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Terms
for subject
Microelectronics
containing
of
|
all forms
|
exact matches only
English
German
abandon the strict Harvard architecture
of
the microcomputer
die strenge Harvard-Architektur des Mikrocomputers aufgeben
abrupt onset
of
backscatter
plötzliches Einsetzen der Rückstreuung
(Elektronenstrahllithografie)
absence
of
backscattering effects
Fehlen von Rückstreueffekten
absence
of
direct addressing instructions
Fehlen von Direktadressierungsbefehlen
absence
of
error in a set of data
Fehlerfreiheit in einem Datensatz
acceleration
of
the stage
Beschleunigung des Tisches
acceptor
of
information
Datenannahmestation
access portion
of
the cycles
Zugriffsabschnitt der Operationszyklen
access time
of
the store
Zugriffszeit des Speichers
accommodation
of
alternate input formats
Erfassung von Alternativeingabeformaten
accurately dimensioned picture
of
the integrated circuit chip
Bild des integrierten Schaltkreises mit genauen Dimensionen
accurately scaled representation
of
the integrated circuit chip
maßstäblich genaue Darstellung der integrierten Schaltung
acquisition range
of
the fine-alignment system
Erfassungsbereich des Feinjustiersystems
act selectively on different areas
of
the wafer
selektiv auf verschiedene Flächen des Wafers wirken
active edge
of
the clock
aktive Taktsignalflanke
actual X-Y location
of
each element in the array
tatsächlicher Koordinatenort jedes Elements in der Matrix
acuity
of
image edges
Schärfe der Bildkanten
added Operation
of
bumping the wafer
zusätzlicher Arbeitsgang der Bondhügelherstellung auf dem Wafer
addition
of
copper during the aluminium evaporation
Zugabe von Kupfer während der Aluminiumaufdampfung
addition
of
dye
Farbstoffzusatz
addition
of
records
Hinzufügen von Sätzen
additional item
of
information
zusätzliches Datenelement
address part
of
an instruction
Adreßteil eines Befehls
address part
of
an instruction
Adressenteil eines Befehls
adhesion
of
the resist
Haftung des Resists
(am Substrat)
adhesive effect
of
thick film paste
Hafteffekt der Dickschichtpaste
adjust the beam position during the writing
of
subsequent stripes
die Strahlposition während des Schreibens der folgenden Streifen justieren
adjustment
of
mask pattem position
Einstellung der Maskenstrukturlage
adjustment
of
the film resistor value
Trimmen des Schichtwiderstandswertes
adjustment
of
the film resistor value
Abstimmung des Schichtwiderstandswertes
adjustment
of
the lens-to-wafer separation
Einstellung des Objektiv-Wafer-Abstands
advancing state-
of
-the-art in semiconductor fabrication processes
fortschreitend höherer Entwicklungsstand der Halbleiterfertigungsverfahren
advent
of
electron-beam microfabrication
Einführung der ES-Mikrostrukturherstellung
aging
of
selenium rectifiers
Alterung von Selengleichrichtern
align parallel to the X-axis motion
of
the stage
parallel zur x-Richtung der Tischverschiebung justieren
alignment marks consisting
of
grooves
Vertiefungsmarken
alignment marks consisting
of
raised pedestals
Erhebungsmarken
alignment
of
successive lithographic levels on a wafer
Justierung aufeinanderfolgender lithografischer Ebenen auf einem Wafer
alignment
of
the tape leads to the chip bumps
Justage der Zwischenträger zu den Bondhügeln der Chips
alignment
of
the tape leads to the chip bumps
Ausrichtung der Zwischenträger zu den Bondhügeln der Chips
alignment system
of
a wafer stepper
Justiersystem eines Überdeckungsrepeaters
allocate the time
of
a central processor to a specific job
die Zeit eines Zentralprozessors einem bestimmten Job zuweisen
allocation
of
registers
Zuordnung der Register
allow the transfer
of
data between computers
die Übertragung von Daten zwischen Rechnern ermöglichen
alter the contents
of
the memory
den Speicherinhalt ändern
ambient temperature
of
the package environment
Umgebungstemperatur des Gehäuses
amount
of
autodoping
Umfang der Selbstdotierung
amount
of
autodoping
Ausmaß der Selbstdotierung
amount
of
carriers
Anzahl der Ladungsträger
amount
of
electrical testing
Umfang der elektrischen Prüfung
amount
of
engineering effort
technischer Aufwand
amount
of
rework
Reparaturaufwand
amount
of
software time
Aufwand an Softwarezeit
analysis
of
measured data
Auswertung von Meßdaten
angle
of
incidence of the X-rays
Einfallswinkel der Röntgenstrahlen
angle
of
the slope
Böschungswinkel
annealing
of
imperfections
Ausheilen von Gitterfehlem
application
of
dopant by spinning
Aufschleudern des Dotierungsstoffs
application
of
dopant by spinning
Aufbringen des Dotierungsstoffs durch Ausschleudern
apply a layer
of
photoresist uniformly to the oxidized silicon
eine Fotoresistschicht gleichmäßig auf das oxydierte Silizium aufbringen
apply a thick layer
of
a resist to the wafer
eine dicke Resistschicht auf dem Wafer aufbringen
