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| local alignment | Einzelbildjustierung |
| local oxidation complementary-metal-oxide semiconductor technology | LOCMOS Technik |
| local oxidation of silicon | Lokaloxydation von Silizium (zur Isolation aktiver Bauelemente von hochintegrierten Si-Schaltkreisen) |
| local oxidation of silicon process | LOCOS Verfahren (Isoplanarverfahren) |
| local oxidation of silicon-on-sapphire | lokale Oxydation von Silizium auf Saphir |