Terms for subject Microelectronics containing oxidation

English	German
dry oxidation	Trockenoxydation
fast-acceleration oxidation rate	schnelle Oxydationsrate
formation of oxidation-induced stacking faults	Bildung oxydationsbedingter Stapelfehler
high-pressure oxidation technique	Hochdruckoxydationsverfahren
local oxidation complementary-metal-oxide semiconductor technology	LOCMOS Technik
local oxidation of silicon	Lokaloxydation von Silizium (zur Isolation aktiver Bauelemente von hochintegrierten Si-Schaltkreisen)
local oxidation of silicon process	LOCOS Verfahren (Isoplanarverfahren)
local oxidation of silicon-on-sapphire	lokale Oxydation von Silizium auf Saphir
masking oxidation	Maskierungsoxydation
oxidation ambient	Oxydationsumgebung
oxidation duration	Oxydationsdauer
oxidation-induced	oxydationsbedingt
oxidation time	Oxydationszeit
post-oxidation ambient	Nachoxydationsatmosphäre
pre-oxidation ambient	Voroxydationsatmosphäre
slow down oxidation	die Oxidation verlangsamen
steam oxidation	Oxydation aus der Dampfphase
steam oxidation	Dampfoxydation
steam oxidation at low temperatures	Dampfoxydation bei niedrigen Temperaturen
wet oxidation	Feuchtoxydation