apply just one drop
of
solution to the surface
nur einen Lösungstropfen auf die Oberfläche bringen
(Schleuderbeschichtung)
approach the limits
of
optical lithography
an die Grenzen der optischen Lithografie herankommen
approach the resolution limits
of
light optics
die Auflösungsgrenzen der Lichtoptik annähernd erreichen
approximate location
of
the fiducial mark
annähernde Lage der Justiermarke
architecture
of
a buffer
Aufbau eines Pufferspeichers
area
of
bond
Bondfläche
area
of
memory
Speicherfeld
area
of
memory
Speicherbereich
area
of
store
Speicherfeld
area
of
store
Speicherbereich
area ratio
of
chip to PWB
Flächenverhältnis von Chip zu Leiterplatte
arrange binary digits in groups
of
four
Binärziffern in Vierergruppen anordnen
arrange the pins around all four sides
of
the package
die Anschlußstifte auf allen vier Seiten des Gehäuses anordnen
arrangement
of
data in a record
Anordnung der Daten in einem Satz
arrangement
of
parts of a computer instruction
Anordnung von Teilen eines Maschinenbefehls
array
of
alignment targets on a wafer
Justiermarkenanordnung auf einem Wafer
array
of
chips
Chipreihe
array
of
chips
Chipverband
array
of
crosses
Matrix fvon Kreuzen
array
of
dice on a photomask
Verband von Einzelbildern auf einer Fotomaske
array
of
final-size patterns
regelmäßige Anordnung von Strukturen endgültiger Größe
array
of
one millimetre squares
Matrix von Quadraten mit 1 mm Kantenlänge
array
of
test instruments
Aufgebot von Prüfgeräten
array
of
test instruments
Menge von Prüfgeräten
array
of
unconnected logic gates
Universalschaltkreis
array
of
unconnected logic gates
vorgefertigter Standardschaltkreis
(integrierte Schaltung, deren endgültige Funktion vom Benutzer festgelegt wird)
array
of
unconnected logic gates
nicht gebundene logische Anordnung
array
of
unconnected logic gates
freie logische Anordnung
array
of
unconnected transistor-transistor logic gates
TTL-Standardschaltkreis
arrival
of
data at one point at the same time
gleichzeitiges Eintreffen der Daten in einem Punkt
assembly
of
electronic components
Baugruppe elektronischer Elemente
assembly
of
subcircuits
Zusammensetzung von Teilschaltkreisen
assembly
of
subcircuits
Montage von Teilschaltkreisen
assigned part
of
the frequency spectrum
zugewiesener Teil des Frequenzbereichs
assume one
of
two possible states
einen von zwei möglichen Zuständen annehmen
(z. B. 0 oder 1)
assurance
of
obtaining ± 5% repeatability
Sicherheit einer erreichbaren Reproduzierbarkeit von ± 5%
astigmatism
of
the probe
Astigmatismus der Sonde
asynchronous communications using the serial input-output features
of
the microprocessor
asynchrone Datenübertragung mit seriell arbeitenden Eingabe-Ausgabe-Systemen des Mikroprozessors
attach the chip carrier to the ceramic board by means
of
solder reflow
den Chipträger auf dem Keramiksubstrat durch Aufschmelzlöten befestigen
audit
of
the logical and electrical integrity of the layout
Prüfung der logischen und elektrischen Integrität des Layouts
automate every step
of
the bonding operation
jeden Schritt des Bondvorgangs automatisieren
automatic inspection
of
mask defects
automatische Defektkontrolle
automation
of
portions of the mask making process
Automatisierung von Teilen des Schablonenfertigungsprozesses
autoroute 80 %
of
the p.c. board/to 80 %
der Leiterplattenverbindungen automatisch herstellen
availability
of
the stored information at the output of the memory
Verfügbarkeit der gespeicherten Daten am Speicherausgang
avalanche mode
of
operation
Lawinenbetriebsweise
average
of
30 % coverage
mittlerer Bedeckungsgrad von 30 %
average
of
ten measurements
Mittelwert von zehn Messungen
average over a number
of
readings
über eine Reihe von Meßwerten mitteln
average width
of
the feature
mittlere Strukturbreite
back direction
of
a rectifying^ contact
Sperrrichtung eines Gleichrichterkontakts
backscattering
of
primary electrons
Rückstreuung von Primärelektronen
backside-bonded
of
the wafer
Rückseite des Wafers
balance loss
of
electrons due to diffusion
Elektronenverlust infolge Diffusion ausgleichen
barrier voltage
of
the emitter junction
Sperrschichtspannung des Emitterübergangs
basic design
of
the circuit
prinzipieller Schaltungsaufbau
basic part
of
a computer system
Grundeinheit einer Rechenanlage
basic types
of
mask aligners
Grundtypen von Maskenjustier- und Belichtungsanlagen
battery
of
instruments
Gruppe von Geräten
beam tape carrier technology for automated bonding
of
semiconductor chips
Zwischenträgertechnik für automatisches Bonden von Halbleiterchips
bed-
of
-nails test fixture
Nagelbett-Testanordnung
beginning-
of
-file label
Dateivorsatz
beginning-
of
-file label
Dateianfangskennsatz
beginning-
of
-file section label
Dateiabschnittsanfangskennsatz
beginning-
of
-information marker
