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Terms
for subject
Microelectronics
containing
raster
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all forms
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exact matches only
English
German
deflect the electron beam in a
raster
mode along one axis
den Elektronenstrahl rasterartig in einer Richtung ablenken
deflect the electron beam in a
raster
over a 64μm square field
den Elektronenstrahl rasterförmig über ein Feld von 64 μm × 64 μm ablenken
end of
raster
Rasterende
expose 5 mm x 5 mm fields in step-and-repeat
raster
-scan fashion
5 mm x 5 mm-Felder rasterförmig im Step-und-Repeat-Verfahren belichten
fill in the feature in a
raster
-like motion
das Strukturelement in rasterartiger Bewegung ausfüllen
(auspinseln)
form a mask pattern by scanning a
raster
in a serpentine manner
eine Maskenstruktur durch serpentinenförmiges Abrastern erzeugen
Gaussian beam
raster
scan system
nach dem Rasterscan-Verfahren arbeitende Punktstrahlbelichtungsanlage
Gaussian beam
raster
scan system
Punktstrahlrasterscan-Anlage
move the beam across the wafer in a
raster
scan fashion
den Strahl rasterförmig über den Wafer führen
move the wafer in an X-Y
raster
den Wafer.in einem X-Y-Raster bewegen
raster
butting error
Rastermontagefehler
raster
count
Rasterzählung
raster
deflection system
Rasterablenksystem
raster
format
Rasterformat
raster
generator
Rastergenerator
raster
-graphics terminal
Rastergrafikterminal
raster
line
Rasterzeile
raster
-scan a small image field over the wafer in two dimensions
ein kleines Bildfeld rasterförmig in zwei Koordinatenrichtungen über den Wafer führen
raster
-scan exposure process
Rasterbelichtungsprozeß
raster
-scan field
Rasterfeld
raster
-scan machine
Rasterscan-Anlage
raster
-scan technique
Rasterscan-Verfahren
(der Elektronenstrahl wird zeilenweise über die Objektoberfläche ausgelenkt, aber nur an den zu belichtenden Stellen hellgetastet)
raster
-scan the beam over a 128-by-128 pixel area
den Strahl rasterartig über eine quadratische Fläche von 128² Bildelementen führen
raster
-scan the beam over the resist-coated surface
den Strahl rasterförmig über die resistbeschichtete Oberfläche führen
raster
-scan writing scheme
Rasterscan-Schreibsystem
raster
-scanned
abgerastert
raster
-scanned beam
Rasterstrahl
raster
scanning
Rasterscan-Verfahren
raster
-scanning system
Rasterscan-Anlage
raster
system throughput
Produktivität der Rasterscan-Anlage
raster
-type scan pattern
Rasterstruktur
scan a
raster
in a serpentine manner
mäanderförmig abrastern
scan each subfield by the electron beam in a
raster
jedes Unterfeld mit dem Elektronenstrahl abrastern
(rasterförmig abtasten)
scanning
raster
Abtastraster
sequence of the
raster
-scan exposure process
Ablauffolge des Rasterbelichtungsprozesses
shift the scanned
raster
den Abtastraster verschieben
size of the
raster
on the CRT screen
Rastergröße auf dem Bildschirm der Elektronenstrahlröhre
spread the beam in an X-Y
raster
den Strahl in einem X-Y-Raster ablenken
start of
raster
Rasteranfang
stepped
raster
mode
Schrittrasterregime
turn the electron beam on and off along each
raster
line as required
in jedem Rasterstreifen den Elektronenstrahl nach Maßgabe hell- und dunkeltasten
X-Y
raster
X-Y-Raster
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