Terms for subject Microelectronics containing local oxidation of silicon

English	German
local oxidation of silicon	Lokaloxydation von Silizium (zur Isolation aktiver Bauelemente von hochintegrierten Si-Schaltkreisen)
local oxidation of silicon-on-sapphire	lokale Oxydation von Silizium auf Saphir
local oxidation of silicon process	LOCOS Verfahren (Isoplanarverfahren)