Anfangsmarke
(auf einem Magnetband)
beginning
of
the instruction
Befehlsanfang
beginning
of
the recording area
Anfang der Speicherfläche
bending
of
pins
Abwinkeln der Anschlußbeine
bending
of
the conduction and valence bands
Krümmung des Leitungs- und Valenzbandes
beta gain
of
transistors
Stromverstärkungsfaktor von Transistoren
beta gain
of
transistors
Stromverstärkung von Transistoren
binary logic
of
Computers
Binärlogik von Rechnern
binary number
of
particular significance
Dualzahl von besonderer Bedeutung
binary number
of
particular significance
Binärzahl von besonderer Bedeutung
binary scale
of
notation
Zweiersystem
binary scale
of
notation
Dualsystem
binary scale
of
notation
Binärsystem
binding energy
of
the electron
Bindungsenergie des Elektrons
bit position 0
of
the data bus
Bitposition 0 des Datenbusses
bits
of
silicon from the wafer
Siliziumteilchen vom Wafer
bleed-out
of
glass
Ausfließen von Glas
(z. B. auf einem Substrat)
blown-up portion
of
an IC pattern
vergrößerter Teil einer integrierten Schaltkreisstruktur
blurring
of
the image
Verschleierung des Bildes
blurring
of
the image
Unschärfe des Bildes
board-level isolation
of
mainframe failures
Störungslokalisierung in Rechnern auf Leiterplattenebene
board-level isolation
of
mainframe failures
Eingrenzung von Rechnerfehlern auf Leiterplattenebene
bombardment
of
charged particles
Beschuß mit geladenen Teilchen
bombardment
of
energetic ions
Einschuß energiereicher Ionen
bombardment
of
energetic ions
Beschuß mit energiereichen Ionen
bond bumped chips to the inner leads
of
the interconnects
die inneren Enden des Zwischenträgers auf die mit Bondhügeln versehenen Chips bonden
bond the inner leads
of
the tape pattern to the bumped terminal pads of an IC chip
die inneren Enden der Folienstruktur auf die Bondhügel eines Chips bonden
bonding head for numerical control positioning
of
large substrates
Bondkopf für numerisch gesteuerte Positionierung großer Substrate
bonding
of
chip devices
Bonden von Chipelementen
bonding
of
multiple leads
Bonden mehrfacher Anschlüsse
boost performance by a factor
of
as much as 10
die Leistung um einen Faktor von nicht weniger als 10 steigern
boost the driving capability
of
a microprocessor
die Treiberleistung eines Mikroprozessors verstärken
border
of
the depletion region
Grenze der Verarmungszone
bore
of
the projection lens
Bohrung des Projektionsobjektivs
bottom-brazed edge
of
the die pattem
untere Kante der Einzelbildstruktur
bridging
of
adjacent lines
Überbrückung benachbarter Linien
broaden the effective size
of
a focussed beam
den effektiven Durchmesser eines fokussierten Strahls vergrößern
broadening
of
step edges
Böschungsverbreiterung
broadening
of
step edges
Verbreiterung der Böschungskante
build up an arbitrarily large circuit out
of
increasingly complex cells
einen beliebig großen Schaltkreis aus zunehmend komplexen Zellen aufbauen
build up patterns by repeated generation
of
subfields
Strukturen durch wiederholte Herstellung von Teilfeldern zusammensetzen
build up the entire chip out
of
progressively larger blocks
das gesamte Chip aus zunehmend größeren Funktionsblöcken aufbauen
build up the total image
of
a circuit from rectangles
die Gesamtstruktur eines Schaltkreises aus Rechtecken zusammensetzen
build-up
of
a space charge region
Aufbau eines Raumladungsbereichs
build-up
of
background exposure
Entwicklung einer Untergrundbelichtung
build-up
of
background exposure
Entstehung einer Untergrundbelichtung
build-up
of
charges
Ladungsaufbau
bulk
of
the pattern data
Masse der Strukturdaten
bulk
of
the wafer
Volumen des Wafers
(im Gegensatz zur Oberflächenschicht)
bump symmetry on all four sides
of
a chip
Bondhügelsymmetrie auf allen vier Seiten eines Chips
bumping
of
the pad
Bondhügelherstellung
bumping
of
the pad
Erhöhen der Bondinsel
burst
of
error
Fehlerbündel
butting
of
subfields
Aneinandersetzung von Unterfeldern
butting
of
subfields
Aneinanderreihen von Unterfeldern
bypass a low-yielding part
of
the mask making process
einen Teil des Maskenherstellungsprozesses mit geringer Ausbeute umgehen
bypass many
of
the mask operations
viele Maskenoperationen umgehen
byte size
of
the machine
Bytegröße des Rechners
calculation to five places
of
decimals
Berechnung auf fünf Dezimalstellen
capacitance
of
the p-n junction
Sperrschichtkapazität
capture the state
of
the logic
den Zustand der Logik erfassen
carrier
of
inner-lead-bonded chips
Zwischenfilm innengebondeter Chips
carrier
of
inner-lead-bonded chips
Träger innengebondeter Chips
carry-out
of
the same digit position
Übertrag aus derselben Ziffernstelle
chance
of
wafer damage
Möglichkeit der Waferbeschädigung
channel length in direction
of
current flow
Kanallänge in Stromflußrichtung
channel width
of
p-channel transistors
breite von p-Kanaltransistoren
