Terms for subject Microelectronics containing degree of

English	German
high degree of repetition in the pattern	hoher Wiederholgrad in der Struktur
inclined at an angle of 55 degrees	in einem Winkel von 55° geneigt
mask-to-wafer positioning system with six degrees of freedom	Maske-Wafer-Positioniersystem mit sechs Freiheitsgraden
provide a high degree of reproducibility	ein hohes Maß von Reproduzierbarkeit gewähren
reproduce pattern details to a greater or lesser degree of accuracy	Strukturdetails mit einem mehr oder weniger hohen Genauigkeitsgrad abbilden