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| English | German |
| travel along the Z-axis | Höhenverstellung |
| Z-axis adjustment | Höhenjustierung |
| Z-axis adjustment | Höheneinstellung |
| Z-axis control | Höhensteuerung |
| Z-axis location of the area being exposed | Höhenbestimmung der gerade belichteten Fläche |
| Z-axis positioning | Höhenpositionierung |
| Z-axis translator | Höheneinstellvorrichtung (zur Parallelverschiebung des Wafers in der Höhe zwecks Einhaltung des fokussierten Zustands) |