channel width
of
p-channel transistors
Kanal
channelling
of
semiconductor junctions
Durchtunnelung von Halbleiterübergängen
characterization
of
a global alignment on a wafer stepper
Bewertung einer Gesamtwaferjustierung auf einem Wafer-Stepper
charging time constant
of
the circuit
Ladungszeitkonstante der Schaltung
checkout
of
machine operation
Ausprüfen des Anlagenbetriebs
checkout
of
machine operation
Testen des Anlagenbetriebs
chordal flat
of
a wafer
Anschliff eines Wafers
circuit line
of
0.2 μm width
Schaltkreiselement von 0,2 μm Breite
circuit pattern
of
about 3.0 micrometres
Schaltkreisstruktur mit Linienbreiten von etwa 3 pm
circuit structure for a fan-in
of
1 and a fan-out of 3
Schaltkreisstruktur für einen Eingangslastfaktor 1 und einen Ausgangslastfaktor 3
circuit trace side
of
the board
Leiterbahnseite
(einer Leiterplatte)
circuit with least dimensions
of
1 μm
Schaltkreis mit kleinsten Abmessungen von 1 μm
climbing
of
dislocations
Klettern von Versetzungen
closed loop
of
paper tape
Lochbandschleife
coalesce two sets
of
files
zwei Dateigruppen zusammenfügen
(vereinigen)
coarse alignment
of
the wafer
Grobjustierung des Wafers
coat with a one-micron film
of
photoresist
mit einem 1 μm dicken Resistfilm beschichten
coating
of
uniform thickness across the entire wafer surface
Schicht von gleichmäßiger Dicke auf der gesamten Waferoberfläche
coding
of
wafers
Kennzeichnung von Wafern
colour-barcode enlargement
of
each level
Farbvergrößerung von jeder Ebene
column
of
dice
Spalte von Einzelbildern
column
of
memory cells
Spalte von Speicherzellen
combine two sets
of
files
zwei Dateigruppen zusammenfügen
(vereinigen)
common axis
of
symmetry
gemeinsame Symmetrieachse
common-mode rejection ratio
of
the op amp
Gleichtaktunterdrückung fdes Operationsverstärkers
compensating capability
of
the system
Kompensationsmöglichkeit der Anlage
compensating deflection
of
the beam
Kompensationsablenkung des Strahls
complementary pair
of
n- and p-channel transistors
komplementäres Paar von - und p-Kanal-Transistoren
complementary pair
of
transistors connected in series
zwei in Reihe zusammengeschaltete Komplementärtransistoren
complete the service
of
the interrupt
die Behandlung der Unterbrechung abschließen
completion
of
a read operation
Abschluß eines Lesevorgangs
completion
of
the current instruction
Abarbeitung des laufenden Befehls
completion
of
the current instruction
Ausführung des laufenden Befehls
complexity
of
an LSI circuit
Komplexität einer LSI-Schaltung
component side
of
a printed circuit board
Bestükkungsseite einer Leiterplatte
compose
of
many subfields
aus vielen Teilfeldern zusammensetzen
computation
of
the covariance function
Berechnung der Kovarianzfunktion
computer control
of
electron beams for maskless fabrication
Computersteuerung von Elektronenstrahlen für maskenlose Strukturherstellung
computing power
of
microprocessors
Rechenleistung von Mikroprozessoren
concavity
of
the etched feature
konkave Form des geätzten Strukturelements
concentration
of
interstitials
Konzentration von Zwischengitteratomen
conditional transfer
of
control
Steuerungsübergabe durch bedingten Sprungbefehl
conductive pattern
of
a circuit
Leiterstruktur eines Schaltkreises
cone angle
of
the rays
Winkel des Strahlenbündels
configure systems with any combination
of
test features
Anlagen mit beliebiger Kombination von Kontrollparametern zusammenstellen
connect a number
of
terminals to a central processor
eine Reihe von Datensichtgeräten mit dem Zentralprozessor verbinden
connection
of
appropriate channels of two computer systems
Verbindung entsprechender Kanäle von zwei Rechenanlagen
connections on the perimeter
of
the chip
Anschlüsse mpl am Chipumfang
connections on the perimeter
of
the chip
Verbindungen am Chipumfang
consistency
of
performance
Reproduzierbarkeit der Leistung
consistency
of
the imagery
Gleichmäßigkeit der Abbildung
consistent quality
of
the photoresists
gleichbleibende Qualität der Fotoresists
consolidate dozens
of
logic elements into a single IC
Dutzende von Logikelementen in einer einzigen integrierten Schaltung vereinigen
constant intensity across most
of
the beam diameter
konstante Intensität über den größten Teil des Strahldurchmessers
constant number
of
words
konstante Wortzahl
constituent
of
an alloy
Bestandteil einer Legierung
construct from only two values
of
resistor
aus nur zwei Widerstandswerten aufbauen
consume a large part
of
the die area
einen großen Teil der Chipfläche einnehmen
(beanspruchen)
consumption
of
silicon real estate
Bedarf an Siliziumfläche
contact duplication
of
the mask onto the wafer
Kontaktkopierung der Maske auf den Wafer
contact pads on all four sides
of
the chip carrier
Kontaktstellen auf allen vier Seiten des Chipträgers
contact printing
of
