Terms for subject Microelectronics containing feature size

English	German
average feature size	durchschnittliche Elementgröße
component feature size	Bauelementstrukturgröße
contain the complete pattern for all dice at the actual size of the final features	die vollständige Struktur für alle Chips in natürlicher Größe der endgültigen Strukturelemente enthalten (1 ×)
device feature size	Bauelementstrukturgröße
feature size	Elementbreite
feature size	Linienbreite
feature size	Strukturgröße
feature size control	Einhaltung der Strukturbreite
feature size evolution	Elementgrößenentwicklung
feature size measurement	Linienbreitemessung
feature size shrinkage	Verkleinerung der Linienbreite
fineness of feature size	Feinheit der Strukturgröße
limiting feature size	kleinste nutzbare Strukturbreite
loss in feature size	Verringerung der Strukturbreite
maintain a constant resist feature size	eine konstante Linienbreite im Resist einhalten
minimum feature size	minimale Elementbreite
minimum feature size	kleinste Strukturbreite
minimum resolvable feature size	kleinste auflösbare Linienbreite (Strukturgröße)
minimum usable feature size	kleinste nutzbare Elementgröße (Strukturbreite)
minimum-size feature	kleinstes Strukturelement
printable feature size	belichtbare Elementbreite
replication of features down to the submicron size	Reproduzierung von Strukturelementen bis in den Submikrometerbereich
resolvable feature size of 1 μm	auflösbare Linienbreite von 1 μm
submicron minimum feature size	kleinste Strukturbreite im Submikrometerbereich
usable feature size in the 1.0-2.0 micrometre range	nutzbare Elementgröße firn 1- bis 2-μm-Bereich
usable feature size in the 1.0-2.0 micrometre range	nutzbare Linienbreite firn 1- bis 2-μm-Bereich
usable feature size in the 1.0-2.0 micrometre range	nutzbare Strukturbreite firn 1- bis 2-μm-Bereich
vary the spot size and shape as the feature requires	Durchmesser und Form des Strahlquerschnitts entsprechend dem Strukturelement verändern