Terms for subject Microelectronics containing diffraction

English	German
diffraction blurring	Unschärfe durch Beugungseffekte
diffraction effect	Beugungseffekt
diffraction grating mark	Beugungsgittermarke
diffraction limit	Beugungsgrenze
diffraction limitation	Beugungsbegrenzung
diffraction-limited	beugungsbegrenzt (optische Projektionslithografie)
diffraction of light at the edges of features in the patterns	Beugung des Lichts an den Kanten der Strukturelemente
diffraction pattern	Beugungsstruktur
diffraction phenomena along edges	Beugungserscheinungen an den Kanten
diffraction ring at feature edge	Beugungsring an der Strukturkante
diffraction spot size	Beugungsfleckgröße