the pattern onto the device substrate
Kontaktkopieren der Struktur auf das Bauelementsubstrat
contacting
of
both mask and wafer before exposure
Kontaktierung von Maske und Wafer vor der Belichtung
contain the complete pattern for all dice at the actual size
of
the final features
die vollständige Struktur für alle Chips in natürlicher Größe der endgültigen Strukturelemente enthalten
(1 ×)
containment
of
electronic devices
Abschluß elektronischer Bauelemente
(z. B. in einer Schutzatmosphäre)
contents
of
a file
Dateiinhalt
contents
of
an area of memory
Inhalt eines Speicherbereichs
contents
of
the counter
Inhalt des Zählers
continual recirculation
of
a signal
ständiger Umlauf eines Signals
continuity
of
metallization
Durchgängigkeit der Metallisierung
continuous motion
of
the X-Y table
kontinuierliche Verschiebung des Koordinatentisches
contraction
of
wafers
Zusammenziehung der Wafer
contrast
of
a resist
Kontrast eines Resists
control
of
autodoping
Kontrolle der Selbstdotierung
control
of
baking temperature within ±2 °C
Einhaltung der Härtungstemperatur bis auf ±2 °C
control
of
critical dimensions
Beherrschung kritischer Abmessungen
control
of
critical dimensions
Toleranzeinhaltung kritischer Größen
control
of
line width
Einhaltung der Linienbreite
control
of
the lens-to-wafer separation
Kontrolle des Abstands zwischen Objektiv und Wafer
control
of
the lens-to-wafer spacing
Kontrolle des Abstands zwischen Objektiv und Wafer
control the movement
of
the machine table
die Verschiebung des Gerätetisches steuern
control tolerance
of
10 % of the minimum line width
Einhaltungstoleranz von 10 % der kleinsten Linienbreite
conveyor
of
data
Datenträger
copper foil
of
the desired thickness
Kupferfolie der gewünschten Dicke
copper trace
of
standard width
Kupferleitbahn genormter Breite
copy number
of
the file
Kopiennummer der Datei
copy
of
a chrome mask
Kopie einer Chrommaske
copy
of
the original mask
Kopie der Originalschablone
copy
of
the original mask
Duplikat der Originalschablone
copy the contents
of
a memory area to a backing store
den Inhalt eines Speicherbereichs auf einen Hilfsspeicher übertragen
correctness
of
alignment between reticles in a set
Richtigkeit der Justierung zwischen Retikeln in einem Satz
corruption
of
an instruction code
Verstümmelung eines Befehlskodes
cost-effective per bit
of
information
Kosten je Informationsbit
cost-effective per function
of
an integrated circuit chip
Kosten je Funktion eines Mikroschaltkreischips
cost-effective- performance advantage
of
hardware
Kosten-Leistungs-Vorteil der technischen Ausrüstung
couple into a film
of
resist
in eine Resistschicht einkoppeln
create a 4.0-mm wide image
of
the slit at the mask plane
ein 4 mm breites Bild des Spalts in der Maskenebene erzeugen
create a new copy
of
the file
eine neue Kopie der Datei erzeugen
creation
of
blocks from individual records
Zusammenstellung von Blöcken aus einzelnen Datensätzen
creeping
of
the etching solution under the resist coating
Kriechen der Ätzlösung unter die Resistschicht
cross talk'figure
of
merit
Übersprechgüteziffer
cross the barrier
of
1 μm
die 1-μm-Barriere durchbrechen
crossing
of
the junction by individual carriers
Durchqueren des pn-Übergangs durch einzelne Ladungsträger
crystal plane
of
silicon
Kristallebene fdes Siliziums
crystallographic orientation
of
the silicon substrate
Kristallorientierung des Siliziumsubstrats
curing
of
negative resists
Härten von Negativresists
current contents
of
a counter
aktueller Inhalt eines Zählers
current state
of
the device
aktueller Zustand des Geräts
current version
of
the file
aktuelle Version der Datei
current-carrying path
of
the resistor
Stromleitpfad des Widerstands
custom-built tailoring
of
doping profiles
kundenspezifische Gestaltung der Dotierungsprofile
custom-built-fitted for a variety
of
applications
für verschiedene Anwendungszwecke entwickelt
cut off the least significant digits
of
a number
die niedrigstwertigen Ziffern einer Zahl abschneiden
cut the mask generation time down by a factor
of
two to three
die Maskenherstellungszeit um das Zwei- bis Dreifache verringern
(reduzieren)
cutoff angle
of
current flow
Stromflußwinkel
cutoff
of
the transistor
Sperrung des Transistors
cutoff region
of
the transistor
Sperrbereich des Transistors
data management capability
of
the processor
Datenverwaltungsmöglichkeit des Prozessors
deallocate a block
of
memory
die Zuordnung für einen Speicherblock aufheben
deallocate a block
of
memory
einen Speicherblock freigeben
deallocation
of
storage
Aufhebung der Speicherzuordnung
decay
of
the output voltage
Abfall der Ausgangsspannung
decollimation
of
the illumination
Dekollimation der Beleuchtung
decompose into a number
of
stripes
in eine Reihe von Streifen zerlegen
decompose the pattern into a number
of
elements
