:1 step-and-repeat camera	Repeatkamera mit zehnfacher Verkleinerung
10:1 step-and-repeat camera	Fotorepeater mit zehnfacher Verkleinerung
step-and-repeat equipment	Step-und-Repeat-Anlage
step-and-repeat equipment	Repeateranlage
step-and-repeat error	Schrittpositionierfehler (eines Repeaters)
step-and-repeat exposure	schrittweise Belichtung
step-and-repeat exposure directly on the wafer	direkte Waferbelichtung nach dem Step-und-Repeat-Verfahren
step-and-repeat exposure system	Belichtungsanlage mit Step-und-Repeat-Einrichtung
step-and-repeat exposure system	Fotorepeateranlage
step-and-repeat format	Format des schrittweisen Belichtungsverfahrens
step-and-repeat generation of photomasks	Herstellung von Fotoschablonen nach dem Step-und-Repeat-Verfahren (mit schrittweiser Belichtung)
step-and-repeat mask making	Maskenherstellung nach dem Repeatverfahren
step-and-repeat master mask	nach dem Step-und-Repeat-Verfahren hergestellte Originalschablone
step-and-repeat 10:1 microreduction camera system	10:1-Fotorepeater
step-and-repeat microreduction photographic process	Fotorepeatprozeß
step-and-repeat microreduction printer	Fotorepeater mit Projektionsverkleinerung
step-and-repeat optical lithography system	fotolithografische Repeateranlage
step-and-repeat optical lithography system	lithografische Fotorepeateranlage
step-and-repeat optical projection machine	optischer Projektionsrepeater
step-and-repeat optical projection unit	optischer Projektionsrepeater
step-and-repeat optical-mechanical distortion	optisch-mechanische Verzeichnung des Step-und-Repeat-Systems
step-and-repeat photomasking equipment	Fotorepeatanlage für Schablonenherstellung
step-and-repeat placement error	Schrittpositionierfehler
step-and-repeat-print	im Step-und-Repeat-Verfahren belichten (kopieren)
step-and-repeat printing of the subsequent matrix array	schrittweise Belichtung der nachfolgenden Matrixanordnung (mit einem Scheibenrepeater)
step-and-repeat projection lithography system	lithografische Projektionsanlage mit Step-und-Repeat-Einrichtung
step-and-repeat projection printing method	Überdeckungs- und Projektionsrepeatverfahren
step-and-repeat projection with demagnification 10:1	schrittweise Projektionsübertragung mit zehnfacher Bildverkleinerung
step-and-repeat reduction	Verkleinerung mit Step-und-Repeat-Verfahren (zu einer Originalmaske)
step-and-repeat reticle	Retikel für Repeatverfahren
10:1 step-and-repeat system	Projektionsrepeater mit zehnfacher Verkleinerung
step-and-repeat system	Fotorepeatanlage
step-and repeat the pattern	verkleinerte Wiederholstrukturen anfertigen
step-and-repeat time	Vervielfältigungszeit (des Fotorepeaters)
step-and-repeat wafer imaging	Waferstrukturierung firn Step-und-Repeat-Verfahren
step-and-repeat wafer imaging	schrittweise Bildübertragung auf den Wafer
step-and-repeat wafer imaging	Übertragung der Bilder im Step-und-Repeat-Verfahren auf den Wafer (s.a. wafer stepping)
step-and-repeat wafer imaging	Waferbelichtung firn Step-und-Repeat-Verfahren
step-and-repeat wafer imaging system	Scheibenrepeater
step-and-repeat wafer imaging system	Projektions- und Überdekkungsrepeater (für direkte Waferbelichtung)
step-and-repeat wafer imaging system	Großfeldstepper
step-and-repeat wafer imaging system	Wafer-Stepper
step-and-repeat X-ray aligner	Röntgenüberdeckungsrepeater
step-and-repeat X-ray machine	Röntgenrepeateranlage
stepped and repeated patterns	verkleinerte Wiederholstrukturen
subpattern repeat capability	Möglichkeit der Teilstrukturwiederholung
wafer step-and-repeat exposure system	Projektions- und Überdeckungsrepeateranlage für Waferbelichtung
10x optical step-and-repeat camera	Fotorepeater mit 10facher Bildverkleinerung
X-ray step-and-repeat machine	Röntgenrepeateranlage
X-ray step-and-repeat printer	Röntgenbelichtungsanlage mit Repeateinrichtung