das Belichtungsmuster in eine Reihe von Elementarfiguren zerlegen
decomposition
of
vapour
Dampfzersetzung
(Epitaxie)
decrease to one tenth
of
its original value
auf ein Zehntel seines Ausgangswertes abfallen
defect reticle
of
the pattern
Defektretikel der Struktur
deficiencies
of
the mask aligners
Nachteile der Justier- und Belichtungsanlagen
define minimum geometries
of
0.5 μm
kleinste Strukturen von 0,5 μm schreiben
(mit Elektronenstrahl)
define the edges
of
broad areas
die Kanten großer Flächen scharf markieren
definition
of
resist patterns down to submicron dimensions
Auflösung von Resiststrukturen bis in den Submikrometerbereich
deflect the direction
of
an atom
ein Atom aus seiner Richtung ablenken
deformation
of
wafers
Durchbiegung von Halbleiterscheiben
degradation
of
minority carrier lifetime
Herabsetzung der Minoritätsträgerlebensdauer
degradation
of
the resist profile
Verschlechterung des Resistprofils
delay element
of
one-digit period
1-Bit-Verzögerungsglied
delay element
of
one-digit period
Verzögerungsglied für eine Zeichendauer
deletion
of
data not required
Entfernen nicht benötigter Daten
deletion
of
data not required
Eliminieren nicht benötigter Daten
delineation
of
contact openings
scharfe
Konturierung von Kontaktöffnungen
(z. B. durch reaktives Ionenätzen)
delineation
of
the desired pattern in the resist
Schreiben der gewünschten Struktur im Resist
delineation
of
VLSI patterns on silicon wafers
Schreiben von VLSI-Strukturen auf Siliziumwafern
(Elektronenstrahllithografie)
demagnified image
of
the source
verkleinerte Abbildung der Quelle
demagnify to a probe
of
10 Ä
auf einen Sondendurchmesser von 10 Ä verkleinern
density
of
device features
Packungsdichte der Bauelementstrukturen
density
of
different fault types
Dichte verschiedener Fehlerarten
depict the logic operation
of
the chip clearly and concisely
die funktionelle Operation des Chips eindeutig und kurz darstellen
depletion width
of
the Schottky barrier
Sperrschichtbreite der Schottkyschen Randschicht
deposit essentially line-
of
-sight on the vacuum chamber walls
sich im wesentlichen geradlinig auf den Vakuumkammerwänden niederschlagen
(Ionenstrahlätzen)
deposit two or more layers on the surface
of
each wafer
zwei oder mehr Schichten auf jeden Wafer aufdampfen
deposition
of
thin layers via chemical reactions
Bildung dünner Schichten über chemische Reaktionen
depth
of
diffusion
Diffusionstiefe
describe the layout to the computer in terms
of
its geometry
das Layout für den Computer in Form seiner Strukturanordnung beschreiben
descumming
of
photoresist residue
Abziehen des Lackrestes
deselected mode
of
operation
inaktivierte Betriebsweise
destroy the contents
of
the memory
den Speicherinhalt zerstören
(löschen)
detection
of
glitches
Nachweis von Störimpulsen
detection
of
imperfections
Feststellung von Defekten
detection
of
imperfections
Nachweis von Defekten
detection
of
process deviations
Nachweis von Prozeßabweichungen
detection
of
the transmitted X-rays
Nachweis der durchgelassenen Röntgenstrahlen
deterioration
of
the mask quality
Verschlechterung der Schablonenqualität
determine exact stage position to tolerances ranging from 1/8 to 1/48 wavelength
of
a HeNe laser
die genaue Tischposition mit einer Toleranz von 1/8 bis 1/48 Wellenlänge eines Helium-Neon-Lasers bestimmen
determine the position
of
the mark to an accuracy at least equal to the beam diameter
die Markenposition mit einer mindestens dem Strahldurchmesser entsprechenden Genauigkeit bestimmen
deviation
of
the photoresist thickness from the mean value
Abweichung der Fotoresistdicke vom Mittelwert
diagrammatic representation
of
a computer program
Schemadarstellung eines Rechenprogramms
die
of
an outer lead bonder
Schnittplatte eines Außenbonders
die size
of
10 millimetres on a side
Chipgröße von 10 mm x 10 mm
differential
of
the input signal
Differential des Eingangssignals
diffraction
of
light at the edges of features in the patterns
Beugung des Lichts an den Kanten der Strukturelemente
diffuse impurities into a slice
of
germanium
Störatome in eine Germaniumscheibe eindiffundieren
diffuse impurities into precisely defined regions
of
the semiconductor wafer
Fremdatome in genau definierte Zonen des Halbleiterwafers eindiffundieren
diffusion from front side
of
wafer into film
Diffusion von der Vorderseite des Wafers in die Schicht
diffusion rate
of
the reactant
Diffusionsgeschwindigkeit des Reaktanten
diffusion-free annealing
of
implanted layers
diffusionslose Ausheilung implantierter Schichten
diffusivity
of
electrons and holes in the base
Diffusionsvermögen von Elektronen und Defektelektronen in der Basis
digit
of
a decimal number
Ziffer einer Dezimalzahl
digital description
of
the pattern
digitale Beschreibung der Struktur
digital form
of
representation
digitale Darstellungsform
dimension below a few tenths
of
nanometres
Abmessung unter einigen zehntel Nanometer
dimensional accuracy
of
the developed resist pattern
Genauigkeit der Abmessungen der entwickelten Resiststruktur
dimensional control
of
integrated circuit patterns
Kontrolle der Abmessungen von Strukturen integrierter Schaltkreise
direct exposure
of
wafers by the electronbeam system
Direktbelichtung von Wafern durch die Elektronenstrahlanlage
direct fabrication
of
microassemblies
Direktherstellung von Mikrobausteinen
direct generation
of
master masks
Direktherstellung von Originalschablonen
direct mount
of
chip to board
Direktmontage des Chips auf der Leiterplatte
direct production
of
mask masters
Direktherstellung von Originalschablonen
(z. B. mit Elektronenstrahlen)
direct stepping
of
a reticle onto wafers
direkte Übertragung einer Retikelstruktur auf Wafer
(im Step-und-Repeat-Verfahren)
direct structuring
of
oxide layers without any resist
Direktstrukturierung von Oxidschichten ohne ein Resist
direct the beam sequentially to the elements
of
the chip pattern to be exposed
den Strahl sequentiell zu den zu belichtenden Elementen der Chipstruktur führen
direct writing free
of
proximity effects
Direktschreiben ohne Proximity-Effekte
direct writing
of
the device pattern with a scanning electron beam
Direktschreiben der Bauelementstruktur mit einem Rasterelektronenstrahl
direction
of
the beam scan
Strahlabtastrichtung
directionality
of
the etching ions
Richtungsfähigkeit der Ätzionen
dirty regions
of
memory
modifizierte Speicherbezirke
discharging time constant
of
the circuit
Entladungszeitkonstante der Schaltung
displacement
of
a benchmark
Verschiebung einer Festpunktmarke
displacement
of
one digit position to the left
Verschiebung um eine Stelle nach links
displacement
of
orthogonal pairs of lines
Verschiebung rechtwinkliger Linienpaare
displacement
of
the leads
Verbiegen der Zwischenträgerbrücken
displacement range
of
the object table
Verschiebungsbereich des Objekttisches
display value
of
time
Zeitangabe
dissolution
of
the exposed area
Auflösung der belichteten Fläche
(in Positivresists)
dissolution
of
the unexposed area
Auflösung der unbelichteten Fläche
(in Negativresists)
dissolution ratio
of
exposed to unexposed positive photoresist
Auflösungsverhältnis von belichtetem zu unbelichtetem Positivresist
dissolve the exposed portions
of
the substrate
die belichteten Teile des Substrats lösen
distance
of
the wafer from the plane of best focus
Abstand des Wafers von der besten Fokusebene
distortion
of
circles to oval patterns
Verzerrung von Kreisen zu Ovalstrukturen
distribute to a large number
of
gates
an eine große Zahl von Gattern verteilen
dominant source
of
noise
vorherrschende Rauschquelle
dopant concentration
of
the p-channel
Dotierungskonzentration des p-Kanals
doping
of
epitaxial silicon
Dotieren des epitaxialen Siliziums
dot
of
lead-tin solder
Schmelzperle aus Blei-Zinn-Lot
dot
of
lead-tin solder
Perle aus Blei-Zinn-Lot
double parallel rows
of
pins
zwei parallele Reihen von Anschlußstiften
(eines DIP-Gehäuses)
down scaling
of
structural dimensions
Verkleinerung der Strukturabmessungen
downward bending
of
the conduction band
Krümmung des Leitungsbandes nach unten
drain current at the point
of
pinch-off
Drainstrom im Abschnürpunkt
(MOSFET)
drift velocity
of
the particles
Wanderungsgeschwindigkeit der Teilchen
drift velocity
of
the particles
Driftgeschwindigkeit der Teilchen
drop to 50 %
of
the initial value
auf 50 % des Anfangswerts fallen
dual row
of
staggered leads
Doppelreihe von versetzten Anschlüssen
dumping
of
the data from block buffers to the shifter system
Umspeicherung der Daten von Blockpuffern zum Schiebesystem
dwell time
of
an electron beam
Verweilzeit eines Elektronenstrahls
early-warning type
of
system
Frühwarnanlage
ease
of
handling
einfache Handhabung
ease
of
maintenance
Wartungsfreundlichkeit
ease
of
service
Servicefreundlichkeit
ease
of
servicing
Servicefreundlichkeit
economics
of
IC fabrication
Rentabilität der Herstellung integrierter Schaltkreise
economics
of
IC fabrication
wirtschaftliche Bedeutung der Herstellung integrierter Schaltkreise
economics
of
IC fabrication
Wirtschaftlichkeit der Herstellung integrierter Schaltkreise
economics
of
IC manufacturing
Rentabilität der Herstellung integrierter Schaltkreise
economics
of
IC manufacturing
wirtschaftliche Bedeutung der Herstellung integrierter Schaltkreise
economics
of
IC manufacturing
Wirtschaftlichkeit der Herstellung integrierter Schaltkreise
edge
of
a wafer
Rand eines Wafers
edge
of
feature
Strukturkante
edge
of
the clock pulse
Taktimpulsflanke
edge
of
the resist profile
Kante des Resistprofils
edge
of
the shadow
Schattenkante
edge profile
of
etched single-crystal silicon
Kantenprofil von geätztem Einkristallsilizium
edge profile
of
the beam
Flankenprofil des Strahls
edge profile
of
the developed resist
Kantenprofil des entwickelten Resists
edge slope
of
the beam profile
Flanke des Strahlprofils
edgeboard connector
of
a p.c. board
Stekkerleiste einer gedruckten Schaltung
effect simultaneous bonds
of
all outer leads to the substrate
gleichzeitig alle äußeren Enden des Zwischenträgers auf das Substrat bonden
efficient utilization
of
storage
rationelle Ausnutzung des Speichers
eigenfunction
of
the state
Eigenfunktion des Zustands
eigenvalue
of
the electronic state
Eigenwert des Elektronenzustands
electroless application
of
the tin coating on the lead frames
stromlose Verzinnung der Anschlußkammstreifen
electron beam
of
Gaussian shape
Punktstrahl
electron exposure
of
resists
Exposition der Resists mit Elektronen
electron-beam delineation
of
submicron geometry devices
Elektronenstrahlschreiben von Bauelementstrukturen im Submikrometerbereich
electron-optical principle
of
forming shaped square electron beams
elektronenoptisches Prinzip der Erzeugung von Flächenstrahlen
electrooptical sensing
of
the wafer edges for prealignment
elektrooptisches Abtasten der Waferkanten zur Vorjustierung
element
of
data descriptive of a record
Datenelement zur Beschreibung eines Satzes
elemental area
of
the aperture
Flächenelement der Öffnung
employ extensively in a wide variety
of
applications
in hohem Maße für die verschiedensten Verwendungszwecke benutzen
emulsion side
of
the master mask
Schichtseite der Originalschablone
encompass a range
of
wavelengths
einen Wellenlängenbereich umfassen
end
of
an instruction
Befehlsende
end-
of
-data block
Datenendeblock
end-
of
-data marker
Zeichen für Datenende
end-
of
-file marker
Dateiendezeichen
end-
of
-file marker
Dateiendemarke
end-
of
-file spot
Dateiendezeichen
end-
of
-file spot
Dateiendemarke
end-
of
-medium character
Datenträgerendezeichen
end
of
raster
Rasterende
end
of
run
Programmende
end
of
-run routine
Maschinenprogramm bei Programmende
end
of
-tape routine
Maschinenprogramm bei Magnetbandende
end-
of
-transmission character
Übertragungsendezeichen
enhancement
of
noise
Verstärkung des Rauschens
enhancement
of
the field ion current
Verstärkung des Feldionenstroms
enhancement
of
the junction leakage current
Verstärkung des Übergangskriechstroms
enlarged image
of
a single circuit pattern
vergrößertes Bild einer einzigen Schaltkreisstruktur
entry
of
new information
Eingabe neuer Informationen
equipment
of
contact printing
Kontaktkopieranlage
erase the contents
of
the memory
den Speicherinhalt löschen
erasure
of
the contents of a file
Löschen des Dateiinhalts
erasure
of
the contents of a file
Löschung des Dateiinhalts
erasure
of
the memory
Löschung des Speichers
escape energy
of
the Auger electron
Austrittsenergie des Auger-Elektrons
establish the validity
of
test chip data
die Gültigkeit der Testchipdaten nachweisen
establishment
of
a steady-state condition
Aufbau eines stationären Zustands
etch out
of
the wafer
aus dem Wafer herausätzen
etch the V notch out
of
the silicon
den V-förmigen Graben in das Silizium ätzen
even-number columns
of
chips
geradzahlige Spalten der Chips
ever-increasing scale
of
integration on silicon chips
ständig zunehmender Integrationsgrad auf Siliziumchips
evolution
of
contaminants
Entwicklung von Verunreinigungen
excise chip-plus-interconnect from its piece
of
film
Chip mit Zwischenträger aus seinem Filmstück herausschneiden
excising
of
bad devices
Aussonderung defekter Bauelemente
excising
of
bad devices
Ausscheidung defekter Bauelemente
execution cycle
of
an instruction
Ausführungszyklus eines Befehls
execution
of
an add instruction
Ausführung eines Additionsbefehls
execution
of
subroutines
Abarbeitung fvon Unterprogrammen
expansion
of
wafers
Vergrößerung der Wafer
exploitation
of
the technique
Anwendung des Verfahrens
expose patterns deep into a thick coating
of
resist
Strukturen tief in eine dicke Resistschicht hinein exponieren
expose the photoresist on the surface
of
a wafer to the patterns on a reticle
das Fotoresist auf der Oberfläche eines Wafers mit den Strukturen eines Retikels belichten
exposed rectangle
of
round beam system
belichtetes Rechteck einer Punktstrahlanlage
exposure
of
the second or higher level
Belichtung der zweiten oder höheren Ebene
(auf einem Wafer)
exposure time on the order
of
a minute
Expositionszeit von etwa einer Minute
exposure time on the order
of
a minute
Belichtungszeit von etwa einer Minute
exposure to the edge
of
the wafer
Belichtung bis zum Rand des Wafers
extend the limits
of
performance for optical projection lithography
die Leistungsgrenzen für die optische Projektionslithografie ausdehnen
Showing first 500 phrases
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